Technische Details; Technical Details; Details Techniques - Balzers TPH 110 Instructions De Service

Pompes turbo-moleculain
Table des Matières

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1.3

Technische Details

Die PFEIFFER-TURBO TPH 110 und
TPU 110 ist die kleinste ihrer
Art. Der Druckstufensatz ist in
einem kurzen zylindrischen GehOu­
se aus Edelstahl mit Ansaugflansch
angeordnet. Der fliegend gelager­
te Rotor l□uft in zwei Hochgenau­
mit
Kugellagern
Dochtschmierung.
Die Dochte sind mit 01 getr□nkt.
Somit entfallen blpumpe und 01-
fluBkontrolle. Der Antriebsmotor
und die Lagerung des Rotors sind
serienm□Big im wassergekUhlten
YorvakuumgehOuse angeordnet. Auf
Wunsch kann die Pumpe auf LuftkUh­
lung umgestellt werden. Die Luft ­
kuhlung ist als ZubehOr nachtr□g­
lich lieferbar.
Die Pumpe kann vertikal bis hori­
zontal (siehe Fig. 2) angeflanscht
werden. Hierdruch entfallen teure
WinkelstUcke. Das SaugvermOgen der
Pumpe wird am Rezipienten voll
nutzbar.
Der Rotor besteht im wesentlichen
aus der Welle und den mit Schau­
feln versehenen Rotorscheiben.
Die Statorscheiben sind spiegel­
bildlich zu den Rotorscheiben aus­
gebildet. Je eine Rotor- und eine
Statorscheibe bilden eine Druck­
stufe. Aufgrund der optimalen Be­
schaufelung (Druckstufen mit hohe n
K-Werten) kommt die PFEIFFER-TURBO
mit einer geringen Anzahl Druck­
stufen aus. Hieraus ergeben sich
niedrige Rotorgewichte und kleine
Rotorlager. Infolge dieser kleine n
Lager treten ouch bei hohen Dreh­
zahlen relativ niedrige Umfangs­
geschwindigkeiten in den Kugella­
gern auf. Dadurch wird eine lange
Lebensdauer der Lager und eine ho ­
he Betriebssicherheit erreicht.
Der Antrieb des Rotors erfolgt
elektronisch. Der vibrations- und
ger□uscharme Lauf der PFEIFFER­
TURBO ist dos Ergebnis von dyna­
mischer Rotorwuchtung und schwin­
gungsdOmpfender Abstimmung der
Bauteile. Die PFEIFFER-TURBO ist
lufteinbruchsicher.
3
1.3

Technical details

The PFEIFFER TURBO TPH 110 and
TPU 110 is the smallest one of
its kind. The pressure stage set
has been arranged in a short cy­
lindrical casing of stainless
steel which is equipped with an
inlet flange. The overhung rotor
runs in two high-precision ball
bearings with wick lubrication.
The wicks are impregnated with oil.
Thus, the need for an oil pump
and oil flow monitor is elimina­
ted. The drive motor and the bea­
rings of the rotor in the standard
construction are located in the
wotercooled forevacuum housing
of the pump. On requirement the
pump con be changed for air coo­
ling. Air cooling can be furnished
subsequently as an accessory.
The pump can be flanged vertical­
ly or horizontally (see fig. 2)
thus eliminating the need for ex­
pensive angle plates. The volume
flow rate of the pump being fully
utilizable at the vacuum chamber.
The rotor mainly consists of the
shaft and the rotor discs which
are equipped with blades, The
stator discs are formed in a ho­
mologous manner. One rotor disc
and one stator disc each form
a pressure stage. Due to the op­
timum blading (pressure stages
with high k-values), the PFEIFFER
TURBO only needs a small number
of pressure stages. This results
in low rotor weight and small ro­
tor bearings. Due to these small
bearings, rather low circumferen­
tial speeds appear in the ball
bearings, even in the case of
high speeds, This results in a
long life of the bearings and
high operational reliability. The
rotor is driven electronically.
The vibration-free and low-noise
run of the PFEIFFER TURBO is a
result of the dynamic rotor ba­
lancing and vibrations-absorbin g
selection of the components.
The PFEIFFER TURBO
is sofe
against air inrushes.
1 .3

Details techniques

Les TURBO-PFEIFFER TPH 110 et TPU
110 sont les plus petits modeles
1
de ce type. Le jeu d
etages de
pression est place dons une cour­
te carcosse cylindrique qui com­
porte la bride d'aspiration. Le
rotor monte en porte-d-faux tour­
ne dons les deux roulements d bil­
les de haute precision d graissa­
ge par meches alimentees en huile.
Ceci supprime la pompe d huile et
le contr6le de circulation d
Le moteur d'entrainement et les pa­
liers du rotor sont dons les pom­
pes de serie loges dons la partie
vide preliminare refroidie d eau.
A demande la pompe peut �tre modi­
fiee pour refroidissement d air.
Les composants pour le refroidisse­
ment d air peuvent @tre fournis
comme accessoire.
La pompe se raccorde soit vertica­
lement, soit horizontalement (voir
fig.
2). Ceci permet de supprimer
des raccords coudes souvent coO­
teux et d'utiliser pleinement la
capacite d'aspirotion de la pompe
sur l'enceinte d vider.
Le rotor se compose essentielle­
ment de l'arbre et des diques mu­
nis d'ailettes. Les disques du
stator sont la reproduction in­
verse des disques du rotor. Cheque
disque de rotor et disque de sta­
tor forme un etage de pression.
En raison de la conception opti­
mole de l'ailettage (etages de
pression d v□leur K elevee), lo
TURBO-PFEIFFER ne prhente qu'un
nombre reduit d'8tages de pres­
sion, d'oU un poids du rotor peu
e1ev8 et des poliers de petites
dimensions. Par suite des dimen­
sions r8duites des paliers, les
vitesse peripheriques des roule­
ments d billes d haute allure sont
relativement foibles. On obtient
ainsi une longue duree de vie des
paliers et une grande fiabilite.
L'entroinement du rotor est elec­
tronique. La morche silencieuse
et sans vibrations des TURBO-PFEIF­
FER est le resultat d'un equili­
br□ge dynamique du rotor et des
amortisseurs qui equipent !'en­
semble. La TURBO-PFEIFFER est in­
sensible aux entrees d
1
air,
1
huile.

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Ce manuel est également adapté pour:

Tpu 110

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