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ALLGEMEINES
Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch
sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitge-
lieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei Nichtbeach-
tung
-auch
teilweise-
unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal,
nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der einheimi-
schen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen über-
nimmt die Firma Varian keinerlei Haftung.
Bei den Pumpen der Serie Turbo-V150HT handelt es sich um
Turbomolekularpumpen für Hoch- und Ultrahochvakuuman-
wendungen. Sie eignen sich für jede Art von Gas oder gashal-
tige Gemische, nicht jedoch zur Förderung von Flüssigstoffen
oder Festpartikel.
Die Pumpwirkung wird durch eine Hochge- schwindigkeitsdreh-
turbine (max. 62000 U/Min) erreicht, die von einem Hochleis-
tungsdrehstrommotor angetrieben wird. Die Turbo-V150HT-
Pumpen enthalten keinerlei unweltschädliche Substanzen und
eignen sich deshalb auch für Anwendungszwecke, die ein
"sauberes" Vakuum vorschreiben.
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informati-
onen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des
Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im
Anhang "Technical Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
! ! ! !
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedie-
ners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei unkorrek-
ter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen können.
! ! ! !
ACHTUNG!
Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den
Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schä-
den an der Anlage entstehen können.
ANMERKUNG
Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus
dem Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen müssen
folgende klimatische Verhältnisse vorliegen:
−
Temperatur: von -20°C bis +70°C
−
Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95%
Nach extrem langer Lagerung muß die Pumpe bei Inbetrieb-
setzung im SOFT START-Modus gestartet werden (siehe Han-
dbuch der Steuereinheit).
VOR DER INSTALLATION
Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung gelie-
fert. Eventuelle Transportschäden müssen der zuständigen
örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden.
Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht
fällt oder Stößen ausgesetzt wird.
Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist
vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399
für Umweltschutz.
! ! ! !
ACHTUNG!
Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die Komponen-
ten, die in Berührung mit dem Vakuum kommen, nicht mit blo-
ßen Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe oder einen
anderen geeigneten Schutz tragen.
der
enthaltenen
Hinweise,
Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Athmosphäre au-
sgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis zur
Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um Staubver-
schmutzungen zu vermeiden.
INSTALLATION
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die un-
geschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und ag-
gressiven Gasen sind, und in denen Explosions- und erhöhte
Brandgefahr besteht.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein-
gehalten werden:
−
Maximaldruck: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck
−
Temperatur: von +5°C bis +35°C
−
Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend).
Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über Ein-
satz eines entsprechend geeigneten Schutzschirms geschützt
werden.
Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo-V150HTdürfen nur
mit einer der Varian-Spezialsteuerungen (Serie 969-9405, 969-
9505, 969-9423, 969-9523) benutzt werden und müssen an
eine Primärpumpe angeschlossen werden (siehe Schema in
"Technical Information").
! ! ! !
Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim
Anschluß der Turbopumpe an die Anlage.
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GEBRAUCHSANLEITUNG
ANMERKUNG
ACHTUNG!
87-900-891-01(C)
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