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Pfeiffer Vacuum SPM 220 Manuel De L'utilisateur page 41

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Opération
8.3 Commande de vanne
8.4 Mesure
8.5 Pompe à diaphragme en mode intermittent
8.6 Conditionnement du système à vide
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Dès que 80 % du régime nominal sont atteints, le relais K1 est activé (cf. Représentation
schématique de la BRU, page 51). Le PrismaPlus™ et le chauffage peuvent être mis en
circuit à partir de ce moment. Les interrupteurs correspondants se trouvent sur la face
avant de l'unité de commande du système.
Les affichages à LED de chaque interrupteur signalent l'état de sortie actuel de l'appareil
correspondant.
En option :
Si vous ne souhaitez pas que la turbopompe démarre automatiquement, dès que l'unité
de commande du système est mise en circuit, vous pouvez effectuer ce réglage
directement sur la turbopompe. Pour ce faire, reliez la pompe à un ordinateur à l'aide du
câble adaptateur RS485-USB fourni. Utilisez le logiciel TurboViewer pour pouvoir
effectuer d'importantes modifications au niveau de la pompe. Veuillez consulter le mode
d'emploi du logiciel TurboViewer pour d'autres informations.
Avec l'option « DCU », tous les réglages de la turbopompe peuvent également être
effectués au niveau de la façade du DCU intégré dans la BRU 220. [7]
Pour la variante du SPM 220 avec vanne de sécurité électropneumatique, la vanne est
commandée par le biais d'une sortie numérique du PrismaPlus et le VCU 220. Dans ce
cas, l'opération s'effectue à l'aide du logiciel Quadera. Depuis l'interface du programme,
la commande de la vanne peut en outre être réglée sur « commande externe ». Ainsi,
l'appareil peut être intégré dans une commande supérieure (p. ex. commande
programmable). Pour l'option TPG, la commande peut être réalisée en mode externe via
le câble
de commande 15 pôles fourni (réf. PT 165 062-T) par le biais du TPG. Dans ce cas, les
valeurs seuils pour l'ouverture/la fermeture de la vanne V1 peuvent être réglées
directement sur le TPG.  [13]
La mesure est effectuée avec le PrismaPlus™ via le logiciel Quadera. Pour plus
d'informations, veuillez lire les instructions d'utilisation du logiciel Quadera fourni. [1]
Pour augmenter les périodes d'immobilisation des diaphragmes, il est possible
d'exploiter la pompe à diaphragme en mode intermittent avec l'entrée fermée durant les
périodes où aucune mesure n'est effectuée. Pour ce faire, la turbopompe active et
désactive automatiquement la pompe à diaphragme grâce à son électronique TC 110
RS. Pendant une mesure, la pompe à diaphragme doit fonctionner en continu.
Pour activer le mode intermittent, le paramètre 025 - OpMode BKP - doit être réglé sur
'1' via le logiciel TurboViewer.
Lors du dégazage de l'enceinte (avec chemise chauffante en option), le support du
système peut réduire fortement, et ainsi améliorer la sensibilité de détection pour les gaz
condensables. Pendant le dégazage, le C-SEM doit être mis hors circuit et le système
d'admission fermé. La source d'ions doit rester en service avec un faible courant
d'émission (< 0,3 mA). En cas de charge de gaz faible, la pompe à diaphragme peut
fonctionner pendant le dégazage en mode intermittent (voir 8.5 "Pompe à diaphragme
en mode intermittent").

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