Heizen Der Turbopumpe; Abschalten; Switching Off Procedure; Mise À L'arrêt - Pfeiffer Vacuum Tph 062 Instructions De Service

5.2 Heizen der Turbopumpe

Achtung!
Der Enddruck richtet sich nach der Sau-
berkeit der Pumpe und der Apparatur.
Um den Enddruck in möglichst kurzer
Zeit zu erreichen, ist es zweckmäßig,
Turbopumpe und Apparatur zu heizen.
Ist der Rezipient direkt angeflanscht,
muß darauf geachtet werden, daß die
Temperatur des Hochvakuumflansches
beim Heizen der Apparatur und der
Pumpe 120°C nicht überschreitet.
Wird der Rezipient höher als 200°C ge-
heizt, muß die Wärmestrahlung vom
Rezipienten auf den Pumpenrotor ver-
hindert werden (z.B. mit einem Strah-
lungsschild). Die Heizdauer für Pumpe
und Rezipient richtet sich nach dem
Verschmutzungsgrad und dem ge-
wünschten Enddruck. Sie sollte wegen
der Aufheizzeit des Rotors mindestens
4 Stunden betragen.
Heizmanschette siehe Zubehör.

5.3 Abschalten

– Turbopumpe an der Antriebselek-
tronik ausschalten.
– Vakuum-Sicherheitsventil in Vorva-
kuumleitung schließen. Bei
PFEIFFER-Vorvakuumpumpen
schließt das Sicherheitsventil beim
Ausschal-ten der Vorvakuumpumpe
automa-tisch.
TPH/U 062:
– Bei Einsatz eines TCP 121 oder 380
mit TSF 012 erfolgt das Fluten auto-
matisch bei ca. 30 % der Nenndreh-
zahl.
Bei Wasserkühlung:
– Nach dem Abschalten Kühlwasser-
zufuhr absperren.
Besonders bei geöffneter Turbopumpe
und hoher Luftfeuchtigkeit können sich
Kondensate an den gekühlten Flächen
niederschlagen.
TPH 055:
– Pumpe nach Ausschalten über den
HV-Flansch fluten.
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5.2 Heating the Turbo Pump
Important:
The final pressure is a function of the
cleanliness of the pump and apparatus.
In order to attain the final pressure as
rapidly as possible, it is practical to
heat the turbo pump and apparatus. If
the vacuum chamber is directly flanged
on, it must be ensured that the tem-
perature of the high-vacuum flange
does not exceed 120°C when the
apparatus and the pump are heated.
If the vacuum chamber is heated to a
temperature above 200°C, the heat
must be prevented from radiating from
the vacuum chamber to the pump rotor
(e.g. by means of a radiation screen).
The heating time for the pump and
vacuum chamber depends on the
degree of contamination and the final
pressure desired. Due to the heating-
up time of the rotor, it should be at
least 4 hours.
Heating jacket see accessories.

5.3 Switching off Procedure

– Switch off the turbo pump on the
electronic drive unit.
– Close the vacuum safety valve in the
fore-vacuum line. When PFEIFFER-
backing pumps are used, the safety
valve closes automatically when the
backing pump is switched off.
TPH/U 062:
– If a TCP 121 or 380 is used together
with a TSF 012, venting is performed
automatically at approx. 30 % of the
rated rotation speed.
With water cooling:
– Shut off the cooling water supply
after switching off.
Condensate may settle on the cooled
surfaces, particularly with open turbo
pump and a high humidity.
TPH 055:
– Vent the pump after switching off via
the HV flange.
5.2 Chauffage de la pompe turbo
Attention!
La pression finale est une fonction de
la propreté de la pompe et de
l'appareillage.
Pour atteindre la pression finale le plus
rapidement possible, il est utile de
chauffer la pompe turbo et l'appa-
reillage. Si le récipient est bridé
directement, il faut veiller à ce que la
température de la bride de vide élevé
ne dépasse pas 120°C lors du chauf-
fage de l'appareillage et de la pompe.
Si le récipient est chauffé à plus de
200°C, le rayonnement thermique du
récipient sur le rotor de la pompe doit
être empêché (par ex. à l'aide d'un
écran protecteur). La durée de
chauffage de la pompe et du récipient
est une fonction du degré de salissure
et de la pression finale souhaitée. Elle
devrait être de 4 heures minimum à
cause de la durée d'échauffement du
rotor.
Chemise chauffante voir accessoires.
5.3 Mise à l'arrêt
– Déconnecter la pompe turbo sur la
commande d'entraînement.
– Fermer la vanne de sûreté élevé de la
conduite de vide primaire. Chez les
pompes de vide primaire PFEIFFER-la
vanne de sûreté se ferme
automatiquement lors de la
déconnexion de la pompe de vide
primaire.
TPH/U 062:
– En cas d'utilisation d'un TCP 121 ou
380 avec TSF 012, la remise à l'air a
lieu automatiquement à env. 30 % de
la vitesse nominale.
En cas de refroidissement à l'eau:
– Fermer l'alimentation en eau de
refroidissement près la déconnexion.
Des condensats peuvent se déposer
sur les surfaces refroidies, surtout
lorsque la pompe turbo est ouverte et
l'hygrométrie élevée.
TPH 055:
– Remettre la pompe à l'air via la bride
de vide élevé après la déconnexion.