Inficon UL1000 Fab Manuel Technique page 44

Remarque: Un réglage spécial du UL1000 / UL1000 Fab empêche la commutation
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Description et principe de fonctionnement
Comme la pompe Scroll continue d'évacuer l'air contenu dans l'éprouvette, la
pression d'admission p
À moins de 2 mbar, le UL1000 / UL1000 Fab bascule en mode FINE, cela signifie
que la vanne V4a s'ouvre et que la vanne V1b se ferme.
Le flux de gaz parvient maintenant à un niveau intermédiaire dans la pompe turbo-
moléculaire. La sensibilité du système est maintenant plus élevée, la limite d'affi-
chage inférieure s'élève à 1×10
MS
V4b
V8
p
V4a
2
V2
V5
Fig. 4-7 : à gauche : mode FINE, à droite : mode ULTRA
La partie inférieure de la pompe turbomoléculaire continue d'évacuer l'air contenu
dans l'éprouvette et, après que la pression p
UL1000 / UL1000 Fab bascule en mode ULTRA, cela signifie que les vannes V1a et
V4a se ferment et que la vanne V4b s'ouvre.
L'admission de gaz dans la pompe turbomoléculaire se déroule maintenant plus
haut. La capacité d'aspiration au niveau de l'admission s'élève maintenant à 2,5 l/s
et la limite de détection s'élève à 5×10
automatique de la plage de mesure décrite plus haut. En cas de sélection du
mode FINE only (v. chapitre
reste toujours en mode FINE Fig. 4-7 (à gauche), indépendamment de la
pression d'admission. La vanne V1a est alors fermée.
continue de chuter.
1
-10
mbar l/s.
V1a
TL
p
V7
1
V6
V1b
1
-12
mbar l/s.
6.3 Mode de fonctionnement), le détecteur de fuites
MS
p
V4b
1
V8
p
V6
V4a
2
V2
V1b
V5
ait chuté au-dessous de 0,4 mbar, le
V1a
TL
V7