Instructions d'installation
3.5 Purge
Figure 3-11
Installation de purge du capteur
Remarque
Si vous utilisez un tube en plastique, assurez-vous d'utiliser la tige d'insertion en métal
rigide.
Voir aussi
Purge de l'interface de processus optique (Page 41)
Calculs du flux de gaz (Page 45)
22
Instructions de service capteur CD 6
Instructions de service, 01/2008, A5E01134378-02