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Livraison
4.2 Fonction
4.3 Domaine d'application
EX
Numéro de
commande
PrismaPlus
Enceinte avec PKR 251
Système de
pompage
Unité de commande du système Base
Rack Unit BRU 220
Système
d'admission
Appareil de commande de vanne Valve
Control Unit VCU 220
Options
Sputter Process Monitor SPM 220, une unité de spectrométrie de masse quadripolaire
avec système d'admission de turbopompe et de gaz pour l'analyse de gaz non
inflammables dans un domaine de pression compris entre 10
L'opération du système peut s'effectuer manuellement via la BRU 220 et le logiciel
Quadera, ainsi qu'avec une commande supérieure du système via les entrées
correspondantes.
Le SPM 220 doit être installé et exploité dans les conditions ambiantes suivantes :
Risque d'explosion
Le SPM 220 n'est pas prévu pour une utilisation dans des zones menacées par des
explosions.
Mettez immédiatement le SPM 220 hors circuit en cas d'atmosphère explosive.
Utilisation
Altitude max.
Type de protection
Températures
– Stockage/Transport +5 °C...+40 °C
– Exploitation
Humidité relative
PT M5x xcd
6
QME 220 M
•
QMA 200 M
•
•
HiPace80
•
MVP020
•
•
sans
•
SVV 040 PM
TPG 261
DCU002
DANGER
en intérieur
2000 m au-dessus du niveau de la mer
IP 30
0 °C...+40 °C
max. 80 % jusqu'à 31 °C,
diminution linéaire à 50 % à 40 °C
Description du produit
c
d
7
0+4
1+5
2+6
•
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•
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-7
-2
mbar et 10
3+7
•
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•
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11
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