Table des Matières
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1,
Beschreibung
1, 1
Anwendungen
1 .2
Arbeitsweise
1.3
Technische Details
1.4
Saugvermtigen
1.5
Kompression (K-Wert)
1.6
Restgas
1 .7
Enddruck
Beschreibung der Antrieb s-
2.
elektronik
2. 1
Allgemein
2.2
Arbeitsweise
2,3
Pumpstandsteuerung
2.4
Aufbau
2.5
Uberwachungselektronik und
S ignalausgcinge
3.
Technische Doten
4.
ZubehOr und Bestellnummern
5.
Installation
Hinweis
5, 1
5.2
HochvokuumanschluB
5,3
VorvakuumanschluB
5.4 Vorpum pe
5,5 KUhlung
5, 5, l
WasserkUhlung
5,5.2
LuftkUhlung
5.6
Flut□nschluB
5.7
Elektrischer AnschluB
6.
Betrieb
6. 1
Inbetriebnohme der Pumpe
6.2
Heizen der Turbo-Molekular-·
pumpe
6.3
Ausheizen der MeG-Systeme
6.4
Abschalten
6.5
Justierung der Uberwachungs
elektronik in TCP fUr ouBer
gewOhnliche Anwendungsfolle
(siehe 2.2)
6.6
Ausw�chseln des Steuerprint
Wortung
7.
7. 1
Olwechsel
7.2
Reinigun g
Lagerwechsel
7.3
8,
StOrungen und deren Behebung
Check-Liste TCP 270
8. 1
8.2
Steuerprint
8,2. 1
Ausklo ppe n des Steuerprints
8,2.2
PrUfen des Steuerprints
Ersotzteile
9.
1.
Description
1. 1
Application
1.2
Mode of Operation
1.3
Technical details
1 ,4
Volume flow rate
1 .5
Compression (value K)
1 .6
Residual gas
1 .7
Ultimate pressure
2.
Description of the electro-
nic drive
2. 1
General
2.2
Mode of Operation
2.3
Pumping unit control
2.4 Design
2.5
Control electronics and
signal outputs
3.
Technical Data
4.
Accessories and Code-numbers
5,
Installation
5. 1
Nate
5.2
High vacuum connection
5,3
Fore-Vacuum Connection
5.4
Fore-Pump
5,5
Cooling
5.5, l
Water cooling
5.5.2
Air cooling
5.6
Venting connection
5,7
Wiring
6.
Opera tion
6,1
Starting up the Pump
6.2
Heating the Turbo Molecular
Pump
6.3
Bake-out of the Measuring
Systems
6.4
Stopping
6,5
Adjustmen t of the control
electronics in the TCP unit
for special applications
(cf. 2.5)
6.6
Replacing the control print
7.
Maintenanc e
7. 1
Oil change
7.2
Cleaning
7,3
Replacement of the bearings
8.
Troubles and their remedies
8. 1
Check-List TCP 270
8,2
Control print
8.2.1
Unfolding the control print
8.2.2
Checking the control print
Spore Part s
9.
1.
Description
1. 1
Utilisation
1 .2
Fonctionnement
1.3
D€tails techniques
1.4
D€bit volume
1.5
Compression (valeur de K)
1.6
Gaz residue!
1.7
Pression finale
2.
D escription de l'entraine-
ment E:lectroniques
2. 1
GE:lnE:lral
2.2
Mode de fonctionnement
2,3
Commande de g roupe de pompage
2,4 Construction
2.5
Electronique de contr6le et
sorties de signaux
3.
Caract8ristiques Techniques
4.
Accessoires et No. de commande
5,
Installation
5, l
Remarque
5.2
Connexion vide Elleve
5.3
Raccordement vide primoire
5.4
Pompe primaire
5.5
Refroidissement
5. 5. l
Refroidissement par eau
Refroidissement par air
5.5.2
5.6
Roccord de remise a l'air
5 ,7
Branchement e1ectrique
6,
Fonctiannement
6. l
Mise en service de la pompe
6.2
Etuvage de lo pompe turbo-
mol0culaire
6.3
Etuvage du systeme de mesure
6,4
Arret de la pompe
6.5
R0glage de 1'0lectronique de
contr6le dons le TCP pour
certoins utilisations portie
culieres (voir 2.5)
6.6
Remplacement du circuit im-
prim0 de commonde
7.
Entretien
7. 1
Chongement d'huile
7.2
Nettoyage
7.3
Remplacement des paliers
8,
Pannes et moyens d'y rem0dier
8.1
Check List TCP 270
8.2
Circuit imprime de commande
8,2.1
Enlivement du circuit
imprim0 de commande
8. 2 .2
VE:lrification du circuit
imprim0 de co mmande
9.
Pieces de rechange
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