Table des Matières
Publicité
ALLGEMEINES
Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch
sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren
mitgelieferten
Zusatzdokumentationen
Nichtbeachtung -auch teilweise- der enthaltenen Hinweise,
unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht
autorisierten Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier
zur Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die Firma
Varian keinerlei Haftung.
Bei den Pumpen der Serie Turbo-V300 ICE handelt es sich um
Turbomolekularpumpen
Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich insbesonders
für
den
Einsatz
in
den
Halbleiterindustrie und zur Förderung von jeder Art von Gasen
oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch zur Förderung von
Flüssigstoffen oder Festpartikeln.
Die
Pumpwirkung
Hochgeschwindigkeitsdrehturbine (max. 56000 U/Min) erreicht,
die von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird.
Die
Turbo-V300
ICE-Pumpen
unweltschädliche Substanzen und eignen sich deshalb auch für
Anwendungszwecke, die ein "sauberes" Vakuum vorschreiben.
In
den
folgenden
Abschnitten
Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der
Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische
Informationen
sind
im
Anhang
enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
GEFAHR!
Die
Gefahrenhinweise
lenken
Bedieners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei
unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen
können.
ACHTUNG!
Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den
Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden
an der Anlage entstehen können.
ANMERKUNG
Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus
dem Text hervorgehoben werden
LAGERUNG
Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen müssen
folgende klimatische Verhältnisse vorliegen:
Temperatur: von -20°C bis +70°C
-
-
Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend)
Nach
extrem
langer
Lagerung
Inbetriebsetzung im SOFT START-Modus gestartet werden
(siehe Handbuch der Steuereinheit).
VOR DER INSTALLATION
Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung
geliefert.
Eventuelle
Transportschäden
zuständigen örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden.
Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht
fällt oder Stößen ausgesetzt wird.
Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist
vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399
für Umweltschutz.
Um
Entgasungsprobleme
Komponenten, die in Berührung mit dem Vakuum kommen,
nicht mit bloßen Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe
oder einen anderen geeigneten Schutz tragen.
genau
lesen.
Bei
für
Hoch-
und
verschiedenen
Gebieten
der
wird
durch
eine
enthalten
keinerlei
sind
alle
erforderlichen
"Technical
Information"
die
Aufmerksamkeit
des
muß
die
Pumpe
bei
müssen
der
ACHTUNG!
zu
vermeiden,
dürfen
die
Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Atmosphäre
ausgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis zur
Installation
auf
der
Staubverschmutzungen zu vermeiden.
INSTALLATION
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die
ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und
aggressiven Gasen sind, und in denen Explosions- und erhöhte
Brandgefahr besteht.
Beim
Betrieb
müssen
eingehalten werden:
-
Maximaldruck: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck
-
Temperatur: von +5°C bis +35°C
-
Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend).
Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über Einsatz
eines entsprechend geeigneten Schutzschirms geschützt werden.
Weitere Hinweise: siehe Anhang "Technical Information".
Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo-V300 ICE dürfen
nur mit einer der Varian-Spezial-Controller (Serie 969-9433,
969-9533) benutzt werden und müssen an eine Primärpumpe
angeschlossen
werden
Information").
Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim
Anschluß der Turbopumpe an die Anlage.
3
GEBRAUCHSANLEITUNG
ANMERKUNG
Anlage
geschlossen
bleiben,
folgende
Umgebungsbedingungen
(siehe
Schema
in
"Technical
ACHTUNG
!
87-900-897-01(C)
um
Publicité
Table des Matières
