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Systèmes d'admission de gaz
6 Systèmes d'admission de gaz
6.1 SVV 040 PM, à commande électropneumatique
Fonction
Commande de vanne
30
Le SPM 220 peut être fourni en option avec une vanne de sécurité à commande
électropneumatique de type SVV 040 PM.
PT M5x x6x
aucun système d'admission
PT M5x x7x
SVV 040 PM
L'interface de vanne se compose d'1 vanne.
Avec la vanne de sécurité SVV 040 PM, le SPM 220 peut être séparé de la chambre de
processus en cas de défaut ou de remontée de pression trop importante. Ainsi, le
spectromètre de masse et le système de pompage sont protégés efficacement.
Prozesskammer
La vanne V1 (SVV 040 PM) est commandée par le Valve Control Unit. La commande est
effectuée par le PrismaPlus™. Le logiciel Quadera ouvre et ferme la vanne en activant
les sorties numériques correspondantes.
Occupation des sorties : (voir également la section "IO 220 Digital I/O », page 23 ou
"VCU 220 », page 25)
DO 16
Le réglage des sorties numériques dans le logiciel Quadera peut être effectué au choix
via le projet de mesure « IO220.qmt » ( [1]) ou l'extension Quadera fournie
« HPA_SPM_Valve_Control ».
Des informations sur l'installation de l'extension se trouvent dans le fichier
« Readme.txt » sur le CD d'installation de l'extension fourni.
SVV 040
V1
p<10 -5 mbar
PrismaPlus
TM
HiPace 80
MVP 020
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