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Varian Turbo-V 2K-G Mode D'emploi page 77

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TECHNICAL INFORMATION
3
Throughput and power curves for Argon (power limit 350 W) - Data with 80 m
/h primary pump.
3
Throughput and power curves for Nitrogen (power limit 400 W) - Data with 80 m
/h primary pump.
72
87-900-968-01(C)

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