Table des Matières
Publicité
Za provozu je třeba dodržovat následující podmínky dané
prostředím:
−
maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem
−
teplota: od +5 °C do +35 °C (viz diagram tlak-teplota v
příloze "Technické informace")
−
relativní vlhkost: 0 -95% (bez srážení)
V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit
feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze
"Technické informace".
Vývěva TV 301 Navigator se musí připojit k primárnímu
čerpadlu (viz "Technické informace").
Vývěvu TV 301 Navigator lze instalovat v libovolné poloze.
Vývěvu TV 301 Navigator upevněte v nějaké stabilní poloze a
přívodní přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která
snese torzní moment 1000 Nm kolem své osy.
Např. přírubu ISO-K lze připevnit příchytkami z vysoce pevné
oceli (jako je typ IC 63250 DCMZ firmy Varian). Následující
tabulka uvádí nezbytný počet příchytek IC 63250 DCMZ pro
každou přírubu a příslušný utahovací moment.
PŘÍRUBA
PŘÍCHYTNÉ
ZAŘÍZENÍ
ISO 100 K
Spony M10
ISO 160 K
Spony M10
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí
připevnit
k vakuové komoře použitím příslušného materiálu
firmy Varian. Viz podrobný popis v příloze "Technické
informace".
POZNÁMKA
Vývěvu TV 301 Navigator nelze připevnit pomocí její podstavy.
!
VAROVÁNÍ
Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva TV 301 Navigator do
druhé elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte
do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu.
Vývěva TV 301 Navigator je vybavena vstupními a výstupními
konektory a konektory pro sériovou komunikaci, které se musí
připojit k externím obvodům tak, aby žádná elektrická součást
nebyla přístupná.
Zajistěte, aby izolace zařízení připojeného k vývěvě TV 301
Navigator byla přiměřená i v případě
směrnice EN 61010-1.
Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technické
informace".
POUŽITÍ
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních
postupů.
Před použitím systému proveďte všechna elektrická a
pneumatická připojení.
Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby nesmí
překročit 120 °C.
VÝSTRAHA!
Turbovývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba
připojená k vakuové komoře.
Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství
nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
POČET
UTAHOVACÍ
MOMENT
4
22 Nm
4
22 Nm
jediné poruchy podle
55/90
!
VAROVÁNÍ
Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a
prudkými pohyby. Mohly by se poškodit ložiska.
Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn, který
je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí
být menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem).
Pro čerpání agresivních plynů jsou tyto vývěvy vybaveny
speciálním otvorem, který umožňuje plynulý přítok inertního
plynu (např. N
, Ar) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu
2
"Technické informace").
VÝSTRAHA!
Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo
radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro
likvidaci každého plynu.
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.
Zapnutí a používání vývěvy TV 301 Navigator
Pro uvedení vývěvy TV 301 Navigator do provozu je nutné
přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky zjišťuje
blokování, přítomnost spouštěcích signálů a uvede vývěvu do
provozu.
První spuštění vývěvy je v režimu "pozvolného rozběhu".
Jakmile bude rozběhový cyklus dokončen, režim "pozvolného
rozběhu" se automaticky vypne a další starty již budou probíhat
bez "pozvolného rozběhu". Chcete-li opět zapnout režim
"pozvolného
rozběhu",
musíte
programovým příkazem (viz odstavec "POPIS KOMUNIKACE
RS 232/485" v příloze "Technické informace").
Zelená kontrolka umístěná na čelním panelu základny vývěvy
TV 301 Navigator indikuje provozní stavy systému blikáním:
•
bez blikání: vývěva se otáčí normálně;
•
pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna
rozbíhá nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu "čekání na
blokování";
•
rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav.
Vypnutí vývěvy TV 301 Navigator
Pro vypnutí vývěvy TV 301 Navigator je nutné přerušit síťové
napětí. Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví.
VÝSTRAHA!
Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být controller čerpadla
Turbo-V napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka
dílů, které lze doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně
schválenou). Používejte tento kabel se zástrčkou a patřičně
uzemněnou zásuvku, abyste předešli úrazu elektrickým
proudem a aby byly zaručené požadavky norem ES.
Vysoké napětí, které vzniká v controlleru může způsobit vážné
zranění, i smrtelné. Před prováděním zásahů údržby uvnitř
jednotky přívodní kabel odpojte.
Nouzové zastavení
Pro okamžité zastavení vývěvy TV 301 Navigator v nouzové
situaci je třeba odpojit napájecí kabel ze síťové zásuvky.
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
jej
aktivovat
patřičným
87-900-946-01(G)
Publicité
Table des Matières
