Inficon UL1000 Fab Manuel Technique page 119

Table des Matières

Publicité

Pression
Pression d'admission
Protection
Protection contre la contamination
Puissance absorbée
Purge/Gas Ballast
Q
QT 100
R
Raccordements électriques
RS232
S
Setpoint
Sortie de relais
Sortie numérique
Sortie numérique (OUT)
Source d'ions
Spectromètre de masse
Symboles de sécurité
T
Taux de fuites
38
15
15
82
15
31
45
25
27
30
,
63
60
28
27
15
37
,
15
37
,
7
15
Taux de fuites d'hélium
Télécommande
Télécommande (Hand Set)
Température ambiante
Température de stockage
Touche START
Touche STOP
Touche ZERO
Transport
Trigger
Trigger alarm
Turbopompe
U
ULTRA
uniquement FINE
UNIQUEMENT ULTRA
Unité de commande
Unités
V
Vannes
Volume sonore
15
30
27
16
16
34
35
35
40
,
21
48
63
43
43
67
67
39
61
16
61
119
Index

Publicité

Table des Matières
loading

Ce manuel est également adapté pour:

Ul1000

Table des Matières