Inficon UL1000 Fab Manuel Technique page 95

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Message affiché
W31 La tension Offset du préamp-
lificateur est trop élevée.
(< 5mV)
W32 La température du préamplifi-
cateur est trop élevée.
(< 60 °C)
W33 Température du préamplifi-
cateur trop basse. (< 2 °C)
E34 Tension 24V insuffisante sur
la carte MSV !
E35 La tension anode-cathode est
trop élevée !
E36 La tension anode-cathode est
trop basse !
E37 Grandeur de référence de
tension de suppresseur trop
grande.
E38 Potentiel de suppresseur trop
élevé.
E39 Potentiel de suppresseur trop
bas.
E40 Le potentiel de l'anode
dépasse la valeur nominale
de plus de 10 %.
E41 Le potentiel de l'anode est
inférieur à la valeur nominale
de plus de 10 %.
E42 La valeur nominale du
potentiel de l'anode est trop
élevée !
Description et remède possible
Le préamplificateur est défectueux
La température ambiante est trop élevée.
Le filtre à air est encrassé.
La température ambiante est trop basse.
La sonde de température est défectueuse.
Signal MVPZN actif sur la carte MSV. La tension 24 V est trop faible sur la
carte MSV, U < 18,3 V.
Le fusible F1 sur la carte MSV est grillé.
Absence de tension d'alimentation électrique 24 V.
Éteindre le UL1000 / UL1000 Fab !
L'absence de tension provoque une fermeture de la pompe à tiroirs
rotatifs qui peut, à son tour, provoquer une contamination du système
de vide.
La tension de référence UREF est trop élevée sur la carte MSV XT7/1,
U > 5 V.
La tension anode-cathode est supérieure à 130 V.
La carte MSV est défectueuse.
La tension anode-cathode est inférieure à 30 V.
La carte MSV est défectueuse.
Le signal MFSZH est actif sur la carte MSV. Signal de référence du
suppresseur trop élevé.
Tension de suppresseur court-circuitée.
La carte MSV est défectueuse.
Le potentiel de suppresseur est supérieur à 363 V.
La carte MSV est défectueuse.
Le potentiel de suppresseur est inférieur à 297 V.
La carte MSV est défectueuse.
La valeur réelle de la tension de l'anode dépasse la valeur nominale de
10 %. La valeur nominale peut être affichée dans le menu de service (sous
« Info »).
La carte MSV est défectueuse.
La valeur réelle de la tension de l'anode a chuté de 10 % au-dessous de
la valeur nominale. La valeur nominale peut être affichée dans le menu de
service (sous « Info »).
Infiltration d'air.
La carte MSV est défectueuse.
Le signal MFAZH est actif sur la carte MSV.
Tension de l'anode court-circuitée.
La tension nominale pour la tension de l'anode est trop élevée. La
tension de l'anode est limitée à 1 200 V.
Messages d'erreur et avertissements
95

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