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Utilisation en mode EI
Affichage de la température et du vide du MSD en réglage manuel
Figure 33
3 Pour modifier une Setpoint (Consigne) ou Limit (Limite) de température,
Il n'est pas possible de modifier les consignes ou limites de température tant que
la pression primaire n'est pas inférieure à 300 mTorr ou que la pompe turbo ne
fonctionne pas à une vitesse minimale de 80 %. Les chauffages du MSD restent
coupés aussi longtemps que selon le modèle, la pompe à diffusion est froide
ou la pompe turbo fonctionne à une vitesse relative de moins de 80 %.
Normalement et selon le modèle, la pression primaire descend au-dessous de
100 mTorr ou la vitesse de la pompe turbomoléculaire atteint 100 %.
Les chauffages du MSD sont mis en marche à la fin du cycle de mise sous
vide et sont coupés au début du cycle de mise à la pression atmosphérique.
Les points de consigne affichés restent inchangés pendant les séquences de
mise à la pression atmosphérique et de mise sous vide en dépit de la coupure
des deux zones de MSD.
Manuel d'utilisation du MSD série 5977B
Onglet des valeurs du réglage manuel HES
saisir les nouveaux paramètres, puis cliquer sur Apply (Appliquer).
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