Table des Matières
Publicité
NEJ
! ! ! !
VARNING!
Peta aldrig med fingrar eller föremål i turbopumpens
inlopp för att undvika skador. Användning av skyddsgaller
(tillval) rekommenderas starkt. Om vibrationsdämpare
eller böjliga metallbälgar monteras vid inloppet måste
pumpen förankras i fundamentet.
I närvaro av magnetfält skall pumpen skyddas med en särskild
skärm. Se bilagan "Technical information" för ytterligare
upplysningar.
Turbomolekylärpumparna i serien V 250 måste användas med
en särskild styrenhet från Varian (serie 969-9423, 969-9504,
969-9523, 969-9425, eller 969-9866), och anslutas till en
förpump (se schema i " Technical information").
Turbopumpen
kan
installeras
turbopumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens
intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på
1000 Nm runt den genomgående axeln, eller använd den
särskilda monteringssatsen som finns som tillval.
Turbopumpen
med
ISO-intagsfläns
vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar.
Den följande tabellen beskriver nödvändigt antal klamrar och
med vilket åtdragningsmoment de ska spännas.
FLÄNS
TYP AV
KLAMMER
ISO 100
Dubbel klammer
med gänga M10
Enkel klammer
med gänga M8
Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till
vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer
hänvisas till bilaga "Technical Information".
För att fästa pumpen till fundamentet är det nödvändigt att
använda 3 M4 skruvar, som installeras i hålen på pumpens
fundament. De använda skruvarna måste tåla en belastning på
2
500 N/mm
korrekt åtdragningsmoment är 0,9 Nm.
Installation
av
tillbehörsutrustning
Information".
i
valfri
position.
Fäst
ska
fästas
i
ANTAL
ÅTDRAGNINGS-
MOMENT
4
22 Nm
8
11 Nm
beskrivs
i
"Technical
ANVÄNDNING
Anvisningar för riktig användning av turbopumpen finns i
styrenhetens bruksanvisning.
Läs bruksanvisningen noga innan du startar pumpen.
För att förbättra tryckgränserna kan pumphuset värmas med
ett särskilt värmeaggregat som finns som tillval. Under
uppvärmningen av pumploppet får temperaturen vid inloppet
aldrig bli högre än 120 °C.
Under uppvärmningen måste vattenkylningen användas.
! ! ! !
Vidrör
inte
turbopumpen
uppvärmningen för att undvika brännskador.
Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för
luftning av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar.
Undvik stötar eller plötsliga rörelser av pumpen under drift. I
annat fall kan lagren skadas.
Vid
pumpning
av
specialkonstruerade versionen av Turbo - V 250 pumpen
användas. Denna pumptyp är försedd med ett specialuttag dit
ett ädelgasflöde mellan 0.4 och 1 mbar l/s skall anslutas.
UNDERHÅLL
Pumparna
i
Turbo-V
servicearbete måste utföras av auktoriserad personal.
! ! ! !
Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens
strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den
aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat.
Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad
eller Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en
renoverad pump.
Innan pumpen lämnas in till tillverkaren för reparation eller
utbyte
mot
en
renoverad
säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och
skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en
kopia av bladet med pumpen.
Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning
16
BRUKSANVISNING
VARNING!
eller
några
tillbehör
! ! ! !
VIKTIGT
! ! ! !
VIKTIGT
! ! ! !
VIKTIGT
aggressiva
gaser
skall
250-serien
är
underhållsfria.
VARNING!
OBSERVERA
enhet,
måste
"hälso-
87-900-851-01(A)
under
den
Allt
och
Publicité
Table des Matières
