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N°
Message affiché
E43 Courant de la cathode trop
élevé ! MSV Cat-Heater I>>l
E44 Le courant de la cathode est
trop bas !
W45 L'émission de la cathode 1 ne
peut pas être activée.
W46 L'émission de la cathode 2 ne
peut pas être activée !
E47 Impossible d'activer
l'émission sur les deux
cathodes !
E48 Chauffage de l'anode
défectueux !
E50 Aucune communication avec
la turbopompe.
E52 Fréquence des turbopompes
trop basse !
W53 La température du sous-
groupe électronique est trop
élevée ! (> 55 °C)
E
54 La température du sous-
groupe électronique est trop
élevée ! (> 60°C)
W55 La température du sous-
groupe électronique est trop
basse (< 2 °C).
E56 Pression d'admission p1 trop
basse !
E58 Pression de prévide p2 trop
basse !
E60 p2 > 10 mbar 5 minutes après
la mise en marche.
E61 Émission défectueuse.
96
Messages d'erreur et avertissements
Description et remède possible
•
Le signal MPKZH est actif sur la carte MSV. Le courant de la cathode
trop élevé, I > 3,6 A.
•
La carte MSV est défectueuse.
•
Le signal MPKZN est actif sur la carte MSV. Le courant de la cathode
est trop faible, I < 0,2 A.
•
La carte MSV est défectueuse.
Le signal MSIBE est inactif sur la carte MSV. L'émission pour la cathode
1 ne peut pas être activée. Le UL1000 et UL1000 Fab bascule sur la
cathode 2. Commandez une source d'ions neuve.
Le signal MSIBE est inactif sur la carte MSV. L'émission pour la cathode
2 ne peut pas être activée. Le UL1000 et UL1000 Fab bascule sur la
cathode 1. Commandez une source d'ions neuve.
Le signal MSIBE est inactif sur la carte MSV. Impossible d'activer
l'émission. Remplacer la cathode en remplaçant la source d'ions. Après
remplacement de la source d'ions, les 2 cathodes doivent pouvoir être
activées manuellement dans le menu de service.
Le signal MSAFD est actif sur la carte MSV. Le fusible pour le chauffage
de l'anode est grillé.
Remplacer le fusible F2 sur la carte MSV.
La cadence du convertisseur de fréquence a été interrompue. Aucune
communication avec le convertisseur de fréquence.
•
La vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire est trop basse.
•
Le convertisseur de fréquence est défectueux.
•
La pompe turbomoléculaire est défectueuse.
•
La température ambiante est trop élevée.
•
Le ventilateur est en panne.
•
Le filtre à air est encrassé.
•
La température ambiante est trop élevée.
•
L'aération interne est en panne.
•
Les filtres à air sont encrassés et doivent être remplacés.
•
La sonde de température au niveau du câblage indique T < 2 °C. Durée
de montée en régime prolongée pour la pompe à prévide.
•
La sonde de température est défectueuse.
U < 0,27 V ; cathode défectueuse.
Remplacer le capteur Thermovac qui mesure P
U < 0,27 V ; cathode défectueuse.
Remplacer le capteur Thermovac qui mesure P
p2 > 3,8 mbar t > 5 minutes après la mise en marche. La durée de la
montée en régime de la pompe à prévide est trop longue.
•
Pompe à prévide défectueuse.
•
La vanne V2 ne s'ouvre pas.
L'émission devrait être activée. Le sous-groupe MSV signale une erreur.
Courant d'émission MENB en dehors de la plage admissible.
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1
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2
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