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D39722883 Issue N
Tableau 10 – Options de configuration de la pompe turbomoléculaire par défaut (suite)
Option de menu
Description
Air cooler
Vous pouvez définir le moment de fonctionnement d'un refroidisseur par air Edwards.
(refroidisseur par air)
Le refroidisseur par air peut être réglé sur "ON" (activé en permanence) ou sur "Turbo"
(activé lorsque la pompe turbomoléculaire fonctionne).
TIC vent options
Il est possible de faire fonctionner une vanne de remise à l'air connectée au contrôleur
(options de remise à
TIC comme suit :
l'air du TIC)
"On stop" (à l'arrêt) pour ouvrir la vanne de remise à l'air 2 secondes après la commande
d'arrêt ou "50%" pour l'ouvrir lorsque la pompe ralentit à 50 %.
Backing pump options
Il est possible de faire fonctionner une pompe secondaire connectée à un contrôleur TIC
(options de la pompe
ou via une boîte à relais comme suit :
secondaire)
None (aucun) :
50%:
On stop (à l'arrêt) : La pompe secondaire s'arrêtera 4 secondes après l'envoi de la
Reportez-vous au
Tableau 11
Si une pompe secondaire 24 V d'Edwards est connectée, il est conseillé que la puissance totale consommée ne
dépasse pas les données indiquées à la
Tableau 11 – Contrôle des erreurs/messages de diagnostic, pompes turbomoléculaires
Messages de diagnostic
RampUp Timeout
(délai d'attente montée
en régime)
Droop Timeout
(délai d'attente descente)
4.8.3
Options de configuration supplémentaires en cas d'utilisation d'une pompe DX
ou nEXT
Le contrôleur TIC permet de définir des fonctionnalités supplémentaires disponibles sur une pompe DX ou nEXT.
Consultez le manuel de la pompe DX ou nEXT avant d'utiliser le contrôleur TIC pour configurer la pompe DX
ou nEXT.
Les options de remise à l'air de la pompe turbomoléculaire peuvent être réglées pour différentes gammes de pompes
conformément au
Tableau
pouvoir connecter une vanne de remise à l'air supplémentaire à un système de vide.
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La pompe secondaire n'est pas mise en séquence avec la pompe
turbomoléculaire
La pompe secondaire s'arrêtera après 2 secondes une fois que la
vitesse de la pompe turbomoléculaire aura chuté à 50 %. Le délai
permet d'éliminer les débris du système.
commande d'arrêt de la pompe turbomoléculaire. Ce délai de
4 secondes permet de fermer une vanne et d'éliminer les débris
du système.
pour des informations d'erreur et de diagnostic relatives aux pompes.
ATTENTION
Section
2.
Description
Vérifiez si la pompe n'est pas trop chaude ou si la pression d'admission n'est pas
trop élevée.
Vérifiez le bon fonctionnement de la pompe secondaire.
Vérifiez si le système de vide ne présente pas de fuites.
Vérifiez si la pompe n'est pas trop chaude ou si la pression d'admission n'est pas
trop élevée.
Vérifiez le bon fonctionnement de la pompe secondaire.
Vérifiez si le système de vide ne présente pas de fuites.
ATTENTION
12. Vous pouvez également utiliser l'option de remise à l'air du contrôleur TIC afin de
Edwards et le logo Edwards sont des marques d'Edwards Limited.
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