Användning Av Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System - Agilent Technologies Turbo-V 750 TwisTorr Mode D'emploi

Användning av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping
System
Detta avsnitt innehåller de huvudsakliga funktionsprocedurerna.
Innan du använder systemet, utför alla elektriska och pneumatiska
anslutningar. Under en eventuell uppvärmning av vakuumkammaren,
får temperaturen på ingångens fläns inte överstiga 80 °C.
Operatören skall se till att förutse ett korrekt kylningsläge (WIN 106):
1 för kylning med vatten, 0 för kylning med forcerad luft
(standardläge), vid inställning av seriekontroll WIN 106. För
ytterligare information, se bilagan "Technical Information".
Operatören skall se till att förutse ett korrekt funktionsläge i funktion
till gasen som skall pumpas (WIN 157): 1 för N
för argon (standardläge), vid inställning av seriekontroll WIN 157.
För ytterligare information, se bilagan "Technical Information".
VARNING! Låt aldrig pumpen fungera om ingångens fläns inte kopplats till
vakuumkammaren eller inte är stängd med flänset för stängning. Vidrör inte
turbopumpen och dess eventuella tillbehör under uppvärmningarna. Den höga
temperaturen kan orsaka kroppsskador.
Undvik stötar, svängningar eller plötsliga förflyttningar av pumpen när den är i
OBSERVER!
funktion. Lagren kan skadas. För luftförsörjningen av pumpen, använd luft eller
inertgas som inte får innehålla damm eller partiklar. Det ingående trycket genom
intaget skall vara under 2 bar (utöver atmosfärtrycket). För pumpningen av gas
som innehåller aggressiva partiklar eller föroreningar för lager, är dessa pumpar
utrustade med ett lämpligt uttag (eller ett specifikt tillbehör för Purge/Vent
integrerat) genom vilken det är nödvändigt att ge pumpen ett flöde med inertgas
(kväve, helium eller argon) för att skydda lagren på pumpen (se bilagan
"Technical Information").
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01
Användning av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System
Bruksanvisning
och lättare gaser, 0
2
(A)
8
153/406