Vor Der Installation; Gebrauchsanleitung - Varian Turbo-V 2000 ICE Mode D'emploi

ALLGEMEINES
Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch
sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren
mitgelieferten Zusatzdokumentationen
Nichtbeachtung -auch teilweise- der enthaltenen Hinweise,
unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht
autorisierten Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier
zur Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die Firma
Varian keinerlei Haftung.
Bei den Pumpen der Serie Turbo-V2000 ICE handelt es sich
um Turbomolekularpumpen
Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich zur Förderung
von jeder Art von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht
jedoch zur Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikel.
Die Pumpwirkung
Hochgeschwindigkeitsdrehturbine (max. 33000 U/Min) erreicht,
die von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird.
Die Turbo-V2000 ICE
umweltschädliche Substanzen und eignen sich deshalb auch
für Anwendungszwecke, die
vorschreiben
In den folgenden Abschnitten
Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der
Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische
Informationen sind im Anhang
enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken
Bedieners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei
unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen
können.
ACHTUNG
Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den
Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden
an der Anlage entstehen können.
ANMERKUNG
Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus
dem Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen müssen
folgende klimatische Verhältnisse vorliegen:
- Temperatur: von -20°C bis +70°C
- Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend).
Nach extrem langer Lagerung
Inbetriebsetzung im SOFT START-Modus gestartet werden
(siehe Handbuch der Steuereinheit).

VOR DER INSTALLATION

Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung
geliefert. Eventuelle Transportschäden
zuständigen örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden.
Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht
fällt oder Stößen ausgesetzt wird.
Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist
vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399
für Umweltschutz.
ACHTUNG
Um Entgasungsprobleme
Komponenten, die in Berührung mit dem Vakuum kommen,
nicht mit bloßen Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe
oder einen anderen geeigneten Schutz tragen.
genau lesen.
für Hoch- und
wird durch eine
-Pumpen enthalten keinerlei
ein "sauberes" Vakuum
sind alle erforderlichen
"Technical Information"
die Aufmerksamkeit
!
muß die Pumpe
müssen
!
zu vermeiden, dürfen
Bei
Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Atmosphäre
ausgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis zur
des Installation auf
Staubverschmutzungen zu vermeiden.
INSTALLATION
Aufgrund ihres Gewichtes darf die Pumpe nur mit entsprechend
geeigneten Geräten angehoben und transportiert werden. Zu
diesem Zweck sind die dafür vorgesehenen Ringschrauben zu
verwenden, die
Pumpengehäuse einzuschrauben sind.
Überprüfen, dass die Pumpe für die betreffende Anwendung
geeignet ist. Die Pumpe wurde für den Gebrauch in PVD-
Pumpsystemen und im Allgemeinen für Anwendungen, bei
denen ein "sauberes" Vakuum erforderlich ist, konzipiert. Für
anderweitige Anwendungen
Technologies oder mit Ihrem Lieferanten Rücksprache zu
halten.
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die
ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und
aggressiven Gasen sind, und in denen Explosions- und erhöhte
bei
Brandgefahr besteht.
Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim
Anschluß der Turbopumpe an die Anlage
der
die
3

GEBRAUCHSANLEITUNG

ANMERKUNG
der Anlage geschlossen
GEFAHR!
in die Gewindebohrungen
ist mit Varian
ACHTUNG
!
.
87-900-915-01(E)
bleiben, um
M8 am
Vacuum