Varian Turbo-V 2000 ICE Mode D'emploi page 9

NEIN
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Um Verletzungen auszuschlieflen, darf auf auf keinen Fall
in die Einlaflˆffnung der Turbopumpe gegriffen oder ir-
gendwelche Gegenst‰nde eingef¸hrt werden. Es wird emp-
fohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehˆr).
Bei Installation eines Ersch¸tterungsd‰mpfers oder eines
flexiblen Metallbalges auf der Einlaflˆffnung mufl die Tur-
bopumpe immer am Unterteil fest installiert.
Beim Betrieb m¸ssen folgende Umgebungsbedingungen ein-
gehalten werden:
- Maximaldruck: 2 Bar ¸ber dem atmosph‰rischen Druck
- Temperatur: von +5DC bis +35DC
- Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend)
Sind Magnetfelder vorhanden, m¸ssen die Pumpen ¸ber Ein-
satz eines entsprechend geeigneten Schutzschirms gesch¸tzt
werden. Weitere Hinweise: siehe Anhang "Technical Informati-
onî.
Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo-V2000 ICE d¸rfen
nur mit einer der Varian-Spezial-Controller (Serie 969-9448,
969-9449) benutzt werden und m¸ssen an eine Prim‰rpumpe
angeschlossen werden (siehe Schema in "Technical Informati-
on"). Die Turbopumpen kˆnnen in jeder Position installiert wer-
den.
Bei waagerechter Pumpenlage ist sicherzustellen, dafl der
Controller f¸r den ìBetrieb in waagerechter Lageî vorgese-
hen ist.
Installieren Sie die Pumpe in einer stabilen Position, indem Sie
den Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Ge-
genflansch anschlieflen, der ein Drehmoment von 20000 Nm
um seine eigene Achse aush‰lt.
Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch m¸ssen mittels
doppelten oder einfachen Klemmschellen an die Vakuumkam-
mer angeschlossen werden. In der nachstehenden Tabelle
sind die Anzahl der Klemmschellen und der Anzugsmoment f¸r
die jeweiligen Flanschgrˆflen und Klemmenarten angegeben.
FLANSCH KLEMM-
SCHELLE
ISO K 250 Doppelklemme mit
M10-Gewinde
Einzelschelle mit
M10-Gewinde
Die Turbopumpe mit Eintrittsflansch ISO F 250 (bolted) ist an
der Vakuumkammer mit 12 Mutterschrauben M10 zu befesti-
gen. Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch m¸ssen mit
dem speziellen Varian- Befestigungsmaterial an die Vakuum-
kammer angeschlossen werden. Weitere Hinweise: siehe An-
hang "Technical Information".
Installation Sonderzubehˆr: siehe "Technical Informationì.
GEFAHR!
AN. ANZUGS-
MOMENT
12 22 Nm
12 22 Nm
ANWENDUNG
S‰mtliche Hinweise f¸r den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpen-
geh‰use mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt wer-
den. W‰hrend der eventuellen Erw‰rmung der Vakuumkammer
darf die Temperatur des Eingangsflanschs und des Rotors
120DC nicht ¸berschreiten. Vakuumsystemen die TP mit Was-
serk¸hlung arbeiten.
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W‰hrend des Ausheizens d¸rfen weder die Pumpe noch even-
tuelle heifle Anschluflteile ber¸hrt werden, denn es besteht
Verbrennungsgefahr.
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F¸r die Bel¸ftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Bel¸f-
tungsanschlufl mufl kleiner als 2 bar ¸ber dem atmosph‰ri-
schen Druck sein.
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W‰hrend des Betriebs sind Stofl- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager besch‰digt werden kˆnnten.
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Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit
einer ÷ffnungsklappe ausgestattet, ¸ber die zum Schutz der
Lager ausschliefllich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugef¸hrt
werden darf (siehe Anhang "Technical Information").
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Wenn die Pumpe zur Fˆrderung von giftigen, leicht entflamm-
baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, m¸ssen die f¸r
das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorg‰nge und Maflnah-
men befolgt werden.
Benutzen Sie die Pumpe niemals in Pr‰senz von explosiven
Gasen.
WARTUNG
Die Pumpen der Serie Turbo-V2000 ICE sind wartungsfrei. E-
ventuelle Eingriffe d¸rfen nur von autorisiertem Fachpersonal
ausgef¸hrt werden.
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Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe ¸ber ÷ffnung des entsprechenden Ventils bel¸ften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur
am Pumpengheh‰use unter 50DC abgesunken ist.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der "Varian
advanced exchange service" in Anspruch genommen werden.
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian mufl
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Hand-
buch beiliegt, ausgef¸llt an Varian geschickt und best‰tigt wer-
den. Eine Kopie mufl den Frachtpapieren beigelegt werden.
Eine eventuelle Verschrottung mufl unter Einhaltung der ein-
schl‰gigen landes¸blichen Vorschriften erfolgen.
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GEBRAUCHSANLEITUNG
GEFAHR!
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ACHTUNG
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ACHTUNG
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ACHTUNG
GEFAHR!
GEFAHR!
ANMERKUNG
87-900-915-01(E)