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INFORMACIÓN GENERAL
Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El
usuario deberá leer atentamente el presente manual de
instrucciones y cualquier otra información suplementaria
facilitada por Varian antes de utilizar el equipo. Varian se
considera libre de cualquier responsabilidad debida al
incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso poco
apropiado por parte de personal sin adiestrar, a las
intervenciones no autorizadas o al uso que no cumpla con las
normas nacionales específicas.
Las bombas de la serie Turbo-V300 ICE son bombas
turbomoleculares para aplicaciones de vacío alto y ultra alto
especialmente adecuadas para el uso en los sectores
relacionados con la industria de los semiconductores, que
pueden bombear cualquier tipo de gas o de compuesto
gaseoso. No son apropiadas para bombear líquidos o
partículas sólidas.
El efecto de bombeo se obtiene a través de una turbina que
gira a gran velocidad (56000 r.p.m. máx.) movida por un motor
eléctrico trifásico de grandes prestaciones. En las bombas
Turbo-V300 ICE no hay agentes contaminantes y, por lo tanto,
son apropiadas incluso para las aplicaciones que necesitan un
vacío "limpio".
En los párrafos siguientes se indica toda la información
necesaria para garantizar la seguridad del operador durante el
uso del equipo. Una información más detallada se facilita en el
Suplemento "Technical Information".
Este
manual
utiliza
los
siguientes:
¡PELIGRO!
Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre
un procedimiento o una operación específica que, al no
realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones
personales.
¡ATENCIÓN!
Los
mensajes
de
atención
procedimientos que, al no respetarse, podrían provocar daños
al equipo.
NOTA
Las notas contienen información importante extraída del texto.
ALMACENAMIENTO
Durante el transporte y el almacenamiento de las bombas se
deberá cumplir con las condiciones ambientales siguientes:
-
temperatura: de -20°C a +70°C
-
humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora)
Si el periodo de almacenamiento es muy largo, poner en
marcha la bomba en modalidad SOFT START (véase el
manual de la unidad de control).
PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN
La bomba se suministra en un embalaje de protección
dimensional; si se observan señales de daños, que podrían
haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto
con la oficina de venta más cercana.
Durante la operación de desembalaje, prestar una atención
especial a no dejar caer la bomba ni someterla a golpes.
No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es
totalmente reciclable y se ajusta a la directiva CEE 85/399 para
la preservación del medio ambiente.
¡ATENCIÓN!
Para evitar la degasificación, no tocar con las manos sin
guantes los componentes destinados a someterse al vacío.
Utilizar siempre los guantes u otra protección apropiada.
símbolos
convencionales
se
visualizan
antes
de
La bomba no se puede dañar sólo por quedar expuesta a la
atmósfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada
hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar
una posible contaminación debida al polvo.
INSTALACIÓN
No instalar ni utilizar la bomba en ambientes expuestos a
agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases
agresivos, en ambientes explosivos o con alto riesgo de
incendio.
Durante el funcionamiento es preciso que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
-
presión máxima: 2 bar por encima de la presión
atmosférica
-
temperatura: de +5°C a + 35°C
humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora)
-
Cuando hay campos electromagnéticos la bomba ha de
protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el apéndice
"Technical Information" para más detalles.
Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V300 ICE se
deberán utilizar sólo con uno de los controladores apropiados
Varian (serie 969-9433, 969-9533) y se deberán acoplar a una
bomba primaria (véase esquema en "Technical Information".
Eliminar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el
momento en que se conecte la turbobomba al sistema.
7
INSTRUCCIONES DE USO
NOTA
¡ATENCIÓN!
87-900-897-01(C)
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