Table des Matières
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1 Description générale du système
Système de vide
Le système de vide est constitué de deux pompes auxiliaires, sèches ou
humides selon l'option, et de six pompes turbomoléculaires, qui évacuent les
atmosphères des zones suivantes du système :
•
Guide d'ions StepWave de la source
•
Deux dispositifs Triwave
•
Quadripôle
•
Lentilles de transfert
•
Analyseur à temps de vol, ou TOF
Des verrouillages de protection évitent les pertes de vide et les défaillances
électriques ou d'aspiration des pompes. Le système contrôle la vitesse des
pompes turbomoléculaires et mesure en continu la pression de vide via des
manomètres intégrés. Les manomètres servent également d'interrupteurs qui
arrêtent le fonctionnement en cas de perte de vide.
Une vanne d'isolement de vide isole le cône d'échantillonnage de l'analyseur
de masse. Le cône d'échantillonnage peut ainsi être nettoyé sans casser le vide
de l'instrument.
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11 janvier 2016, 715004159FR Rév. C
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