Balzers TPH 110 Instructions De Service page 7

Pompes turbo-moleculain
Table des Matières

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2
3
Fig.
1
Rotor
Heizmonschette
2
3
Vorvokuumflansch
4
Motor
UHV-Anschlul3
5
Flutonschlul3
6
7
KUhlwosseronschluB
Antrieb
D ie PFEIFFER-TURBO TPH/TPU 110
ist mit kollektorlosem Gleich­
strommotor mit Hollsondensteuerung
ousgerustet.
Die Antriebselektronik der PFEIF­
FER-TURBO ist els seporotes Gerat
TCP 270 ausgefUhrt. Die Elektronik
konn somit bei Bedorf in grol3erem
Abstand zur Pumpe ploziert werden,
Das Gerat ist an die PFEIFFER-TUR­
BO optimal ongepa13t. Es beschleu­
nigt und regelt vollautomotisch
den Pumpenrotor ouf Nenndrehzahl.
Die Leistung ist so ousgelegt,
da13 die Nenndrehzohl in ca. 1 Mi­
nute erreicht wird (siehe 2.).
Flutanschlul3
Zurn souberen Fluten befindet sich
om Pumpengehouse ein Kleinflonsch
(6) DN 10 KF, dessen Bohrung zwi­
schen den Stotorschoufeln mUndet.
Im Gegensatz zum Fluten van der
Vorvakuumseite wird mit dieser
Anordnung dos Verschleppen von
Kohlenwosserstoffen (houptsochlich
Vorpumpen-Oldompfe) ouf die Hoch­
vokuumseite vermieden.
5
1
Rotor
1
Heating
jacket
2
Fore-vacuum flange
3
Motor
4
UHV connection
5
Air inlet connection
6
7
Cooling water connection
Drive
The TPU/TPH 110 PFEIFFER TURBO
is equipped with o brushless
d.c. motor with Holl probe con­
trol.
The electronic drive of the PFEIF­
FER TURBO has been designed as o
separate unit TCP 270. It con thus
be placed at larger distances to
the pump when needed, The unit is
optimally adjusted to the PFEIFFER
TURBO pump. It accelerates and re­
gulates the pump rotor to nominal
speed in a fully automatic manner.
The output is designed in such o
woy as to allow for attaining the
nominal speed in approx. one mi­
nutes (see 2.).
Venting connection
For clean venting, o small flange
DN
KF (6)
10
is provided at the
pump cosing, the borehole of
which ends between the stator
vanes.
Contrary to venting from the
fore-vacuum side, this arrange­
ment will prevent the entroine­
ment of hydrocarbons (mainly oil
vapours From the backing pump)
to the high vacuum side.
1
Rotor
Chemise
Chouffonte
2
3
Bride vide primoire
Moteur
4
Connexion ultro-vide
5
6
Roccord remise d l'oir
7
Bronchement eau de refroidis-
sement
Commande
Lo TURBO-PFEIFFER TPH/TPU 110 est
equipe d'un moteur o couront con­
tinu sons collecteur ovec common­
de por sondes de Holl.
Le systeme d'entrainement electro­
nique des TURBO-PFEIFFER se pre-­
sente sous la forme d'un opporeil
separe TCP 270. Ceci permet de
placer l'electronique d distance
de la pompe si necessaire. L'op­
pareil est porfoitement adopte a
cheque pompe. 11 accelere et regle
de fo�on entierement automatique
le rotor de lo pompe ace qu'on
obtienne en une minutes environ
la vitesse nominole (voir 2.).
Roccord de remise d l'oir
Sur la corcosse de lo pompe se
trouve une petite bride (6)
DN 10 KF p ermettant d'effectuer
une entree d'oir sec et dent le
per�oge oboutit entre !es palette s
du stator.
Contrairement a une remise a l'oir
par le c6te vide primoire, cette
disposition permet d'eviter !'in­
troduction d'hydrocorbures (prin­
cipalement !es vopeurs d'huile
des pompes primoires) du c6te vide
eleve.
4

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Tpu 110

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