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5.2
Utilisation avec flux partiel
5-2
Modes de fonctionnement
Pour augmenter la capacité de pompage effective dans la chambre à vide ou la pièce
à tester, il est possible de raccorder une vanne externe à flux partiel sur la sortie de
vanne V20. L'accroissement de la capacité de pompage accélère les processus
d'évacuation et le temps de montée du signal du Modul1000.
Selon le réglage, la pompe à flux partiel peut être activée par une vanne à flux partiel
au choix soit lors de l'évacuation soit lors de l'évacuation et de la mesure.
Si la pompe à flux partiel est également activée pendant la mesure, prenez en
compte la capacité de pompage de la pompe à flux partiel pour l'hélium en paramé-
trant le facteur machine de manière appropriée (voir chapitre 6.9). En outre, un cali-
brage externe est recommandé (voir chapitre 6.6).
Une soupape de ventilation V21 externe supplémentaire peut être raccordée pour
accélérer la ventilation.
Fig. 5-1 Utilisation avec flux partiel
Pos.
Description
V20
Vanne à flux partiel
Pos.
Description
V21
Soupape de ventilation
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