Pompe Primaire; Jauges Ioniques; Électrovanne D'aération - Thermo Scientific TSQ Serie Mode D'emploi

L'alimentation de la pompe turbomoléculaire est coupée lorsque la pression de la ligne primaire
mesurée par la jauge Convectron est trop élevée ou quand la température turbomoléculaire dépasse le
seuil défini.

Pompe primaire

Une (TSQ Quantum Access et TSQ Quantum Access MAX) ou deux (TSQ Vantage et TSQ
Quantum Ultra) pompe(s) primaire(s) Edwards
fonctionnement correct de la pompe turbomoléculaire. La pompe primaire évacue également la vanne
d'arrivée et la cellule de collision. Le déplacement maximal de la pompe est de 650 l/min, et elle
maintient une pression minimale d'environ 1 Pa (0,01 Torr).
La pompe primaire se raccorde à la pompe turbomoléculaire via une section en PVC renforcé. Le câble
d'alimentation de la pompe primaire se branche à la prise étiquetée Forepump (pour Pompe principale)
du tableau d'alimentation (voir la
est contrôlée par le commutateur du disjoncteur de l'alimentation principale et le commutateur de
service du système de vide, mais pas par le commutateur de service de l'électronique.
MISE EN GARDE Vous devez toujours brancher le câble d'alimentation de la pompe primaire aux
prises étiquetées Forepump sur le tableau d'alimentation de droite du spectromètre de masse. Ne le
branchez jamais à une prise murale.
Jauges Convectron
®
Une jauge Convectron
pompe turbomoléculaire et la pompe primaire. Cette jauge utilise un pont Wheatstone équipé d'une
résistance dont le fonctionnement est basé sur la température pour mesurer la pression en fractions de
milliTorr. Une deuxième jauge Convectron détermine la pression de l'argon dans la cellule de collision.

Jauges ioniques

Une jauge Granville-Phillips
du tube de vide. Cette jauge produit des électrons énergétiques qui provoquent l'ionisation des
molécules dans la jauge ionique. Les ions positifs formés dans la jauge ionique sont ensuite attirés vers
un collecteur. Le courant du collecteur est proportionnel à la pression dans le tube de vide. La jauge
ionique participe également à la protection du vide.
Électrovanne d'aération
L'électrovanne d'aération, qui se trouve dans la zone de l'assemblage Q2, permet au tube de vide d'être
ventilé avec l'azote sec. Il s'agit d'une vanne commandée par solénoïde et contrôlée par la carte de retard
d'aération. Lorsque le solénoïde est activé, la vanne est fermée. En cas de panne d'alimentation ou de
réglage du commutateur du disjoncteur de l'alimentation principale sur la position Off (O), un
condensateur 4 Farad intégré au module d'entrée d'alimentation maintient le solénoïde en position
fermée pendant plusieurs minutes. Si l'alimentation n'est pas rétablie passé ce délai, le solénoïde s'ouvre
et le système est ventilé avec l'azote sec. L'azote sec (35 kPa [5 psi], pur à 99 %) pénètre dans le
spectromètre de masse via un orifice de 1/4 pouce situé sur le côté gauche de l'instrument. Voir la
Figure 32. L'électrovanne d'aération se ferme une fois l'alimentation du spectromètre rétablie.
Thermo Scientific
Figure 13 à la
™
mesure la pression dans la vanne d'admission et la ligne primaire, qui relie la
™ ™
342 Mini ion permet de mesurer les pressions de la zone de l'analyseur
™
E2M30 établissent le vide nécessaire au
page 20). Cette prise permet d'alimenter la pompe et
Manuel du matériel de la gamme TSQ
2
Description des fonctions
Spectromètre de masse
39