Table des Matières
Publicité
ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ
A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték.
A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell
olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely
információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan
eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár
részbeni meg nem felelés, szakképzetlen személyek általi nem
megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan
beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes
bármely művelet miatt történtek.
A TV 551/701 Navigator egy integrált rendszer turbo-molekuláris
szivattyúval nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz a
megfelelő vezérlőjével. A rendszer bármely típusú gázt vagy
gázkeveréket képes szivattyúzni. Nem alkalmas folyadékok vagy
szilárd részecskék szivattyúzására. A szivattyúzási műveletet egy
nagyteljesítményű
3
fázisú
nagysebességű turbina (max. 42000 fordulat/perc) biztosítja. A TV
551/701 Navigator szennyezőanyagoktól mentes, és ezért
alkalmas „tiszta" vákuumot igénylő alkalmazásokra.
Fel van szerelve külső csatlakozókkal, hogy további ventillátort
tápláljon, vezérelje a ventillátor szelepet, amit távoli helyről
irányít egy soros vonalon (RS 232 vagy RS 485) keresztül
csatlakoztatott gazdagép segítségével.
A következő bekezdések a berendezést használó kezelő
biztonságának garantálásához szükséges összes információt
tartalmazzák.
Részletes
információt
információ" függelékben.
Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt
használja:
VIGYÁZAT!
A figyelmeztető üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy
konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek
megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet.
!
FIGYELEM
A „Figyelem" üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg,
amelyeket ha nem követnek, a berendezés károsodását
okozhatják.
MEGJEGYZÉS
A
megjegyzések
a
szövegből
tartalmaznak.
TÁROLÁS
A
Varian
Turbomolecular
teljesítményszintjének
garantálására
útmutatásokat kell követni:
•
szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a
következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni:
•
hőmérséklettartomány: -20 °C - 70 °C
•
relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)
•
A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani,
amikor a felhasználó átveszi és először üzemelteti.
•
Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10
hónap a szállítás dátumától.
!
FIGYELEM
Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút
vissza kell vinni a gyárba. Kérem, információért forduljon a
helyi
Varian
vákuumkereskedelmi
képviselethez.
ELŐKÉSZÍTÉS TELEPÍTÉSRE
A TV 551/701 Navigatort különleges védőcsomagolásban
szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben
felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához.
A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le,
és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását.
Ne ártalmatlanítsa a csomagoló anyagokat nem megengedett
módon. Az anyag teljesen újrafeldolgozható, és megfelel az
EEC 85/399-es direktívának.
elektromos
motorral
hajtott
talál
a
„Műszaki
vett
fontos
információt
szivattyúk
maximális
a
következő
és
szolgáltatási
!
Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta
kezeket vákuumnak kitett komponensek kezelésére. Mindig
használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet.
MEGJEGYZÉS
A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a TV
551/701 Navigatort. Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe
való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés
bármely formáját.
TELEPÍTÉS
Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus
közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban,
agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes
környezetben. Üzemeltetés közben a következő környezeti
feltételeket kell biztosítani:
−
maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett
−
hőmérséklet: +5 °C-tól +35 °C-ig (lásd a nyomás-
hőmérséklet
diagramot
függelékben)
−
relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)
!
Ne
távolítsa
el
az
turbószivattyúnak a rendszerhez való csatlakoztatása előtt.
Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell
ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért
lásd „Műszaki információ".
A TV 551/701 Navigatort elsődleges szivattyúhoz kell
csatlakoztatni (lásd „Műszaki információ").
A SZIVATTYÚ RÖGZÍTÉSE
Ha rotorhiba jelentkezik, a szivattyúnak a rendszerhez való
csatlakozása jelentős nyomatéknak lehet kitéve. Ha a
csatlakozás nem elegendő a nyomaték elviselésére, a
szivattyú leválhat a rendszerről, illetve a motorház leválhat a
szivattyú burkolatáról. Ebben az esetben fémrészecskék
állhatnak ki a szivattyúból vagy a rendszerből, ami komoly
sérülést vagy halált és/vagy környezet károsodást okozhat.
35
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
FIGYELEM
a
„Műszaki
információ"
FIGYELEM
öntapadó
és
védőkupakot
VIGYÁZAT!
87-900-934-01(G)
a
Publicité
Table des Matières
