Table des Matières
Publicité
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI
INSTALLASJON
FORSIKTIG!
Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes først
når turbopumpen koples til systemet.
Ikke installer eller bruk pumpesystemet i miljøer
som utsettes for regn, snø eller is, støv,
aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller
miljøer med stor brannfare.
Under bruk må følgende forhold respekteres:
-
maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk)
-
temperatur: fra +5°C til +35°C
-
relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)
Ved magnetfelt må pumpesystemet beskyttes av
dertil egnede skjermer.
TPS-mobile må plasseres på en jevn, rett
overflate. Sett TPS-mobile i stabil stilling ved å
koble
turbopumpens
motflense som er i stand til å motstå et
dreiemoment på 50 Nm rundt sin egen akse
(direkte eller ved et dreibart koblingsstykke).
Turbopumpen med ISO inngangsflense må kobles
til motflensen ved hjelp av klemskruer. Følgene
tabell beskriver, for hver type klemskrue, antallet
påkrevde klemskruer og hvilken momentnøkkel
som skal brukes for å stramme dem.
FLENS
TYPE KLEMME
Dobbel klemme,
ISO 63
gjenge M10
Dobbel klemme,
ISO 100 K
gjenge M10
Dobbel klemme,
ISO 160 K
gjenge M10
Turbopumpen med ConFlat inngangsflens skal
festes til vakuumkammeret ved hjelp av de
spesielle låsedelene fra Varian. For detaljer
henvises det til "Technical Information".
MERK
TPS-mobile må ikke festes gjennom fundamentet.
For installasjon av tilleggsutstyr vises det til
"Technical Information".
BRUK
Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette
avsnittet.
Før bruk av systemet, kontroller at alle de
elektriske og pneumatiske koblingene er blitt
korrekt utført. Mens oppvarmingen av kammeret
pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke
overskride 120°C.
ADVARSEL!
Ikke start pumpesystemet hvis inngangsflensen
ikke er koplet til vakuumkammeret, eller ikke er
lukket med lukkeflensen.
inngangsflense
til
en
ANT.
STRAMME-MOMENT
4
22 Nm
4
22 Nm
4
22 Nm
Ikke
berør
tilleggsutstyret under oppvarmingen. De høye
temperaturene kan føre til brannskader.
Unngå støt eller brå bevegelser av turbopumpen
når den er i bruk. Lagrene kan kunne skades og
det kan kunne oppstå skade på personer eller
gjenstander.
Bruk fukt-, støv- og partikkelfri inaktiv gass (f. eks
kvelstoff) ved forsyning av pumpen. Trykket ved
inngangen må ikke være mindre enn 2 bar (over
atmosfærisk trykk).
Når
pumpen
brannfarlige eller radioaktive gasser skal de
relevante forskriftene for de enkelte gasstypene
følges.
Pumpesystemet
eksplosjonsfarlige miljøer.
Starte og bruke TPS-mobile
− Etter å ha pakket ut TPS-mobile, sjekk at
systemet ikke har spor etter skader grunnet
transport (de kritiske delene er; pumpens
flense,
festebøyle
frontdeksel og systemhjulene) gjennom en
visuell kontroll.
− Kontrollere inngangsspenningen som står på
etiketten Varian og som er klistret fast til
chassis på systemets elektroniske enhet.
− Hvis spenningen til strømtilførselen er forenlig
med systemets, er det mulig å koble den
strømførende kabelen til til el-uttaket av typen
IEC320 som finnes på systemets bakre del (se
figuren). Uttaket er utstyrt med en koblingsfjær
som er satt på for å unngå uhensiktsmessige
frakoblinger av strømkaleben; Bruk fjæren for å
hekte el-kabelen fast.
43/105
BRUKERVEILEDNING
ADVARSEL!
turbopumpen
eller
ADVARSEL!
FORSIKTIG!
ADVARSEL!
brukes
for
å
pumpe
skal
ikke
brukes
for
Foreline-pumpen,
Modellnummer (PN)
Serienummer (SN)
Elektriske data
87-901-005-01(A)
noe
av
giftige,
i
Publicité
Table des Matières
