Table des Matières
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Types et références des
cellules
6313545
Méthane CH
Hydrogène H
Butane C
Propane C
Chlorure de méthyle CH
Chlorure de méthylène CH
Trichloroéthylène C
6313546
Toluène C
Xylène C
Ethanol C
Fréon R12
6313547
Fréon R22
6313544
Fréon R134A
Fréon R141
Fréon R142B
Fréon R11
Fréon R23
ANNEXE 2
CTX 300 SEMI CONDUCTEUR
Types de gaz
100% LIE
4
100% LIE
2
H
100% LIE
4
10
H
100% LIE
3
8
Cl
500 ppm
3
Cl
500 ppm
2
2
HCl
2
3
500 ppm
H
CH
6
5
3
2000 ppm
H
(CH
)2
6
4
3
H
OH
2000 ppm
2
5
5000 ppm
1 % volume
2000 ppm
2000 ppm
2000 ppm
2000 ppm
1% volume
1 % volume
41
Gammes de
Gaz étalon SAV
mesure
20 % LIE – 1
%CH
20 % LIE – 0.8
20 % LIE – 0.37
%C
H
4
10
20 % LIE – 0.4
%C
75 ppm Trichloroéthylène
100 ppm Toluène
100 ppm Xylène
1000 ppm Ethanol
1000 ppm R12
1000 ppm R22
1000 ppm R134A
1000 ppm R22=500ppm
1000 ppm R22=600ppm
1000 ppm R11
1000 ppm
R134A=1100ppm
Gaz de contrôle
4
%H
2
2000 ppm H2=190ppm+-
25ppm
H
100 ppm CO=80ppm-+15ppm
3
8
300 ppm CO=120 ppm+-
35ppm
300 ppm CO=330ppm+-50ppm
300 ppm CO=330ppm+-50ppm
1000ppm H2=880ppm+-
150ppm
0.5%CH4=hors gamme
0.5%CH4=750ppm+-200ppm
0.5%CH4=2000ppm+-500ppm
0.5%CH4=250ppm+-70ppm
0.5%CH4=150ppm+-50ppm
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