Publicité
12
Podrecznik Instrukcji
Użytkowanie
Użytkowanie
W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury
operacyjne. Przed zastosowaniem systemu należy wykonać wszystkie
połączenia elektryczne i pneumatyczne.
Podczas ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na
kołnierzu nie może przekroczyć 80 °C. Podczas działania pompy,
temperatura wirnika nie może nigdy przekroczyć 120 °C.
Operator musi upewnić się, co do prawidłowego przygotowania
urządzenia zależnie od ilości gazu do pompowania: 1 dla Azotu i
gazów lżejszych, 0 dla Argonu (tryb default) w regulatorze seryjnym
157. W celu dodatkowych informacji należy zapoznać się z dodatkiem
"Technical Information".
ZAGROZENIE!
Nigdy nie należy uruchomić pompę w przypadku kiedy kołnierz wejściowy nie
jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty z kołnierzem zamknięcia.
Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów podczas operacji
nagrzewania. Wysoka temperatura może spowodować uszkodzenia ciała na
osobach.
Unikać uderzeń, wahań lub gwałtownych przesunięć turbopompy podczas jej
UWAGA!
działania. Mogą uszkodzić się łożyska. Dla wlotu do powietrza pompy zastosować
powietrze lub obojętny gaz bez pyłu lub innych cząstek. Ciśnienie wejściowe
poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 1 bara (ponad ciśnienie
atmosferyczne). A csapágyakra szennyező vagy részecskéket tartalmazó gázok
szivattyúzásához ezek a szivattyúk fel vannak szerelve egy olyan különleges
porttal, amelyen keresztül a csapágyak védelme érdekében a szivattyúhoz
közömbös gázt (Nitrogén vagy Hélium) kell áramoltatni (lásd „Technical
Information" függelék).
220/360
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Publicité
Chapitres
