Splitterschutz; Vorvakuumanschluß; Raccord De Vide Primaire - Pfeiffer Vacuum Tph 062 Instructions De Service

Pompe turbomoleculaire
Table des Matières

4.2.1 Splitterschutz

Zum Schutz der Turbopumpe gegen
Fremdkörper sollte ein Splitterschutz
eingesetzt werden (Siebwölbung nach
oben, siehe Abschnitt 9 Zubehör). Der
Splitterschutz muß mit dem Außenring
bis zum Anschlag in den Hochvakuum-
flansch eingedrückt werden. Er verrin-
gert das Saugvermögen um ca. 15 %.
1 3
4.3 Vorvakuumanschluß
Fig. 8
– Alle Verbindungen der Vorvakuum-
leitung können mit Kleinflansch-Bau-
elementen hergestellt werden.
– Bei starren Rohrverbindungen ist ein
Federungskörper einzubauen, um die
Übertragung der Vibration von der
Vorvakuumpumpe zu dämpfen.
– Bauelemente zum Vorvakuuman-
schluß siehe Abschnitt 9, Zubehör.
– Weitere Bauteile sind im PFEIFFER-
Katalog "Komponenten für die
Vakuumtechnik" aufgeführt.
– Um die Belüftung des Rezipienten
über die Vorvakuumpumpe zu ver-
hindern, muß ein Sicherheitsventil in
die Vorvakuumleitung eingebaut
werden (siehe Abschnitt 9, Zubehör).
– In PFEIFFER-Vorvakuumpumpen ist
ein Hochvakuum-Sicherheits-ventil
integriert (siehe Abschnitt 3,
Vorvakuumpumpe).
Fig. 6
1 Hochvakuumflansch
4 Vorvakuumflansch
6 Flutanschluß
1 High vacuum flange
4 Fore vacuum flange
6 Venting connection
1 Bride de vide élevé
4 Bride de vide primaire
6 Raccord de remise à l'air
4.2.1 Splinter Shield
A splinter shield should be installed to
protect the pump against solid foreign
matter (with the screen bulge facing
downward; see Section 9, Accessories).
The splinter shield has to be pressed
into the high-vacuum flange up to the
stop on its outer ring. It decreases the
volume flow rate of the pump by
approximately 15 %.
2
4.3 Fore-vacuum Connection
Fig. 8
– All connections of the fore-vacuum
line can be made using small-flange
components.
– In the case of rigid pipe connections,
a bellows must be installed to reduce
the transmission of vibrations from
the backing pump.
– Components for the fore-vacuum
connection: see Section 9,
Accessories.
– Further components are listed in the
PFEIFFER catalog "Vacuum
Components".
– In order to prevent the vacuum
chamber from being vented via the
backing pump, a safety valve must
be installed in the fore-vacuum line
(see Section 9, Accessories).
– A high-vacuum safety valve is
incorporated in the PFEIFFER backing
pumps (see Section 3 on backing
pumps).
4.2.1 Pare-éclats
Un pare-éclat devrait être mis en place
pour protéger la pompe turbo contre
les corps étrangers (courbure du tamis
vers le haut, voir paragraphe 9 acces-
soires). Le pare-éclats doit être enfoncé
dans la bride de vide élevé avec
l'anneau extérieur jusqu'à la butée. Il
réduit la capacité d'aspiration d'env.
15 %.
Fig. 7
1 Hochvakuumflansch Turbopumpe
2 Splitterschutz
3 Klemmfahne
1 High-vacuum flange turbo pump
2 Splinter shield
3 Clamping lug
1 Bride de vide élevé
2 Pare-éclats
3 Talon de serrage

4.3 Raccord de vide primaire

Fig. 8
– Tous les raccords de la conduite de
vide primaire peuvent être fabriqués
avec des éléments de petites brides.
– En cas de raccords à tubes rigides, un
soufflet doit être monté afin d'amortir
la transmission des vibrations de la
pompe à vide primaire.
– Eléments pour le raccord du vide pré-
alable: voir paragraphe 9,
accessoires.
– D'autres pièces sont énumérées dans
le catalogue PFEIFFER "Composants
pour la technique du vide".
– Une soupape de sûreté doit être
montée dans la conduite de vide
primaire afin d'empêcher l'entrée
d'air dans le récipient par le biais de
la pompe à vide primaire (voir
paragraphe 9, accessoires).
– Une soupape de sûreté de vide élevé
est intégrée aux pompes à vide
primaire PFEIFFER (voir paragraphe 3
pompe à vide primaire).
11
Table des Matières
loading

Ce manuel est également adapté pour:

Tpu 062Tph 055Pmp02090Pmp02092Pmp02091Pmp02540

Table des Matières