Page 1 TPS-compact Models: 969-8217, 969-8218, 969-8219, 969-8220, 969-8221, 969-8222, 969-8223, 969-8224, 969-8225, 969-8226, 969-8227, 969-8228, 969-8229, 969-8230, 969-8231, 969-8232 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog...
Page 2: Safety Notices
Use, duplication or disclosure of Software is subject to The material contained in this Agilent Technologies’ standard © Agilent Technologies, Inc. 2011 document is provided “as is,” and is commercial license terms, and non- subject to being changed, without...
Page 3 TPS-compact TPS-compact TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 3/262...
Page 4 TPS-compact 4/262 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 5: Table Des Matières
Contents Contents Istruzioni per l’uso 13 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento 17 Preparazione per l’installazione 18 Installazione Uso 21 Manutenzione 23 Smaltimento Gebrauchsanleitung 25 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 26 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 30 Installation 31 Gebrauch Wartung Entsorgung 36...
Page 6 Contents Mode d’emploi Nomes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Préparation pour l'installation Installation 43 Utilisation 45 Entretien Mise au rebut Manual de istrucciones 49 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general 51 Almacenamiento Preparación para la instalación 54 Instalación 55 Uso 57 Mantenimiento 59...
Page 7 Contents Preparação para a instalação 66 Instalação 67 Utilização Manutenção Eliminação 72 Bedrijfshandleiding 73 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 74 Algemene informatie Opslag Uitpakken 78 Installatie 79 Gebruik Onderhoud 83 Afvalverwerking 84 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information 87 Opbevaring 89 Forberedelse før installation 90 Installation 91 Anvendelse 93...
Page 8 Contents Bortskaffelse Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 98 Allmän Information 99 Förvaring Förberedelser för installationen 102 Installation 103 Använding 105 Underhåll Bortskaffning Instruksjon Manual 109 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 111 Lagring Klargjøre til installasjon 114 Installasjon 115 Bruk Vedlikehold 119 Kassering 10 Ohjekäsikirja...
Page 9 Contents Varastointi 125 Valmistelut asennusta varten126 Asennus Käyttö Huolto Hävittäminen 11 Felhasználói Kézikönyv 133 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 134 Általános információ 135 Tárolás Előkészítés telepítésre 138 Telepítés Használat 141 Karbantartás Megsemmisítés 144 12 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 146 Ogólne informacje 147 Magazynowanie 149...
Page 10 Contents Konserwacja Przetworstwo odpadow 156 13 Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 158 Všeobecné informace Uskladnění 161 Příprava k instalaci 162 Instalace Použití Údržba Likvidace 14 Návod na Obsluhu 169 Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Použitie...
Page 11 Contents Splošne informacije 183 Shranjevanje Priprava za montažo 186 Montaža Uporaba Vzdrževanje 191 Odlaganje opadkov 192 16 Instructions for Use 193 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 194 General Information 195 Storage Preparation for Installation 198 Installation 199 Use 201 Maintenance Disposal 17 Technical Information 205 Description of the TPS-Compact 207...
Page 12 Contents Window Protocol Service Options 249 Orderable Parts 255 12/262 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 13: Istruzioni Per L'uso
TPS-compact User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali 15 Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 18 Installazione Accensione ed Uso del TPS-compact 22 Arresto del TPS-compact Arresto di Emergenza Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali 13/262...
Page 14: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.
Page 15: Informazioni Generali
Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Informazioni Generali Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
Page 16 Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: AVVERTENZA! I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
Page 17: Immagazzinamento
Istruzioni per l’uso Immagazzinamento Immagazzinamento Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità dei sistemi di pompaggio Agilent, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle  pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: temperatura: da –20 °C a +70 °C ...
Page 18: Preparazione Per L'installazione
Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Preparazione per l’installazione Il TPS-compact viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il TPS-compact e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni.
Page 19: Installazione
Istruzioni per l’uso Installazione Installazione Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del ATTENZIONE! collegamento della turbopompa al sistema. Non installare e/o utilizzare il sistema di pompaggio in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Page 20 Istruzioni per l’uso Installazione Tab. 1 COPPIA DI FLANGIA TIPO DI MORSETTO SERRAGGIO ISO 63 Morsetto doppio con filettatura M10 22 Nm ISO 100 K Morsetto doppio con filettatura M10 22 Nm ISO 160 K Morsetto doppio con filettatura M10 22 Nm La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria meccanica...
Page 21: Uso
Istruzioni per l’uso In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative. Prima di usare il sistema verificare che tutti i collegamenti elettrici e pneumatici siano stati realizzati correttamente. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 °C.
Page 22: Accensione Ed Uso Del Tps-Compact
Istruzioni per l’uso AVVERTENZA! Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare il sistema di pompaggio in presenza di gas esplosivi. Accensione ed Uso del TPS-compact Per accendere il TPS-compact è...
Page 23: Manutenzione
Istruzioni per l’uso Manutenzione Arresto del TPS-compact Per arrestare il TPS-compact è sufficiente mettere in posizione OFF l'interruttore esterno. Il controller incorporato arresta immediatamente il sistema di pompaggio. Arresto di Emergenza Per arrestare in condizioni di emergenza il TPS-compact occorre staccare il cavo di alimentazione dalla presa di rete, o spostare l'interruttore esterno in posizione OFF.
Page 24: Smaltimento
Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Page 25: Gebrauchsanleitung
TPS-compact User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 26 Allgemeine Informationen 27 Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Einschaltung und Gebrauch von Modell TPS-compact Stoppen von Modell TPS-compact Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 25/262...
Page 26: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
Page 27: Allgemeine Informationen
Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.
Page 28 Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: WARNUNG! Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
Page 29: Lagerung
Gebrauchsanleitung Lagerung Lagerung Zur Garantie der höchsten Funktionstüchtigkeit und Zuverlässigkeit der Agilent – Pumpsysteme müssen die folgenden Vorschriften eingehalten werden: Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung  der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: Temperatur: von –20 °C bis +70 °C ...
Page 30: Vor Der Installation
Gebrauchsanleitung Vor der Installation Vor der Installation Modell TPS-compact wird in einer speziellen Schutzverpa-ckung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell TPS-compact ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß...
Page 31: Installation
Gebrauchsanleitung Installation Installation Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluß der VORSICHT! Turbopumpe an das System abnehmen. Das Pumpensystem darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.
Page 32 Gebrauchsanleitung Installation Tab. 1 FLANSCH KLEMMSCHELLE ANZ. ANZUGSMOMENT ISO 63 Doppelschelle mit Gewinde M10 22 Nm ISO 100 K Doppelschelle mit Gewinde M10 22 Nm ISO 160 K Doppelschelle mit Gewinde M10 22 Nm Turbopumpen mit ConFlat Eingangsflansch sind mit dem speziellen Agilent Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer anzuschließen.
Page 33: Gebrauch
Gebrauchsanleitung Gebrauch Gebrauch In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am Eingangsflansch 120 °C nicht überschreiten. WARNUNG! Das Pumpensystem darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist.
Page 34: Einschaltung Und Gebrauch Von Modell Tps-Compact
Gebrauchsanleitung Gebrauch WARNUNG! Wenn das Pumpensystem zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Das Pumpensystem darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden. Einschaltung und Gebrauch von Modell TPS-compact Zur Einschaltung des TPS-compact ist der Netzstecker anzuschließen...
Page 35: Wartung
Gebrauchsanleitung Wartung Stoppen von Modell TPS-compact Zur Stillsetzung des TPS-compact ist der externe Schalter auf die Schaltstellung OFF zu schalten. Der eingebaute Controller sorgt für den sofortigen Stopp des Pumpensystems. Not-Aus Zur Notstillsetzung des TPS-compact ist der Netzstecker zu ziehen oder der externe Schalter auf die Schaltstellung OFF zu schalten.
Page 36: Entsorgung
Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
Page 37: Mode D'emploi
TPS-compact User Manual Mode d’emploi Nomes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales 39 Stockage Préparation pour l'installation 42 Installation Utilisation Mise en marche et utilisation du TPS-compact 46 Arrêt du TPS-compact 47 Arrêt d'urgence Entretien Mise au rebut Traduction de la mode d’emploi originale 37/262...
Page 38: Nomes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
Mode d’emploi Nomes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Nomes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.
Page 39: Indications Générales
Mode d’emploi Indications générales Indications générales Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par conséquent toute responsabilité...
Page 40: Cette Notice Utilise Les Signes Conventionnels Suivants
Mode d’emploi Indications générales Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: AVERTISSEMENT! Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manœuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures dont le non- ATTENTION! respect pourrait endommager sérieusement l'appareillage.
Page 41: Stockage
Mode d’emploi Stockage Stockage Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des systèmes de pompage Agilent, il est indispensable de respecter les instructions suivantes: Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent  impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: température: de –20 °C à...
Page 42: Préparation Pour L'installation
Mode d’emploi Préparation pour l'installation Préparation pour l'installation Le TPS-compact est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber le TPS-compact et à...
Page 43: Installation
Mode d’emploi Installation Installation Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection qu'au moment de ATTENTION! brancher la turbopompe au système. Ne pas installer et/ou utiliser le système de pompage dans des milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à...
Page 44 Mode d’emploi Installation Tab. 1 COUPLE DE BRIDE TYPE DE COLLIER SERRAGE ISO 63 Collier double à filet M10 22 Nm ISO 100 K Collier double à filet M10 22 Nm ISO 160 K Collier double à filet M10 22 Nm La turbopompe à...
Page 45: Utilisation
Mode d’emploi Utilisation Utilisation Ce paragraphe présente les principales procédures opérationnelles. Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 120°C.
Page 46: Mise En Marche Et Utilisation Du Tps-Compact
Mode d’emploi Utilisation AVERTISSEMENT! Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser le système de pompage en présence de gaz explosifs. Mise en marche et utilisation du TPS-compact Pour allumer le TPS-compact, il suffit de le brancher au réseau et de placer l'interrupteur extérieur sur ON.
Page 47: Entretien
Mode d’emploi Entretien Arrêt du TPS-compact Pour arrêter le TPS-compact, il suffit de placer l'interrupteur extérieur sur OFF. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement le système de pompage. Arrêt d'urgence Pour arrêter le TPS-compact en condition d'urgence, débrancher le cordon d'alimentation de la prise ou placer l'interrupteur extérieur sur OFF.
Page 48: Mise Au Rebut
Mode d’emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué NE doit PAS être mis au rebut avec les ordures ménagères ou les déchets industriels ordinaires, mais passer par un système de collecte sélective.
Page 49: Manual De Istrucciones
TPS-compact User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 50 Información general Almacenamiento 53 Preparación para la instalación 54 Instalación Encendido y Uso del TPS-compact Parada del TPS-compact Parada de Emergenica Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales 49/262...
Page 50: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores.
Page 51: Información General
Manual de istrucciones Información general Información general Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
Page 52 Manual de istrucciones Información general Este manual utiliza las convenciones siguientes: ¡ADVERTENCIA! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una ejecución específica que, de no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato.
Page 53: Almacenamiento
Manual de istrucciones Almacenamiento Almacenamiento Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de los sistemas de bombeo Agilent, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las  bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: temperatura: entre –20 °C y +70 °C;...
Page 54: Preparación Para La Instalación
Manual de istrucciones Preparación para la instalación Preparación para la instalación El TPS-compact se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas. Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga el TPS-compact y de no someterlo a golpes o vibraciones.
Page 55: Instalación
Manual de istrucciones Instalación Instalación Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el momento de ¡ATENCIÓN! conectar la turbobomba al sistema. No instalar ni/o utilizar el sistema de bombeo en lugares expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, ni en ambientes sujetos a riesgo de explosión o incendio.
Page 56 Manual de istrucciones Instalación Tab. 1 BRIDA TIPO DE MORDAZA PAR DE APRIETE ISO 63 Mordaza doble con rosca M10 22 Nm ISO 100 K Mordaza doble con rosca M10 22 Nm ISO 160 K Mordaza doble con rosca M10 22 Nm La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha de fijarse a la cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos específicos...
Page 57: Uso
Manual de istrucciones En este apartado se citan los procedimientos operativos principales. Antes de usar el sistema realizar todas las conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada no ha de ser superior a 120 °C. ¡ADVERTENCIA! No hacer funcionar nunca el sistema de bombeo si la brida de entrada no está...
Page 58: Encendido Y Uso Del Tps-Compact
Manual de istrucciones ¡ADVERTENCIA! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar el sistema de bombeo cuando haya gases explosivos. Encendido y Uso del TPS-compact Para encender el TPS-compact basta conectar la tensión de alimentación y disponer el interruptor externo en posición ON.
Page 59: Mantenimiento
Manual de istrucciones Mantenimiento Parada del TPS-compact Para detener el TPS-compact basta disponer el interruptor externo en posición OFF. El controlador incorporado detiene inmediatamente el sistema de bombeo. Parada de Emergenica Para interrumpir inmediatamente en caso de emergencia el funcionamiento del TPS-compact, se deberá desenchufar el cable de alimentación de la toma de red o disponer el interruptor externo en posición OFF.
Page 60: Eliminación
Manual de istrucciones Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
Page 61: Manual De Istruções
TPS-compact User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 62 Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Utilização Acendimento e Utilização do TPS-compact Paragem do TPS-compact Paragem de Emergência Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 61/262...
Page 62: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.
Page 63: Informações Gerais
Manual de Istruções Informações gerais Informações gerais Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas.
Page 64 Manual de Istruções Informações gerais Este manual utiliza as seguintes convenções: ATENÇAO! As mensagens de atençao chamam a atenção do operador para um procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada correctamente, pode provocar graves lesões pessoais. As mensagens de cuidado são visualizadas antes de procedimentos que, se não CUIDADO! efectuados correctamente, podem causar danos à...
Page 65: Armazenagem
Manual de Istruções Armazenagem Armazenagem Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade dos sistemas de bombagem Agilent, devem ser observadas as seguintes prescrições: durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das  bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: temperatura: de –20 °C a +70 °C ...
Page 66: Preparação Para A Instalação
Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação O TPS-compact é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local. Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair o TPS-compact e para não submetê-lo a choques ou vibrações.
Page 67: Instalação
Manual de Istruções Instalação Instalação Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção somente no CUIDADO! momento de ligar a turbobomba ao sistema. Não instalar e/ou usar o sistema de bombeamento em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio.
Page 68 Manual de Istruções Instalação Tab. 1 FLANGE TIPO DE GRAMPO TORQUE DE APERTO ISO 63 Grampo duplo com rosca M10 22 Nm ISO 100 K Grampo duplo com rosca M10 22 Nm ISO 160 K Grampo duplo com rosca M10 22 Nm A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada à...
Page 69: Utilização
Manual de Istruções Utilização Utilização Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve ser superior a 120 °C. ATENÇAO! Nunca activar o sistema de bombeamento se o flange de entrada não estiver ligado à...
Page 70: Acendimento E Utilização Do Tps-Compact
Manual de Istruções Utilização ATENÇAO! Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar o sistema de bombeamento na presença de gases explosivos. Acendimento e Utilização do TPS-compact Para ligar o TPS-compact é...
Page 71: Manutenção
Manual de Istruções Manutenção Paragem do TPS-compact Para parar o TPS-compact é suficiente colocar o interruptor exterior na posição OFF. O controller incorporado pára imediatamente o sistema de bombeamento. Paragem de Emergência Para parar em condições de emergência o TPS-compact é necessário desligar o cabo de alimentação da tomada da rede de alimentação, ou colocar o interruptor exterior na posição OFF.
Page 72: Eliminação
Manual de Istruções Eliminação Eliminação Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
Page 73: Bedrijfshandleiding
TPS-compact User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 74 Algemene informatie 75 Opslag Uitpakken Installatie Gebruik Inschakeling en gebruik van de TPS-compact 82 Afzetten van de TPS-compact Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 84 Vertaling van de originele instructies 73/262...
Page 74: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Page 75: Algemene Informatie
Bedrijfshandleiding Algemene informatie Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of...
Page 76 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: WAARSCHUWING! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken.
Page 77: Opslag
Bedrijfshandleiding Opslag Opslag Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de pompsystemen van Agilent te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan  de volgende omgevingscondities worden voldaan: temperatuur: van –20 °C tot +70 °C ...
Page 78: Uitpakken
Bedrijfshandleiding Uitpakken Uitpakken De TPS-compact wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de TPS-compact niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Page 79: Installatie
Bedrijfshandleiding Installatie Installatie Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt VOORZICHTIG! aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden. Het pompsysteem mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig...
Page 80 Bedrijfshandleiding Installatie Tab. 1 FLENS KLEMTYPE AANHAAL-KOPPEL ISO 63 Dubbele klem met M10 schroefdraad 22 Nm ISO 100 K Dubbele klem met M10 schroefdraad 22 Nm ISO 160 K Dubbele klem met M10 schroefdraad 22 Nm De turbopomp met ConFlat inlaatflens moet aan de vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale mechanische bevestigingselementen van Agilent.
Page 81: Gebruik
Bedrijfshandleiding Gebruik Gebruik In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures vermeld.Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 120° C bedragen. WAARSCHUWING! Laat het pompsysteem nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is.
Page 82: Inschakeling En Gebruik Van De Tps-Compact
Bedrijfshandleiding Gebruik WAARSCHUWING! Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Inschakeling en gebruik van de TPS-compact Om de TPS-compact in te schakelen is het voldoende om voedingsspanning te verschaffen en de externe schakelaar in de stand ON te zetten.
Page 83: Onderhoud
Bedrijfshandleiding Onderhoud Afzetten van de TPS-compact Om de TPS-compact uit te schakelen is het voldoende om de externe schakelaar in de stand OFF te zetten. De ingebouwde controller stopt onmiddellijk het pompsysteem. Noodstop Om de TPS-compact onder noodomstandigheden uit te schakelen, moet de voedingskabel uit de contactstop worden gehaald of de externe schakelaar in de stand OFF worden gezet.
Page 84: Afvalverwerking
Bedrijfshandleiding Afvalverwerking Afvalverwerking Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
Page 85: Istruktionsbog
TPS-compact User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information Opbevaring Forberedelse før installation Installation Anvendelse Start og anvendelse af TPS-compact 94 Stop af TPS-compact Nødstop Vedligeholdelse 95 Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 85/262...
Page 86: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
Page 87: Generel Information
Istruktionsbog Generel Information Generel Information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler.
Page 88 Istruktionsbog Generel Information I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader. Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader.
Page 89: Opbevaring
Istruktionsbog Opbevaring Opbevaring For at sikre maksimal sikkerhed og driftssikkerhed af Agilent pumpe- systemerne er det nødvendigt at overholde følgende forskrifter: Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i  forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: temperatur: fra –20 °C til +70 °C, ...
Page 90: Forberedelse Før Installation
Istruktionsbog Forberedelse før installation Forberedelse før installation TPS-compact leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at TPS-compact ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. Smid ikke emballagen ud.
Page 91: Installation
Istruktionsbog Installation Installation Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen tilsluttes FORSIGTIG! systemet. Installér og anvend ikke pumpeanlægget i miljøer, der udsættes for påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø. Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift: max.
Page 92 Istruktionsbog Installation Tab. 1 FLANGE KLEMMETYPE ANT. DREJNINGS-MOMENT ISO 63 Dobbelt klemme med M10 gevind 22 Nm ISO 100 K Dobbelt klemme med M10 gevind 22 Nm ISO 160 K Dobbelt klemme med M10 gevind 22 Nm Turbopumpen med ConFlat indløbsflange skal tilsluttes på vakuumkammeret ved hjælp af Agilent monteringsudstyret.
Page 93: Anvendelse
Istruktionsbog Anvendelse Anvendelse Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens temperatur ikke overstige 120 °C. ADVARSEL! Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved hjælp af lukkeflangen.
Page 94: Start Og Anvendelse Af Tps-Compact
Istruktionsbog Anvendelse ADVARSEL! Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. Start og anvendelse af TPS-compact Tænding af TPS-compact sker ved blot at tilslutte strømmen og indstille den udvendige afbryder i position ON. Den indbyggede styreenhed registrerer øjeblikkeligt tilslutningen, og pumpen startes.
Page 95: Vedligeholdelse
Istruktionsbog Vedligeholdelse Nødstop Nødstop af TPS-compact sker ved at fjerne strømkablet fra stikkontakten eller indstille den udvendige afbryder i position OFF. Vedligeholdelse TPS-compact behøver ikke nogen vedligeholdelse (med undtagelse af Tip-seal pakningen). Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på...
Page 96: Bortskaffelse
Istruktionsbog Bortskaffelse Bortskaffelse Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på en godkendt affaldsstation.
Page 97: Bruksanvisning
TPS-compact User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 98 Allmän Information Förvaring Förberedelser för installationen 102 Installation Använding Start och användning av TPS-compact Att stänga av TPS-compact Nödstopp Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 97/262...
Page 98: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Page 99: Allmän Information
Bruksanvisning Allmän Information Allmän Information Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador som helt eller delvis beror på åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Page 100 Bruksanvisning Allmän Information I bruksanvisningen används följande standardrubriker: VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada ska uppstå.
Page 101: Förvaring
Bruksanvisning Förvaring Förvaring Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Agilent turbomolekylära pumpar: Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande  omgivningsförhållanden respekteras: Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.  Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens). ...
Page 102: Förberedelser För Installationen
Bruksanvisning Förberedelser för installationen Förberedelser för installationen TPS-compact levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TPS-compact inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen.
Page 103: Installation
Bruksanvisning Installation Installation Ta bort tejpen och dra ut skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till OBSERVER! systemet. Installera och/eller använd inte pumpsystemet i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. Följande krav på...
Page 104 Bruksanvisning Installation Tab. 1 FLÄNS TYP AV KLAMMER ANT. ÅTDRAGNINGSMOMENT ISO 63 Dubbel klammer,gänga M10 22 Nm ISO 100 K Dubbel klammer,gänga M10 22 Nm ISO 160 K Dubbel klammer,gänga M10 22 Nm Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas vid vakuumkammaren med hjälp av Agilent fästdelar.
Page 105: Använding
Bruksanvisning Använding Använding Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens bruksanvisning. Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 120 °C. VARNING! Sätt aldrig igång pumpsystemet om intagsflänsen varken är kopplad till vakuumkammaren eller är blockerad på...
Page 106: Start Och Användning Av Tps-Compact
Bruksanvisning Använding VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpsystemet i närheten av explosiva gaser. Start och användning av TPS-compact Starta TPS-compact genom att slå till strömmen och placera den externa brytaren i läge ON.
Page 107: Underhåll
Bruksanvisning Underhåll Nödstopp Stäng av TPS-compact vid en nödsituation genom att dra ut elkabeln från eluttaget eller genom att placera den externa brytaren i läge OFF. Underhåll TPS-compact är underhållsfritt (förutom bytet av Tip-seal). Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på...
Page 108: Bortskaffning
Bruksanvisning Bortskaffning Bortskaffning Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD- direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.
Page 109: Instruksjon Manual
TPS-compact User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 111 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Bruk 117 Starte og bruke TPS-compact Stoppe TPS-compact Nødstopp Vedlikehold Kassering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 109/262...
Page 110: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper
Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Turbomolekylærpumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
Page 111: Generell Informasjon
Instruksjon Manual Generell informasjon Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på...
Page 112 Instruksjon Manual Generell informasjon Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! fore til at utstyret skades.
Page 113: Lagring
Instruksjon Manual Lagring Lagring For å garantere maksimalt nivå for funksjonalitet og driftssikkerhet til pumpesystemet Agilent, må en følge forskriftene nedenfor: Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende  miljøforhold overstiges: Temperatur: fra –20 °C til +70 °C. ...
Page 114: Klargjøre Til Installasjon
Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Klargjøre til installasjon TPS-compact leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når TPS-compact pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
Page 115: Installasjon
Instruksjon Manual Installasjon Installasjon Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes først når turbopumpen koples til FORSIKTIG! systemet. Ikke installer eller bruk pumpesystemet i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. Under bruk må...
Page 116 Instruksjon Manual Installasjon Tab. 1 FLENS TYPE KLEMME ANT. STRAMME-MOMENT ISO 63 Dobbel klemme, gjenge M10 22 Nm ISO 100 K Dobbel klemme, gjenge M10 22 Nm ISO 160 K Dobbel klemme, gjenge M10 22 Nm Turbopumpen med ConFlat inngangsflens skal festes til vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra Agilent.
Page 117: Bruk
Instruksjon Manual Bruk Bruk Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet. Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk. Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 120 °C. ADVARSEL! Ikke start pumpesystemet hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen.
Page 118: Starte Og Bruke Tps-Compact
Instruksjon Manual Bruk ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpesystemet skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. Starte og bruke TPS-compact For å slå på TPS-compact er det nok å kople til strømmen og dreie den utvendige bryteren til ON.
Page 119: Vedlikehold
Instruksjon Manual Vedlikehold Stoppe TPS-compact For å stoppe TPS-compact er det nok å dreie den utvendige bryteren til OFF. Den innebygde styreenheten stanser pumpesystemet umiddelbart. Nødstopp For å stoppe TPS-compact i en nødsituasjon er det nødvendig å trekke strømkabelen ut av stikkontakten, eller dreie den utvendige bryteren til OFF.
Page 120: Kassering
Instruksjon Manual Kassering Kassering Betydningen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet som vises nedenunder, er anvendt i henhold til EC- direktivet kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det står på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må...
Page 121: Ohjekäsikirja
TPS-compact User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 122 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö 129 TPS-compact:n käynnistys ja käyttö 130 TPS-compact: n pysäyttäminen 130 Hätäpysäytys 131 Huolto 131 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 121/262...
Page 122: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 122/262 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 123: Yleisiä Tietoja
Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Yleisiä tietoja Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä...
Page 124 Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: VAROITUS! Varoitus-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen HUOMIO! vahingoittumiseen. Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa. HUOM 124/262 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 125: Varastointi
Ohjekäsikirja Varastointi Varastointi Noudata seuraavassa annettuja ohjeita Agilent pumppausjärjestelmien parhaan ja luotettavan toiminnan takaamiseksi: Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia  ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: lämpötila: -20 °C - +70 °C.  suhteellinen kosteus: 0 – 95 % (ei tiivistävä). ...
Page 126: Valmistelut Asennusta Varten
Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Valmistelut asennusta varten TPS-compact toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TPS-compact:n putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali voidaan kierrättää...
Page 127: Asennus
Ohjekäsikirja Asennus Asennus Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta, kun turbopumppu kytketään HUOMIO! järjestelmään. Pumppausjärjestelmää ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara. Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä...
Page 128 Ohjekäsikirja Asennus Tab. 1 LAIPPA KIINNIKE MÄÄRÄ KIRISTYS- MOMENTTI ISO 63 Kaksoiskiinnike, kierteitys M10 22 Nm ISO 100 K Kaksoiskiinnike, kierteitys M10 22 Nm ISO 160 K Kaksoiskiinnike, kierteitys M10 22 Nm Turbopumppu ConFlat-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää tyhjiökammioon sopivien Agilentin mekaanisten varusteiden avulla. Lisätietoja löytyy “Technical Information”...
Page 129: Käyttö
Ohjekäsikirja Käyttö Käyttö Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet. Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 120 °C:tta. VAROITUS! Älkää käyttäkö pumppausjärjestelmää, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla. VAROITUS! Älkää...
Page 130: Tps-Compact:n Käynnistys Ja Käyttö
Ohjekäsikirja Käyttö VAROITUS! Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa. Älkää käyttäkö pumppausjärjestelmää räjähdysherkkien kaasujen lähellä. TPS-compact:n käynnistys ja käyttö Käynnistä TPS-compact kytkemällä sähkö päälle ja asettamalla ulkokatkaisin ON-asentoon. Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti sähkövirran ja käynnistää pumpun. Ensimmäisessä...
Page 131: Huolto
Ohjekäsikirja Huolto Hätäpysäytys Hätätilassa pysäytä TPS-compact irrottamalla sähköjohto pistorasiasta tai asettamalla ulkokatkaisin OFF-asentoon. Huolto TPS-compact ei vaadi lainkaan huoltoa (tip-seal-tiivisteen vaihtamista lukuun ottamatta). Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä...
Page 132: Hävittäminen
Ohjekäsikirja Hävittäminen Hävittäminen Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE- direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää...
Page 133: Felhasználói Kézikönyv
TPS-compact User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános információ 135 Tárolás Előkészítés telepítésre 138 Telepítés Használat A TPS-compact bekapcsolása és használata 142 A TPS-compact kikapcsolása Vészleállítás 143 Karbantartás Megsemmisítés 144 Az eredeti utasítás fordítása 133/262...
Page 134: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –...
Page 135: Általános Információ
Felhasználói Kézikönyv Általános információ Általános információ A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A Agilent nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való...
Page 136 Felhasználói Kézikönyv Általános információ Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt használja: VESZÉLY! A veszélyt üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet. A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! követnek, a berendezés károsodását okozhatják.
Page 137: Tárolás
Felhasználói Kézikönyv Tárolás Tárolás A Agilent szivattyú-rendszerek maximális működési szintjének és megbízhatóságának biztosításához tartsa be a következő előírásokat: szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a következő  környezeti paramétereket nem szabad túllépni: hőmérséklettartomány: -20 °C - +70 °C  relatív páratartalom: 0 – 95 % (nem kondenzáló) ...
Page 138: Előkészítés Telepítésre
Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Előkészítés telepítésre A TPS-compact-ot különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását.
Page 139: Telepítés
Felhasználói Kézikönyv Telepítés Telepítés Ne távolítsa el az öntapadó és védőkupakot a turbószivattyúnak a rendszerhez FIGYELEM! való csatlakoztatása előtt. Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyúzó rendszert atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban, agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes környezetben. Üzemeltetés közben a következő...
Page 140 Felhasználói Kézikönyv Telepítés Tab. 1 KARIMA RÖGZÍTŐ ESZKÖZ RÖGZÍTŐ NYOMATÉK ISO 63 M10 kapcsok 22 Nm ISO 100 K M10 kapcsok 22 Nm ISO 160 K M10 kapcsok 22 Nm A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Agilent hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért lásd „Technical Information”.
Page 141: Használat
Felhasználói Kézikönyv Használat Használat Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat. Végezze el az összes elektromos és pneumatikus csatlakoztatást a rendszer használata előtt. A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep hőmérséklete nem haladhatja meg a 120 °C-ot. VESZÉLY! Soha ne használja a szivattyúzó rendszert, amikor a bemeneti karima nincs csatlakoztatva a vákuumkamrához vagy nincs kiiktatva.
Page 142: A Tps-Compact Bekapcsolása És Használata
Felhasználói Kézikönyv Használat VESZÉLY! Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok ártalmatlanításához szükséges eljárásokat. Ne használja a szivattyúzó rendszert robbanó gázok jelenlétében. A TPS-compact bekapcsolása és használata A TPS-compact bekapcsolásához elegendő rákapcsolni a tápfeszültséget, majd a külső...
Page 143: Karbantartás
Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Vészleállítás A TPS-compact vészhelyzetben való azonnali leállításához el kell távolítani a tápkábelt a hálózati dugaszból, vagy a külső kapcsolót KI állásba kell kapcsolni. Karbantartás A TPS-compact nem igényel karbantartást (kivéve a Tip-seal cseréjét). A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie.
Page 144: Megsemmisítés
Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés Megsemmisítés A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...
Page 145: Podrecznik Instrukcji
TPS-compact User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne informacje 147 Magazynowanie 149 Przygotowanie do instalacji 150 Instalacja Użytkowanie Włączenie i obsługa systemu TPS-compact Zatrzymanie TPS-compact 155 Zatrzymanie Alarmowe 155 Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej 145/262...
Page 146: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
Page 147: Ogólne Informacje
Podrecznik Instrukcji Ogólne informacje Ogólne informacje Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich norm krajowych.
Page 148 Podrecznik Instrukcji Ogólne informacje W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia: ZAGROZENIE! zagrozenie Komunikaty przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała. Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść...
Page 149: Magazynowanie
Podrecznik Instrukcji Magazynowanie Magazynowanie By zagwarantować maksymalny poziom funkcjonalności i działania systemów pompujących Agilent, powinny być przestrzegane następujące zasady:  podczas transportu, przesunięcia i magazynowania pomp, nie mogą być przekroczone następujące warunki środowiskowe: temperatura: od -20 °C do +70 °C ...
Page 150: Przygotowanie Do Instalacji
Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Przygotowanie do instalacji System TPS-compact jest dostarczany w specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do których mogłoby dojść podczas transportu, należy skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę aby nie spowodować upadku systemu TPS-compact ani nie poddawać...
Page 151: Instalacja
Podrecznik Instrukcji Instalacja Instalacja Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający tylko w momencie UWAGA! połączenia pompy do systemu. Nie instalować i / lub użytkować zespołu pompującego w otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz, śnieg), pyły, gazy chemiczne, w środowiskach wybuchowych lub z wysokim zagrożeniem pożaru.
Page 152 Podrecznik Instrukcji Instalacja Tab. 1 KOŁNIERZ TYP ZACISKU MOMENT DOKRĘCENIA ISO 63 Podwójny zacisk z gwintem M10 22 Nm ISO 100 K Podwójny zacisk z gwintem M10 22 Nm ISO 160 K Podwójny zacisk z gwintem M10 22 Nm Turbopompa z kołnierzem wejściowym ConFlat musi być zamocowana do komory próżniowej poprzez odpowiednie drobne układy mechaniczne firmy Agilent.
Page 153: Użytkowanie
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Użytkowanie W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury operacyjne. Przed zastosowaniem systemu należy wykonać wszystkie połączenia elektryczne i pneumatyczne. Podczas ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na kołnierzu nie może przekroczyć 120 °C. ZAGROZENIE! Absolutnie nie wolno uruchamiać zespołu pompującego w przypadku, gdy kołnierz wejściowy nie jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty z kołnierzem zamknięcia.
Page 154: Włączenie I Obsługa Systemu Tps-Compact
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie ZAGROZENIE! Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów. Nie stosować zespołu pompującego w obecności gazów wybuchowych. Włączenie i obsługa systemu TPS-compact Aby włączyć TPS-compact wystarczy dostarczyć napięcie zasilania i ustawić...
Page 155: Konserwacja
Podrecznik Instrukcji Konserwacja Zatrzymanie TPS-compact Aby zatrzymać TPS-compact wystarczy ustawić wyłącznik zewnętrzny na pozycji OFF. Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast zespół pompujący. Zatrzymanie Alarmowe Aby zatrzymać w stanie alarmowym system TPS-compact, należy wyłączyć kabel zasilania z gniazda sieciowego, lub ustawić zewnętrzny wyłącznik na pozycję OFF. Konserwacja System TPS-compact nie wymaga żadnej konserwacji (z wyjątkiem wymiany Tip-seal).
Page 156: Przetworstwo Odpadow
Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow Przetworstwo odpadow Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE” Unii Europejskiej. Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej.
Page 157: Návod K Použití
TPS-compact User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 158 Všeobecné informace 159 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití 165 Zapnutí a používání vývěvy TPS-compact 166 Vypnutí vývěvy TPS-compact Nouzové zastavení 167 Údržba Likvidace 168 Překlad originálního návodu 157/262...
Page 158: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení...
Page 159: Všeobecné Informace
Návod k Použití Všeobecné informace Všeobecné informace Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení...
Page 160 Návod k Použití Všeobecné informace Tento manuál používá následující standardní protokol NEBEZPEČÍ! Nebezpečí hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Pozor hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení mohly POZOR! poškodit zařízení.
Page 161: Uskladnění
Návod k Použití Uskladnění Uskladnění Pro zaručení maximální úrovně funkčnosti a spolehlivosti vývěvových systémů Agilent je třeba respektovat následující předpisy:  Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli překračovat následující technické podmínky prostředí: Teplotní rozpětí : -20 °C až +70 °C ...
Page 162: Příprava K Instalaci
Návod k Použití Příprava k instalaci Příprava k instalaci Vývěva Mini Task se dodává ve speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
Page 163: Instalace
Návod k Použití Instalace Instalace Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte adhezní a POZOR! ochranné víko. Čerpací systém neinstalujte v prostředí, které je vystaveno atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým nebezpečím požáru.
Page 164 Návod k Použití Instalace Tab. 1 PŘÍRUBA PŘÍCHYTNÉ ZAŘÍZENÍ POČET UTAHOVACÍ MOMENT ISO 63 Spony M10 22 Nm ISO 100 K Spony M10 22 Nm ISO 160 K Spony M10 22 Nm Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí připevnit k vakuové...
Page 165: Použití
Návod k Použití Použití Použití Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů. Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická připojení. Při zahřívání vakuové komory teplota vstupní příruby nesmí překročit 120 °C. NEBEZPEČÍ! Čerpací systém nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba připojená k vakuové...
Page 166: Zapnutí A Používání Vývěvy Tps-Compact
Návod k Použití Použití NEBEZPEČÍ! Pokud používáte čerpací systém pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. Zapnutí a používání vývěvy TPS-compact Vývěvu TPS-compact stačí zapojit do sítě a pak zapnout venkovní vypínač.
Page 167: Údržba
Návod k Použití Údržba Nouzové zastavení Pro okamžité zastavení vývěvy TPS-compact v nouzové situaci je třeba vytáhnout napájecí kabel ze síťové zásuvky, nebo vypnout síťový vypínač. Údržba Vývěva TPS-compact nevyžaduje žádnou údržbu (s výjimkou výměny Tip-seal). Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby.
Page 168: Likvidace
Návod k Použití Likvidace Likvidace Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...
Page 169: Návod Na Obsluhu
TPS-compact User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 171 Uchovávanie Príprava na inštaláciu 174 Inštalácia Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TPS-compact Vypnutie TPS-compact 178 Núdzové zastavenie Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu 169/262...
Page 170: Bezpečnostné Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy
Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť...
Page 171: Všeobecné Informácie
Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Všeobecné informácie Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené...
Page 172 Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: NEBEZPEČÍE ! Nebezpečíe majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia.
Page 173: Uchovávanie
Návod na Obsluhu Uchovávanie Uchovávanie Aby sa zaistila maximálna funkčnosť a spoľahlivosť čerpacích sústav Agilent, je potrebné dodržiavať nasledujúce pokyny: neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia počas prevozu,  prenášania a uchovávania vývev: rozsah teplôt: -20 °C až +70 °C  rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95 % (bez kondenzácie) ...
Page 174: Príprava Na Inštaláciu
Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Zariadenie TPS-compact je dodané v špeciálnom ochrannom obale. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené nárazu alebo prudkému otrasu, alebo vibráciám.
Page 175: Inštalácia
Návod na Obsluhu Inštalácia Inštalácia Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný kryt skôr, než pripojíte turbovývevu k POZOR! systému. Čerpací systém neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny, ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké riziko požiaru.
Page 176 Návod na Obsluhu Inštalácia Tab. 1 UPEVŇOVACÍ KRÚTIACI PRÍRUBA UPEVŇOVACÍ MECHANIZMUS POČET MOMENT ISO 63 Svorky M10 22 Nm ISO 100 K Svorky M10 22 Nm ISO 160 K Svorky M10 22 Nm Turbovýveva so vstupnou prírubou ConFlat musí byť pripojená k vákuovej komore pomocou vhodného hardware značky Agilent.
Page 177: Použitie
Návod na Obsluhu Použitie Použitie Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia. Skôr než začnete systém používať, zapojte všetky elektrické a pneumatické pripojenia. Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej komory nesmie prekročiť 120 °C. NEBEZPEČÍE! Nikdy nepoužívajte čerpací systém, ak vstupná príruba nie je pripojená k vákuovej komore, alebo nie je zablendovaná.
Page 178: Zapnutie A Použitie Zariadenia Tps-Compact
Návod na Obsluhu Použitie NEBEZPEČÍE! Ak čerpací systém používate na vyčerpávanie toxických, horľavých alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. Zapnutie a použitie zariadenia TPS-compact Pre zapnutie TPS-compactu stačí pripojenie k sieti a prepnutie vonkajšieho vypínača do polohy ON.
Page 179: Údržba
Návod na Obsluhu Údržba Núdzové zastavenie Ak chcete zariadenie TPS-compact okamžite vypnúť v stave núdze, musíte alebo vytiahnuť kábel napájania zo zástrčky zdroja napájania, alebo prepnúť vonkajší vypínač do polohy OFF. Údržba Zariadenie TPS-compact nevyžaduje žiadnu údržbu (s výnimkou výmeny Tip-seal). Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný...
Page 180: Likvidácia
Návod na Obsluhu Likvidácia Likvidácia Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí odstrániť...
Page 181: Priročnik Za Navodila
TPS-compact User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 182 Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Vklop in uporaba TPS-compact-a 190 Izklop TPS-compact-a 190 Zaustavitev v sili Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 181/262...
Page 182: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
Page 183: Splošne Informacije
Priročnik za Navodila Splošne informacije Splošne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
Page 184 Priročnik za Navodila Splošne informacije Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu: SVARILO! Svarilo so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži. Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. POZOR! Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila.
Page 185: Shranjevanje
Priročnik za Navodila Shranjevanje Shranjevanje Da bi jamčili največji možni nivo uporabnosti in zanesljivosti črpalnih sistemov Agilent, je potrebno upoštevati sledeča pravila: Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete  preseči naslednjih specifikacij: temperaturno območje: -20 °C do +70 °C ...
Page 186: Priprava Za Montažo
Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo TPS-compact je dobavljen v posebni zaščitni embalaži. Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte. Embalažo zavrzite v skladu s pravili. Material je možno v celoti reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85/399.
Page 187: Montaža
Priročnik za Navodila Montaža Montaža Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na POZOR! sistem. Črpalni sistem nameščajte in uporabljajte samo odznotraj in v nobenem primeru je ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost požara.
Page 188 Priročnik za Navodila Montaža Tab. 1 PRIROBNICA NAPRAVA ZA PRITRJEVANJE NAVOR ISO 63 M10 držala 22 Nm ISO 100 K M10 držala 22 Nm ISO 160 K M10 držala 22 Nm Turbo črpaklo z dovodno ConFlat prirobnico je treba fiksirati na vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Agilent strojne opreme.
Page 189: Uporaba
Priročnik za Navodila Uporaba Uporaba Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo. Pred uporabo sistema povežite vse električne in pnevmatske povezave. Pri segrevanju vakuumskega ležišča temperatura dovodne prirobnice ne sme preseči 120 °C. SVARILO! Črpalnega sistema ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni priključena na vakuumsko ležišče.
Page 190: Vklop In Uporaba Tps-Compact-A
Priročnik za Navodila Uporaba SVARILO! Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina. Črpalnega sistema ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov. Vklop in uporaba TPS-compact-a Za vklop TPS-compact-a je dovolj, da priključite napetost in premaknete zunanje stikalo v položaj ON.
Page 191: Vzdrževanje
Priročnik za Navodila Vzdrževanje Zaustavitev v sili Za takojšenj izklop TPS-compact-a v sili je potrebno odstraniti dovod napetosti ali premakniti zunanje stikalo v položaj OFF. Vzdrževanje TPS-compact ne potrebuje vzdrževanja (razen zamenjave Tip-seal-a). Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an...
Page 192: Odlaganje Opadkov
Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov Odlaganje opadkov Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč...
Page 193: Instructions For Use
TPS-compact User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 194 General Information Storage Preparation for Installation 198 Installation Switching on and Use of TPS-Compact TPS-Compact SDwitching off Emergency Stop Maintenance Disposal Original Instructions 193/262...
Page 194: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors.
Page 195: General Information
Instructions for Use General Information General Information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.
Page 196 Instructions for Use General Information This manual uses the following standard protocol: WARNING! The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment.
Page 197: Storage
Instructions for Use Storage Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent pumping systems, the following guidelines must be followed: when shipping, moving and storing pumps, the following  environmental specifications should not be exceeded: temperature range: -20 °C to +70 °C ...
Page 198: Preparation For Installation
Instructions for Use Preparation for Installation Preparation for Installation The TPS-compact is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Page 199: Installation
Instructions for Use Installation Installation Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump CAUTION! to the system. Do not install or use the pumping system in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk.
Page 200 Instructions for Use Installation Tab. 1 FLANGE FIXING DEVICE FIXING TORQUE ISO 63 M10 clamps 22 Nm ISO 100 K M10 clamps 22 Nm ISO 160 K M10 clamps 22 Nm The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of the appropriate Agilent hardware.
Page 201: Use
Instructions for Use This paragraph details the fundamental operating procedures. Make all electrical an pneumatic connections before the use of the system. While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet flange must not exceed 120 °C. WARNING! Never use the pumping system when the turboinlet flange is not connected to the vacuum chamber or is not blanked.
Page 202: Switching On And Use Of Tps-Compact
Instructions for Use WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pumping system in presence of explosive gases Switching on and Use of TPS-Compact To switch on the TPS-compact it is sufficient to supply the mains and then move the external switch to ON position.
Page 203: Maintenance
Instructions for Use Maintenance Emergency Stop To immediately stop the TPS-compact in an emergency condition it is necessary to remove the supply cable from the mains plug or moving the external switch to OFF position. Maintenance The TPS-compact does not require any maintenance (except Tip-seal replacement).
Page 204: Disposal
Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels. The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.
Page 205: Technical Information
TPS-compact User Manual Technical Information Description of the TPS-Compact Turbopump Description 209 Controller Description Control Panel Description Scroll Pump Description 211 Technical Specification TPS-Compact Outline Inlet Screen Installation 216 High Vaccum Flange Connection 219 High Vaccum Flange Connection Configurations Interconnections Input Power Connector 222 P3 –...
Page 206 Technical Information Disposal RS 232/RS 485 Communication Description 236 Communication Format 236 Serial Communication Descriptions Window Protocol Description Communication Format 239 Communication Protocol 239 Examples 242 Window Meanings 245 Service Options 249 Cleaning 249 Exterior Interior Tip-Seal Replacement To Remove the Worn Tip-Seals To Install the new Seals and O-Rings 252 To test the Pumping System Troubleshooting Chart...
Page 207: Description Of The Tps-Compact
Technical Information Description of the TPS-Compact Description of the TPS-Compact The TPS-compact pumping system consists of a pump with an integrated controller and a forepump and is available in sixteen models which differ in the TPM size, high vacuum flange and voltage. The models are: Tab.
Page 208 Technical Information Description of the TPS-Compact Figure 2 208/262 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 209: Turbopump Description
Technical Information Description of the TPS-Compact Turbopump Description The turbopump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with many bladed stages and Macrotorr stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end. The turbine is made of high-strength, light aluminium alloy, and is machined from a single block of aluminium.
Page 210: Control Panel Description
Technical Information Description of the TPS-Compact Control Panel Description The following picture shows the TPS-compact control panel; the associated table lists the avail-able commands. For a detailed description see the following paragraphs. Figure 3 Tab. 3 Control name Description J5 IN-OUT Input-output connector to remote control the TPS-compact J6 SERIAL Serial input-output connector to control the TPS-compact via an...
Page 211: Scroll Pump Description
Technical Information Description of the TPS-Compact Scroll Pump Description The TPS-compact internal scroll creates vacuum using a simple dual scroll mechanism in which one of the nested scrolls orbits about the other, creating moving zones of captured gas. Gas enters the scroll set at the perimeter and is displaced and compressed toward the center hub where it is exhausted.
Page 212: Technical Specification
Technical Information Technical Specification Technical Specification Tab. 4 Characteristic TV301 TV81M Pumping speed (l/s) : 215 l/s : 60 l/s Base pressure* 1x10 mbar (*) [CFF flanges] 7.5x10 Torr (*) [CFF Flanges] 1x10 mbar [ISO Flanges] 7.5 x 10 Torr [ISO Flanges] Inlet flange ISO 100, ISO 160, CFF 6, CFF 8...
Page 213 Technical Information Technical Specification Characteristic TV301 TV81M Installation category Pollution degree Power cable 115 Vac: USA plug 5 meters long 220 Vac: EU or UK plug 5 meters long Serial communication (kit) RS232 cable with a 9-pin D type male connector and a 9-pin D type female connector, and software (optional) Storage temperature - 20 °C to + 70 °C...
Page 214: Tps-Compact Outline
Technical Information TPS-Compact Outline TPS-Compact Outline The following figure shows the TPS-compact outline. Dimensions are in mm. PRESSURE mBar Torr PRESSURE mBar Torr Figure 5 TPS-compact equipped with TV301 0,0001 0,001 0,01 Inlet Pressure (mbar) Figure 6 Graph of pumping speed vs inlet pressure 214/262 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 215 Technical Information TPS-Compact Outline TPS-compact equipped with TV81M 0,0001 0,001 0,01 Inlet Pressure (mbar) Figure 7 Graph of pumping speed vs inlet pressure TPS-compact TV301/TV81M - 14lt Pump Down 1,E+03 1,E+02 1,E+01 1,E+00 1,E-01 1,E-02 1,E-03 1,E-04 1,E-05 1,E-06 Time [sec] TV301 TV81M Figure 8...
Page 216: Inlet Screen Installation
Technical Information TPS-Compact Outline Inlet Screen Installation Figure 9 Figure 10 The inlet screens mod. 969-9300, 969-9309, 969-9302 and 969-9303 prevent the blades of the pump from being damaged by debris greater than 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10 %.
Page 217 Technical Information TPS-Compact Outline Figure 11 The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the following figure. Figure 12 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 217/262...
Page 218 Technical Information TPS-Compact Outline The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF flange (dimensions are in inches [mm]). ISO 63 / CFF 2.75 / CFF 4.5 2.76 [70.00] KF 40 2.09 [53.00]...
Page 219: High Vaccum Flange Connection
Technical Information TPS-Compact Outline High Vaccum Flange Connection To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure. Figure 14 Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the figure.
Page 220 Technical Information TPS-Compact Outline To facilitate assembly and dismantling, apply Fel-pro C-100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange. Attach the units and tighten each one in turn. Repeat the sequential tightening until the flange faces meet.
Page 221: High Vaccum Flange Connection Configurations
Technical Information TPS-Compact Outline High Vaccum Flange Connection Configurations Figure 16 Figure 17 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 221/262...
Page 222: Interconnections
Technical Information Interconnections Interconnections Input Power Connector The following figure shows the input power connector. Bipolar switch Line IEC320 connector Line Fuses Figure 18 P3 – Vent Figure 19 This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve (available on request).
Page 223: Gauge Connector
Technical Information Interconnections Figure 20 Vent Valve Diagram in “Auto” mode Gauge Connector TPS-compact is equipped with new generation gauge reading card able to drive/read a Agilent “EyeSys Mini-IMG” gauge or a Agilent Full Range Gauge FRG-700. The EyeSys Mini-IMG is a vacuum measurement instrument based on the inverted magnetron ion gauge design (see orderable parts table).
Page 224 Technical Information Interconnections FRG-700 measure from 5x10 mbar to atmosphere (3.8x10 Torr to atmosphere) and its temperature range goes from 5 °C to 55 °C [41 °-131 °F]. Pressure data is available on three independent reading channels: On-board display (data expressed in mbar, Torr or Pa) – (see Pressure Display Module picture) Serial communication line (Win 224) Analogical output.
Page 225: Pressure Display Module
Technical Information Interconnections Pressure Display Module PRESSURE mBar Torr Figure 22 Pressure display module Figure 23 EyeSys Mini-IMG gauge dimension TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 225/262...
Page 226: J5 - In-Out
Technical Information Interconnections Figure 24 FRG-700 gauge dimension J5 – In-Out Figure 25 This connector carries all the input and output signals to remote control the TPS-compact. It is a 15-pins D type connector; the available signals are detailed in the table, the following para-graphs describe the signal characteristics and use.
Page 227: Signal Description
Technical Information Interconnections Tab. 5 Pin N. Signal name Input/Output START/STOP (+) START/STOP (-) INTERLOCK (+) INTERLOCK (-) SPEED SETTING (+) SPEED SETTING (-) SOFT START (+) SOFT START (-) +24 Vdc = 30 mA NORMAL OUTPUT (relay) = 125V = 200 mA PROGRAMMABLE SET POINT NORMAL OUTPUT...
Page 228 Technical Information Interconnections SOFT START: this input is used to provide a "soft start" to the pump; in this condition the ramp-up time could be up to 20 min. SPEED SETTING: PWM input signal to set the pump speed. The PWM signal characteristics must be the following: frequency: 100 Hz +/-20 % ...
Page 229 Technical Information Interconnections Output: Frequency setting 1350 1200 1050 Voltage (V) Figure 27 Output: Power setting Voltage (V) Figure 28 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 229/262...
Page 230 Technical Information Interconnections Output: Temperature setting Voltage (V) Figure 29 Output: Pressure setting 1,0E-01 1,0E-02 1,0E-03 1,0E-04 1,0E-05 1,0E-06 1,0E-07 1,0E-08 1,0E-09 Voltage (V) Figure 30 FAULT: this open collector output signal is ON when a system fault condition is detected. PROGRAMMABLE SET POINT: this open collector output signal is enabled when the reference quantity chosen (frequency, power or time or pressure or normal) is higher than the set threshold.
Page 231 Technical Information Interconnections For example: reference quantity: frequency  threshold: 867 Hz  hysteresis: 2 %  activation type: "high level"  Figure 31 It is possible to delay the set point checking for a programmable delay time. The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the following default settings: reference quantity: frequency ...
Page 232: How To Connect The Open Collector Input Of The Controller
Technical Information Interconnections How to Connect the Open Collector Input of the Controller Here below there are the typical connections of the open collector input of TPS-compact to an external system. Two cases are considered: the customer supplies the 24 Vdc the customer does not supply the 24 Vdc.
Page 233 Technical Information Interconnections Figure 33 Case 2 with relay utilisation TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 233/262...
Page 234 Technical Information Interconnections Figure 34 Case 2 with transistor utilisation 234/262 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 235: How To Connect The Outputs Of The Controller
Technical Information Interconnections How to Connect the Outputs of the Controller The following figure shows a typical logic output connection (relay coil) but any other device may be connected e.g. a LED, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller. The figure example refers to the programmable set point signal on pins 11 and 9.
Page 236: Rs 232/Rs 485 Communication Description
Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Tab. 6 Signal name +5 V (OUT) TX (RS232) RX (RS232) Not used A + (RS485) Not used B - (RS485) Not used A serial communication kit with a serial cable and the Navigation Software is available (optional).
Page 237 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Connector examples: TPS-COMPACT Figure 37 RS 232 Connection Ω ½ W PC HOST TPS-compact TPS-compact Ω ½ W Figure 38 RS 485 Connection TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 237/262...
Page 238: Serial Communication Descriptions
Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description The communication port mating connector is sup-plied with the RS232 PCB (AMP/Cannon or equivalent 15-pin “D” type male connector). For example, the Transmit data signal from con-troller (pin 2) must be connected to the host computer’s receive data line (pin 2) and vice versa.
Page 239: Window Protocol
Technical Information Window Protocol Window Protocol Description Communication Format 8 data bit • no parity • 1 stop bit • baud rate: 600/1200/2400/4800/9600 programmable • Communication Protocol The communication protocol is a MASTER/SLAVE type where: Host = MASTER  Controller = SLAVE ...
Page 240 Technical Information Window Protocol <STX> (Start of transmission) = 0x02  <ADDR> (Unit address) = 0x80 (for RS 232)  <ADDR> (Unit address) = 0x80 + device number (0 to 31) (for RS 485) <WIN> (Window) = a string of 3 numeric character indicating the ...
Page 241 Technical Information Window Protocol The controller can answers with the following response types: Tab. 8 Response Type Response Response Description Length Value After a read instruction of a logic Logic 1 byte window After a read instruction of a numeric Numeric 6 bytes window...
Page 242: Examples
Technical Information Window Protocol Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 242/262 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 243 Technical Information Window Protocol Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 243/262...
Page 244 Technical Information Window Protocol Command: READ PUMP STATUS Source: PC Destination: Controller (with address = 3) ADDR WINDOW Source: Controller (with address = 3 in stop status) Destination: PC ADDR WINDOW DATA (STATUS) Command: REAL SERIAL TYPE Source: PC Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode) ADDR WINDOW Source: Controller...
Page 245: Window Meanings
Technical Information Window Protocol Window Meanings Tab. 9 Read/ Data Description Admitted Values Write Type Start/Stop (in remote/ mode the window Start = 1 is a read only) Stop = 0 Low Speed Activation (in remote/ mode No = 0 the window is a read only) Yes = 1 (default = 0)
Page 246 Technical Information Window Protocol Read/ Data Description Admitted Values Write Type Baud rate 600 = 0 1200 = 1 2400 = 2 4800 = 3 9600 = 4 (default = 4) Pump life/ cycle time/ cycle number reset To reset write ‘1’ Interlock type (default = 1) Impulse = 0 Continuous = 1...
Page 247 Technical Information Window Protocol Read/ Data Description Admitted Values Write Type Pressure Reading Connection Factor 0 to 10 Table A1 Appendix A EyeSys Manual 0 = 0 10 = 1 = N R1 Set Point Pressure Valve Valid if Win. 101 = 4 Format X.X E.
Page 248 Technical Information Window Protocol Read/ Data Description Admitted Values Write Type CRC Param. (PA) PA8XXXX (where “XXXX” are variable) CRC Parameter structure "XXXX" Program Listing Code "XXXXXXXXXX" Parameter Listing Code "XXXXXXXXXX" Reserved to Agilent service RS 485 address 0 to 31 (default = 0) Serial type select 0 = RS 232 1 = RS 485 (default = 0)
Page 249: Service Options
Technical Information Service Options Service Options Agilent pumping systems will provide many years of trouble-free operation if the maintenance procedures are observed. Pumping System cleaning and internal scroll pump tip seal replacement are recommended when Pumping System TMP adsorbed current (with blanked inlet flange) has risen to an unacceptably high level (>500 mA) or when the message “TIP-SEAL SERV”...
Page 250: Tip-Seal Replacement
Technical Information Service Options Tip-Seal Replacement The parts and tools required to replace Tip-Seals are listed below: Tip-Seal Replacement Kit P/N IDP3TS  4 mm Allen wrench  Razor blade or side-cutting pliers  Compressed air (optional)  Figure 40 Tip-Seal replacement - Figure A Figure 41 Tip-Seal replacement - Figure B...
Page 251: To Remove The Worn Tip-Seals
Technical Information Service Options Figure 42 Tip-Seal replacement - Figure C To Remove the Worn Tip-Seals Disconnect the TPS-compact from electrical power. Unlock the scroll pump support by unscrewing the screws (A) (see the “Tip-Seal replacement - Figure A”) Lift the TPS-compact in order to access the Scroll pump site (you’ll hear a “click”...
Page 252: To Install The New Seals And O-Rings
Technical Information Service Options To Install the new Seals and O-Rings Unpack the Tip-Seals. Two tip seals are provided in the kit; one fits the orbiting scroll and the other fits the out-board housing scroll. Install the correct tip seal into the groove of the orbiting scroll by: Facing the white plastic surface upwards and inserting the foam backing into the groove.
Page 253: To Test The Pumping System
Technical Information Service Options WARNING! If dangerous gases were being pumped, flush the pump with air or inert gas for at least 10 minutes prior to disassembly. To test the Pumping System Run the TPS-compact for about 5 seconds. Verify that the front fan is running.
Page 254: Troubleshooting Chart
Technical Information Service Options Troubleshooting Chart Tab. 10 Problem Possible Causes Corrective Actions TMP doesn’t Scroll Pump motor thermal Allow motor to cool. Identify cause of overload. reach NORMAL protector open OPERATION Vacuum system leak Locate and repair leak. System will not Excessive voltage drop Check size and length of cable.
Page 255: Orderable Parts
Technical Information Orderable Parts Orderable Parts Tab. 11 Orderable parts (part 1) TV 81-M TV 81-M TV 81-M TV 81-M TPS-compact KF40 CFF 2.75" ISO 63 CFF 4.5" 120 V 969-8217 969-8218 969-8219 969-8220 220 V 969-8225 969-8226 969-8227 969-8228 Accessories DIY EyesSys Gauge Kit 969-9185...
Page 256 Technical Information Orderable Parts Tab. 12 Orderable parts (part 2) TV 301 TV 301 TV 301 TV 301 TPS-compact ISO 100 CFF 6" ISO 160 CFF 8" 120 V 969-8221 969-8222 969-8223 969-8224 220 V 969-8229 969-8230 969-8231 969-8232 Accessories DIY EyesSys Gauge Kit 969-9188 969-9197...
Page 262 Request for Return Form Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Vacuum Product Division Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue G01. Prime corporate Park,...

Ce manuel est également adapté pour:

Tps-compact 969-8218 Tps-compact 969-8219 Tps-compact 969-8220 Tps-compact 969-8221 Tps-compact 969-8222 Tps-compact 969-8223 ... Afficher tout

Agilent Technologies TPS-compact 969-8217 Notice De Mode D'emploi

Table des Matières

Deutsch

Français

Español

Português

Dutch

Dansk

Svenska

Norsk

Suomi

Magyar

Polski

Čeština

Slovenčina

Slovenščina

English

16 Instructions for Use

17 Technical Information

Les langues disponibles

Liens rapides

Chapitres

Manuels Connexes pour Agilent Technologies TPS-compact 969-8217

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies TPS-compact 969-8217