Table des Matières
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NEIN!
! ! ! !
GEFAHR!
Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen
Fall in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder
irgendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird
empfohlen,
ein
Schutzgitter
(Sonderzubehör).
Bei
Erschütterungsdämpfers oder eines flexiblen Metallbalges
auf der Einlaßöffnung muß die Turbopumpe immer am
Unterteil fest installiert sein.
Die Turbomolekularpumpen der Baureihe Turbo-V 250 dürfen
ausschließlich
mit
einer
betrieben werden (Baureihen 969-9423, 969-9504, 969-9523,
969-9425 oder 969-9866) und müssen an eine Primärpumpe
angeschlossen
werden
Information").
Die Turbopumpen können in jeder Position installiert werden.
Befestigen Sie die Turbopumpe in einer stabilen Position,
indem Sie den Eingangsflansch der Pumpe an einen festen
Gegenflansch anschließen, der um die eigene Achse einem
Drehmoment von 1000 Nm um seine eigene Achse aushält,
oder den als Option erhältlichen Bausatz für die Befestigung
am Sockelteil benutzen
Turbopumpen
mit
ISO-Eingangsflansch
doppelten
oder
einfachen
Vakuumkammer angeschlossen werden. In der nachstehenden
Tabelle sind die Anzahl der jeweils erforderlichen Klemmschellen
sowie der jeweilige Anzugsmoment angegeben.
FLANSCH
SCHELLENART
ISO 100
Doppelklemme mit
NM10-Gewinde
Einzelklemme
mit
NM8-Gewinde
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch müssen mit dem
speziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer
angeschlossen werden. Weitere Hinweise siehe Anhang
"Technical Information".
Wenn die Pumpen über ihr Unterteil installiert werden sollen,
müssen in die Bohrungen des Unterteils 3 M4-Schrauben
eingesetzt werden. Die Schrauben müssen eine Dehngrenze
2
von 500N/mm
haben und mit einem Anzugsmoment 0,9 Nm
angezogen werden.
Installation
Sonderzubehör:
Information".
zu
installieren
Installation
eines
der
Varian-Spezialsteuerungen
(siehe
Schema
"Technical
müssen
mittels
Klemmschellen
an
ANZAHL ANZUGSMOMENT
4
22 Nm
8
11 Nm
siehe
Anhang
"Technical
ANWENDUNG
Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das
Pumpengehäuse
ausgeheizt werden.
Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 120°C
nicht
überschreitet,
Vakuumsystemen die TP mit Wasserkühlung arbeiten.
Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch
eventuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es
besteht Verbrennungsgefahr.
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am
Belüftungsanschluß muß kleiner als 2 bar sein.
Während des Betriebs darf die Pumpe weder Stößen noch
ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden, da die Lager
beschädigt werden können.
Zum
Pumpen
Sonderausführungen der Pumpe Turbo-V 250 benutzt werden.
Diese Pumpen haben einen Anschluß, durch die ein
Edelgasstrom von 0,4 bis 1 mbar ltr/sec fließen muß.
WARTUNG
die
Die Pumpen der Baureihe Turbo-V 250 sind wartungsfrei.
Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisierten Fachkräften
vorgenommen werden.
Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der " advanced
exchange service" in Anspruch genommen werden.
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem
Handbuch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt
werden. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden.
Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der
einschlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen.
4
GEBRAUCHSANLEITUNG
mit
einer
Heizmanschette
sollte
immer
bei
! ! ! !
GEFAHR!
! ! ! !
ACHTUNG!
! ! ! !
ACHTUNG!
! ! ! !
ACHTUNG!
von
aggressiven
Gasen
! ! ! !
GEFAHR!
ANMERKUNG
87-900-851-01(A)
(Optional)
ausheizbaren
dürfen
nur
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