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Utilisation en mode CI
Surveillance de la pression du vide poussé du mode ionisation chimique
Mesures de pression typiques
Utilisation du dépressiomètre à micro-ions G3397B. Remarquer que le MFC est
étalonné pour le méthane et que le dépressiomètre est étalonné pour l'azote, ces
mesures ne sont donc pas précises, mais sont une indication utile pour apprécier
les mesures de pression types observées. (Voir
été prises dans les conditions indiquées ci-après. À noter que ce sont des
températures typiques en PCI :
Tableau 16 Réglages du MFC et mesures de pression types
Il convient de se familiariser avec les mesures normales dans les conditions de
fonctionnement de votre système et de repérer toute variation qui pourrait
indiquer un problème lié au vide ou à un débit de gaz. Les mesures varient
normalement de 30 % d'un MSD et contrôleur de jauge à l'autre.
Manuel d'utilisation du MSD série 5977B
Température de la source
Température du quad.
Température de l'interface GC/MSD 280 °C
Flux de gaz vecteur, hélium
Débitmètre
massique
(%)
Méthane
MSD EI/PCI/NCI
(Pompe turbo)
–5
10
5,5
10
×
–5
15
8,0
10
×
–4
20
1,0
10
×
–4
25
1,2
10
×
–4
30
1,5
10
×
–4
35
2,0
10
×
–4
40
2,5
10
×
Tableau 16
250 °C
150 °C
1 ml/min
Pression (Torr)
Ammoniac
MSD EI/PCI/NCI
(Pompe turbo)
5,0
×
7,0
×
8,5
×
1,0
×
1,2
×
1,5
×
2,0
×
page 179.) Elles ont
–5
10
–5
10
–5
10
–4
10
–4
10
–4
10
–4
10
179
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