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Sécurité
2.3 Usage conforme à la destination
8
Risque pour la santé en cas de contact avec des substances toxiques lors des
travaux d'entretien ou d'installation
Les pompes à vide, les composants et les fluides d'exploitation peuvent être
contaminés, en fonction du processus, par des substances toxiques, réactives ou
radioactives.
Portez un équipement de protection approprié lors des travaux de maintenance et
d'entretien ou lors de la réinstallation de l'installation.
Risque de blessure au contact de surfaces brûlantes
Pendant le dégazage et l'utilisation d'un chauffage d'enceinte, l'enceinte et les pièces
métalliques juxtaposées peuvent chauffer fortement.
Pendant le dégazage et l'utilisation d'un chauffage d'enceinte, ne touchez pas
l'appareil.
Laissez refroidir la pompe avant d'effectuer des travaux de maintenance et
d'entretien.
Le cas échéant, portez des gants protecteurs conformément à la norme EN 420.
Niveau de bruit très élevé
Dans une zone restreinte située à proximité de la pompe à vide, le niveau des émissions
sonores peut s'avérer très élevé.
Prévoyez une protection anti-bruit
Portez des protections auditives
Le Sputter Process Monitor SPM 220 est une unité de spectrométrie de masse pompée
de façon différentielle. Il sert à mesurer les contaminations les plus faibles lors des
processus de pulvérisation avec des pressions de processus inférieures à 2x10
Le domaine de pression réel dépend des écrans intégrés.
Conformité CE
La déclaration de conformité du fabricant expire si le produit d'origine a été modifié par
l'exploitant ou si ce dernier a ajouté des dispositifs supplémentaires !
• Respectez impérativement les prescriptions d'installation, de mise en service,
d'exploitation et d'entretien.
• Il est interdit d'utiliser, sans le consentement de Pfeiffer Vacuum, d'autres accessoires
que ceux indiqués dans ce mode d'emploi.
DANGER
ATTENTION
AVERTISSEMENT
REMARQUE
-2
mbar.
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