Table des Matières
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Maintenance
5.1
Introduction
WARNING
Do not disconnect the electronics and
magnet housing from the body tube
when the body tube is connected to the
vacuum system. If there is a plasma
discharge in the vacuum system near
the body tube, the body tube can
become electrically charged.
WARNING
Disconnect the cable from the AIM
Gauge before you remove the AIM
Gauge from the vacuum system. High
voltages are generated inside the AIM
Gauge.
The internal components of the AIM Gauge are shown in
Figure
4. The AIM Gauge is designed so that you can
easily clean these components, or use the spares listed
in
Section 7
to replace these components. Refer to the
following sections for details of the maintenance
procedures, which you should do when necessary.
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Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
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Wartung
5.1
Einleitung
WARNUNG
Die Meßelektronik und das Magnet-
gehäuse nicht vom Meßröhrenkörper
trennen, wenn die Meßröhre am
Vakuumsystem angeschlossen ist.
Bei einer Plasma-Entladung im
Vakuumsystem in der Nähe des
Meßröhrenkörpers kann sich dieser
elektrisch aufladen.
WARNUNG
Vor Ausbau des AIM-Meßröhre aus dem
Vakuumsystem das Kabel von der AIM-
Meßröhre trennen. Im Inneren der AIM-
Meßröhre wird Hochspannung erzeugt.
Die inneren Komponenten der AIM-Meßröhre werden in
Abbildung 4
dargestellt. Die AIM-Meßröhre ist so
konstruiert, daß die Komponenten leicht gereinigt bzw.
unter Verwendung der in
Abschnitt 7
aufgeführten
Ersatzteile ausgetauscht werden können. Nachstehende
Abschnitte enthalten eine ausführliche Beschreibung
der Wartungsverfahren, die nur nach Bedarf
auszuführen sind.
D145-45-885 Issue H
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Entretien
5.1
Introduction
AVERTISSEMENT
Ne débranchez jamais l'électronique et
le logement de l'aimant au niveau du
tube lorsque ce dernier est raccordé au
système à vide. En effet, s'il y a une
décharge plasmatique dans ce système,
à proximité du tube, ce dernier risque
d'être chargé sur le plan électrique.
AVERTISSEMENT
Débranchez le câble de la jauge AIM
avant de déposer cette jauge du
système à vide. Des tensions élevées
sont générées à l'intérieur de cette
jauge.
Les composants internes de la jauge AIM sont illustrés à
la
Figure
4. Cette jauge est conçue pour un nettoyage
très facile de ces différents composants. Cette
conception permet également d'utiliser très aisément
les pièces de rechange énumérées à la
de remplacer ces composants. Consultez la Section
suivante qui présente des détails sur les procédures
d'entretien que vous devrez réaliser aux intervalles
prévus.
Section 7
en vue
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