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Die Pumpe niemals im Beisein von Gas oder korrosiven Dämpfen benutzen, weil
VORSICHT!
sie das Material im Innern der Pumpe beschädigen könnten.
WARNUNG!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder
radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas
vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Die Pumpe darf
niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden.
Die Pumpe ist für einen hohen Durchsatz an Stickstoff, Argon und leichteren
Gasen konzipiert. Falls das Pumpen von Gasen erforderlich ist, die schwerer
als Argon sind, ist mit dem Technischen Kundendienst von Agilent
Rücksprache zu halten.
Benutzung der Turbo-V 3K-G
Ingangsetzung des Systems
Vor der Ingangsetzung des Systems ist zu kontrollieren, dass der E/A-
Gegenkonnektor entfernt ist. Wenn das System an eine Vorrichtung
für die Ferneingabe/-ausgabe angeschlossen ist, ist zu überprüfen,
dass das Signal STOP aktiv ist (siehe Abschnitt "J1 – REMOTE I/O "
im Anhang "Technical Information").
Zur Ingangsetzung des Systems sind die folgenden Schritte
auszuführen:
1
2
3
4
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
E/A-Gegenkonnektor entfernen (sofern vorhanden)
Gerät an das Netz anschließen
Druck in der Vakuumkammer auf 0,1 mbar bringen.
Für die Erteilung des Signals START an die Turbo-V 3K-G gibt es
die folgenden Möglichkeiten:
a
Mitgelieferten E/A-Gegenkonnektor anschließen.
Gebrauchsanleitung
Gebrauch
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Chapitres
