Pfeiffer Vacuum TPH 062 Instructions De Service page 26

Pompe turbomoleculaire
Table des Matières
– Pumpe mit blindgeflanschtem Hoch-
vakuumflansch an die Vorpumpe
anschließen und bis 10 -1 mbar eva-
kuieren, um Reinigungsmittelrück-
stände abzusaugen.
Turbopumpe hierbei nicht einschal-
ten!
– Pumpe belüften und neuen Betriebs-
mittelspeicher einsetzen.
– Pumpe wieder in die Anlage
montieren.
Hinweis:
Beim ersten Evakuierungsvorgang
ist die Pumpzeit, bedingt durch
Reinigungsmittelreste, länger.
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– Connect the pump with the high
vacuum blank flange to a backing
pump and evacuate to approx.
10 -1 mbar so that any cleaning agent
residues are sucked away.
Do not switch on the turbo pump at
this stage.
– Vent the pump and fit new operating
fluid reservoir.
– Re-fit pump into the system.
Please note:
Initial evacuation takes longer owing to
the effect of cleaning agent residues.
Fig. 15
18 Flüssigkeitsspiegel, max.
19 Reinigungsmittel
20 Behälter
18 Liquid level, max.
19 Cleaning agent
20 Container
18 Niveau maxi. de liquide
19 Produit de nettoyage
20 Récipient
– Raccorder la pompe turbo avec les
brides de vide élevé obturées à la
pompe primaire et évacuer jusqu'à
env. 10 -1 mbar, afin d'aspirer les
restes de produits de nettoyage.
Ne pas mettre la pompe turbo en
marche!
– Aérer la pompe et monter le nouveau
réservoir de fluide moteur.
– Remonter la pompe dans le système.
Remarque:
Lors du premier processus
d'évacuation, le temps de pompage est
plus long à cause des restes de produit
de nettoyage.
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Ce manuel est également adapté pour:

Tpu 062Tph 055Pmp02090Pmp02092Pmp02091Pmp02540

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