Table des Matières
Publicité
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI
vonatkozik, a működés és a használati mód
azonos minden TPS-típusnál.
Az
ismertetett
információk
alkalmazhatók
(valamennyi
turbomolekuláris szivattyú, foreline szivattyú vagy
elektromos táp specifikumoktól függetlenül.
TELEPÍTÉS
FIGYELEM!
Ne távolítsa el az öntapadó és védőkupakot a
turbószivattyúnak
a
csatlakoztatása előtt.
Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyúzó
rendszert
atmoszférikus
környezetben (eső, hó, jég), porban, agresszív
gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes
környezetben. Üzemeltetés közben a következő
környezeti feltételeket kell biztosítani:
− maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás
felett
− hőmérséklet: +5 °C-tól +35 °C-ig
− relatív
páratartalom:
kondenzáló)
Mágneses mezők jelenlétében a szivattyúzó
rendszert
védeni
kell
segítségével.
A TPS-mobilet vízszintes síkra kell helyezni.
Tegye
a
TPS-mobilet
csatlakoztassa
a
turbószivattyú
karimáját egy 50 Nm nyomatéknak ellenálló
ellenkarimához a saját tengelye körül (közvetlenül
vagy egy flexibilis csatlakozó segítségével).
Az
ISO
bemeneti
szorítókkal kell az ellenkarimához csatlakoztatni.
Az alábbi táblázat tartalmazza szorítótípusonként,
hogy
hány
szorító
zárónyomatékkal kell zárni.
RÖGZÍTŐ
KARIMA
ESZKÖZ
ISO 63
M10 kapcsok
ISO 100 K
M10 kapcsok
ISO 160 K
M10 kapcsok
A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a
megfelelő Varian hardverrel kell rögzíteni a
vákuumkamrához.
Részletes
„Technical Information".
MEGJEGYZÉS
ATPS-mobile nem rögzíthető az alapján keresztül.
Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a
„Technical Informationt".
HASZNÁLAT
Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési
eljárásokat.
a
teljes
skálára
típusra)
rendszerhez
való
közegeknek
kitett
0
–
95%
(nem
ferromágneses
pajzs
stabil
helyzetbe,
bemeneti
karimás
turbószivattyút
szükséges
és
milyen
RÖGZÍTŐ
N.
NYOMATÉK
4
22 Nm
4
22 Nm
4
22 Nm
leírásért
lásd
Mielőtt a rendszert használja, ellenőrizze, hogy
valamennyi elektromos és hidraulikus csatlakozás
megfelelően készült. A vákuumkamra melegítése
a
közben a bemeneti szelep hőmérséklete nem
haladhatja meg a 120 °C-ot.
Soha ne használja a szivattyúzó rendszert, amikor
a
bemeneti
vákuumkamrához vagy nincs kiiktatva.
Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak
tartozékait a melegítési folyamat közben. Magas
hőmérséklet égést okozhat.
Ne mozdítsa el, és vigyázzon, ne ütközzön semmi
a
turbószivattyúhoz
csapágyak megsérülhetnek, és anyagi kár vagy
személyi sérülés történhet.
Használjon portól, szemcséktől vagy nedvességtől
mentes semleges gázt (pl. nitrogént) a szivattyú
szellőztetéséhez.
nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie (a
légköri nyomás fölött).
Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy
radioaktív
gázok
kérem,
kövesse
ártalmatlanításához szükséges eljárásokat.
Ne használja a szivattyúzó rendszert robbanó
gázok jelenlétében.
A TPS-mobile bekapcsolása és használata
− Miután kicsomagolta a TPS-mobilet, győződjék
meg gondos megtekintéssel arról, hogy a
rendszer
szállítás során (a kritikus részek az alábbiak: a
szivattyúkarima, a Foreline szivattyú rögzítő
kengyelei, a frontlemez és a rendszer kerekei).
− Ellenőrizze a rendszer elektromos egységének
vázára ragasztott Varian címkén szereplő
bemeneti feszültséget.
58/105
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
VIGYÁZAT!
karima
nincs
csatlakoztatva
VIGYÁZAT!
VIGYÁZAT!
működés
közben!
FIGYELEM!
A
szellőző
porton
VIGYÁZAT!
szivattyúzására
az
egyes
nem
szenvedett
károsodást
87-901-005-01(A)
a
A
lévő
használja,
gázok
a
Publicité
Table des Matières
