Table des Matières
Publicité
VŠEOBECNÉ INFORMACE
Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před
použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další
informace dodané firmou Varian. Firma Varian neodpovídá za
jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného
nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými
osobami, neoprávněným zásahem do zařízení nebo jakoukoli
činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných
státních normách.
TPS-compact je integrovaný systém pro aplikace vyžadující
vysoké
a
velmi
vysoké
turbomolekulární vývěvou a příslušným regulátorem. Zařízení
může odčerpávat libovolný plyn nebo plynnou směs. Není
vhodné na čerpání tekutin nebo pevných částic. Čerpání
zajišťuje velmi rychlá turbína poháněná vysoce výkonným
trojfázovým elektromotorem. TPS-compact neobsahuje žádné
kontaminující látky a proto se hodí pro aplikace vyžadující
"čisté" vakuum.
TPS-compact je vybaven pomocnými konektory pro ovládání
odvzdušňovacího ventilu, který se má ovládat dálkově pomocí
hostitelského počítače připojeného sériovou linkou.
Následující odstavce obsahují informace potřebné k zajištění
bezpečnosti obsluhy při používání tohoto zařízení. Podrobné
informace jsou uvedeny v příloze "Technical Information".
Tento manuál používá následující standardní protokol:
VÝSTRAHA!
Výstražná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý
postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly
způsobit vážný úraz.
VAROVÁNÍ
Varovná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě
nedodržení mohly poškodit zařízení.
POZNÁMKA
Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu.
USKLADNĚNÍ
Pro zaručení maximální úrovně funkčnosti a spolehlivosti
vývěvových systémů Varian je třeba respektovat následující
předpisy:
•
Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste
neměli
překračovat
následující
prostředí:
•
Teplotní rozpětí : -20 °C až +70 °C
•
Rozpětí vlhkosti: 0 až 95% (bez srážení)
•
turbomolekulární vývěvy musí uživatel po dodávce a
poprvé vždycky spouštět pozvolně
•
skladovatelnost turbomolekulární vývěvy je 10 měsíců ode
dne doručení.
VAROVÁNÍ
Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty,
čerpací systém musíte vrátit výrobci. Informujte se prosím u
místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Varian.
PŘÍPRAVA K INSTALACI
Vývěva Mini Task se dodává ve speciálním ochranném obalu.
Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo
dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku.
Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte
jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
Balicí materiál nelikvidujte nedovoleným způsobem. Tento
materiál lze 100% recyklovat a splňuje požadavky směrnice
EEC 85/399.
vakuum
vybavený
hlavní
technické
podmínky
Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte
holé ruce při manipulaci s komponenty, které budou vystaveny
vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu.
V normálním prostředí se vývěva TPS-compact nemůže
poškodit. Přesto doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou,
dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila
před jakýmkoli znečištěním a prachem.
INSTALACE
Před
připojením
turbomolekulární
nesundávejte adhezní a ochranné víko.
Čerpací systém neinstalujte v prostředí, které je vystaveno
atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním
plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým
nebezpečím požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující
podmínky dané prostředím:
−
maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem
−
teplota: od +5 °C do +35 °C
−
relativní vlhkost: 0 -95% (bez srážení)
V přítomnosti magnetických polí se čerpací systém musí
chránit feromagnetickým stíněním.
Vývěvu TPS-compact lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu
TPS-compact upevněte v nějaké stabilní poloze a vstupní
přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese
torzní moment 50 Nm kolem své osy.
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ISO se musí
připevnit k vakuové komoře použitím příslušných spon a
příchytek. Následující tabulka uvádí nezbytný počet spon a
příchytek pro každé příchytné zařízení a příslušný utahovací
moment.
45/74
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
VAROVÁNÍ
POZNÁMKA
VAROVÁNÍ
vývěvy
do
87-901-010-01
systému
Publicité
Table des Matières
