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Agilent Technologies TwisTorr 404 FS Notice De Mode D'emploi page 316

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17

Technical Information

Pump Used with Corrosive Gases

Figure 39 Purge layout

316/326

1

Purge gas line

2.

Pressure regulator

3.

Gas purge valve

4.

Gas purge port

5.

Forevacuum pump

6.

Turbopump

7.

Vent valve

TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01 (A.00)

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Produits Connexes pour Agilent Technologies TwisTorr 404 FS

Ce manuel est également adapté pour:

Twistorr 404 fs iso100k kf25 Twistorr 404 fs iso100f kf25 Twistorr 404 fs cff6 kf25 X3511-64019 X3511-64020 X3511-64021