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Fiche technique
5 Fiche technique
5.1 SPM 220
Tableau 5.1 : Fiche technique du SPM 220
18
Domaine de masse
Limite de détection (Argon)
– Hydrogène
– Vapeur d'eau
– Azote
– Oxygène
– Gaz carbonique
Température de fonctionnement,
analyseur
Température de dégazage, analyseur
sans QME
Analyseur
Matériau du filament
Système de barres : matériau/
diamètre/longueur
Détecteur
Electronique du spectromètre de
masse
Logiciel
Turbopompe
Pompe à diaphragme
Tube de mesure de la pression totale
Commande du système
Interfaces :
– Connexion système/PC
– Sorties analogiques, sélection
libre
– Entrées analogiques, sélection
libre
– Sorties numériques, sélection libre
– Sortie numérique,
Ready
– Entrées numériques
libre
SPM
220
amu
ppb
ppb
ppb
ppb
ppb
°C
°C
mm
1
, sélection
1...100
<3000
<500
<100
<100
<100
0...+150 °C
+200 °C max.
QMA 220 M
deux filaments en iridium recouverts
d'oxyde d'yttrium pour PT M5x 3xx
deux filaments de tungstène pour
PT M5x 4xx
acier inoxydable/6/100
C-SEM/Faraday
QME 220 M
Quadera + extension SPM
HiPace 80
MVP 020-3
PKR 251
BRU 220
Ethernet
4x 0...+10 V
5x -10...+10 V
13x 24 VCC
contact, 60 VCC/30 W
jusqu'à 4x24 VCC
1...200
<6000
<500
<100
<100
<100
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