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Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System
In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative.
Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e
pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da
vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere
superiore a 80 °C.
L'operatore deve assicurarsi di predisporre il corretto modo di
raffreddamento (WIN 106): 1 per raffreddamento ad Acqua, 0 per
raffreddamento ad aria forzata (modo di default), impostando il
comando seriale WIN 106. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice
"Technical Information".
L'operatore deve assicurarsi di predisporre il corretto modo di
funzionamento in funzione del gas da pompare (WIN 157): 1 per N
gas più leggeri, 0 per Argon (modo di default), impostando il
comando seriale WIN 157. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice
"Technical Information".
AVVERTENZA!
Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non è collegata alla
camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di chiusura. Non toccare la
turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di
riscaldamento. L'elevata temperatura può causare lesioni alle persone.
Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della pompa quando è in funzione.
ATTENZIONE!
I cuscinetti potrebbero danneggiarsi. Per la mandata all'aria della pompa
utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso
attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la pressione
atmosferica). Per il pompaggio di gas contenenti particolato o inquinanti
aggressivi per i cuscinetti, queste pompe sono dotate di una apposita porta (o
uno specifico accessorio dispositivo di purge/vent integrato) attraverso la quale
è necessario fornire alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto, Elio o Argon) per
proteggere i cuscinetti della pompa (vedere l'appendice "Technical Information").
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01
Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System
(A)
Istruzioni per l'uso
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