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INFORMACIÓN GENERAL
Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer
atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier
otra información suplementaria facilitada por Varian antes de
usar el aparato. Varian se considera libre de posibles
responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de
las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no
preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a
las normas nacionales específicas.
El TPS-compact es un sistema integrado compuesto por una
bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto
vacío integrada por el respectivo controlador y la bomba
primaria. El sistema puede bombear cualquier tipo de gas o de
composición gaseosa, pero no es adecuado para bombear
líquidos o partículas sólidas. El efecto de bombeo se obtiene
mediante una turbina rotativa de alta velocidad movida por un
motor eléctrico trifásico de alto rendimiento. El TPS-compact no
posee absolutamente ningún agente contaminante, por lo que
es adecuado para aplicaciones que requieren un vacío'
"limpio".
Asimismo,
el
TPS-compact
auxiliares con los que se puede gobernar la válvula de
ventilación y pilotearlo a distancia mediante un ordenador host
conectado a través de línea serial.
A continuación se facilita toda la información necesaria para
garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el
anexo "Technical Information" se facilita información más
detallada.
Este manual utiliza las convenciones siguientes:
Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre
un procedimiento o una ejecución específica que, de no
realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones
personales.
¡ATENCIÓN!
Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos
que, de no cumplirse, podrían provocar daños al aparato.
NOTA
Las notas contienen información importante extraída del texto.
ALMACENAMIENTO
Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de
los sistemas de bombeo Varian, deberán aplicarse las
siguientes instrucciones:
•
durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento
de las bombas no deberán superarse las siguientes
condiciones ambientales:
•
temperatura: entre –20 °C y +70 °C;
•
humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);
•
el
cliente
deberá
activar
turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y
ponerlas en funcionamiento por primera vez;
•
el período máximo de almacenamiento de una bomba
turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de
envío al cliente.
¡ATENCIÓN!
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo
permitido de almacenamiento, será necesario devolver el
sistema de bombeo al fabricante. Para mayores informaciones
al respecto, se ruega contactar con el representante local de
Varian.
PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN
El TPS-compact se suministra en un embalaje especial de
protección; si se observan daños, que podrían haberse
producido durante el transporte, ponerse en contacto con la
oficina local de ventas.
posee
conectores
¡PELIGRO!
siempre
las
bombas
Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se
caiga el TPS-compact y de no someterlo a golpes o vibraciones.
No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es
completamente reciclable y cumple con lo dispuesto por la
directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente.
Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las
manos desnudas los componentes destinados a exponerse al
vacío. Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada.
El
TPS-compact
simplemente expuesto a la atmósfera. De todas formas, se
aconseja mantener cerrada la bomba hasta el momento de la
instalación en el sistema para evitar su posible contaminación
por polvo.
INSTALACIÓN
Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el
momento de conectar la turbobomba al sistema.
No instalar ni/o utilizar el sistema de bombeo en lugares expuestos
a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases
agresivos, ni en ambientes sujetos a riesgo de explosión o
incendio.
Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
-
presión máxima: 2 bares por encima de la presión
atmosférica
-
temperatura: de +5ºC a +35ºC
-
humedad relativa: 0-95% (no condensadora).
Cuando existan campos electromagnéticos, el sistema de
bombeo ha de protegerse mediante pantallas adecuadas.
El TPS-compact puede ser instalado en cualquier posición.
Fijar el TPS-compact en posición estable conectando la brida
de entrada de la turbobomba a una contrabrida fija capaz de
resistir ha un par de 50 Nm en torno a su propio eje.
La turbobomba con brida de entrada ISO ha de fijarse a la cámara
de vacío mediante mordazas dobles o mordazas sencillas. La
12/74
INSTRUCCIONES DE USO
¡ATENCIÓN!
NOTA
no
puede
dañarse
permaneciendo
¡ATENCIÓN!
87-901-010-01
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