Purge Par Alimentation D'air - Siemens CD 3002 Manuel D'utilisation

LDS 3000
CD 3002
Manuel d'utilisation

Purge par alimentation d'air

C'est la solution standard utilisée pour empêcher toute salissure des len-
tilles. Elle nécessite une bride équipée d'une tubulure d'admission pour
le gaz de purge afin d'appliquer un sauffle d'air sur les lentilles et dans le
processus. Avant de pénétrer dans le processus, l'air traverse un filtre en
acier afin de créer un flux laminaire à une certaine distance de la lentille.
Ceci évite l'accumulation due aux jets gazeux se dirigeant en sens in-
verse. Le Cv de ce filtre est 0,39 ce qui donne un débit d'environ 500 li-
tres/min. si on lui applique une pression de 6 bars (en évitant toute
réduction du débit). La sortie du gaz de purge doit donc être régulée en
pression à proximité de chaque unité de capteur. On peut éventuelle-
ment utiliser une vanne aiguille à la place, pour obtenir un débit d'air
réglable entre 20 et 120 litres/min. (avec une alimentation d'air à 6 bars).
Arrivée en acier fritté (fournit un écoulement d'air laminaire)
Tampon d'air
Arrivée de l'air d'alimentation
Installation pour purger la lentille avec une alimentation d'air à 6 bars
La consommation d'air coûte relativement cher et, de ce fait, il faut prendre des
Note!
mesures visant à minimiser la consommation. Il faut donc utiliser un régulateur de
pression au point de raccordement de l'air d'alimentation pour faciliter le réglage du
débit si celui-ci n'est pas déjà regulé. Si des débits d'air très élevés (>100 litres/min.)
sont nécessaires, il faut utiliser une soufflante d'air.
Calculs de débit
Les calculs de débit sont légèrement complexes car les gaz sont des flu-
ides compressibles dont la densité change avec la pression. De plus, lor-
sque la pression en sortie est inférieure à la moitié de la pression en
entrée, le gaz atteint une vitesse sonique dans la vanne. Ce phénomène
est appelé "écoulement réduit" car une diminution supplémentaire de la
pression de sortie n'augmente pas le débit. Dans cette application nous
sommes en présence d'un écoulement réduit. Dans ce cas, l'équation
suivante peut être utilisée pour calculer le débit:
2