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La pompe turbomoléculaire ne
démarre pas ; la DEL verte sur
l'unité de commande électronique
clignote
La pompe turbomoléculaire n'at-
teint pas la vitesse de rotation no-
minale dans le temps d'accéléra-
tion paramétré
La pompe turbomoléculaire n'at-
teint pas la pression ultime
● Fonctionnement sans
appareil de comman-
de : Les broches 2-7 et
5-7 ne sont pas connec-
tées sur la connexion
« X3 »
● Pour le fonctionnement
via RS-485 : le pontage
entre les broches 5 et 7
inhibe les instructions de
réglage
● Pour le fonctionnement
via RS-485 : les para-
mètres ne sont pas ré-
glés dans l'unité de com-
mande électronique
● La chute de tension dans
le câble est trop grande
● Pression de vide primai-
re trop haute
● Fuite sur la pompe turbo-
moléculaire
● Débit de gaz trop élevé
● Le rotor tourne avec des
à-coups, le palier est dé-
fectueux
● Point de consigne de
temps d'accélération ré-
glé trop bas
Charge thermique due à :
● défaut de ventilation
● débit d'eau insuffisant
● Pression de vide primai-
re trop haute
● température ambiante
trop élevée
● La pompe turbomolécu-
laire est polluée
● Fuite au niveau de l'en-
ceinte à vide, des tuyau-
teries ou de la pompe
turbomoléculaire
● Raccordez les connexions conformément au
schéma de raccordement de l'unité de comman-
de électronique.
● Contrôlez les pontages sur le câble de raccorde-
ment.
● Retirez le pontage sur la connexion « X3 ».
● Vérifiez le câble de raccordement.
● Réglez les paramètres [P: 010] et [P: 023] via
l'interface RS-485 sur 1 = "ON".
● Vérifiez le câble de raccordement.
● Utilisez un câble de raccordement adéquat.
● Vérifiez la compatibilité de la pompe de secours
(voir les caractéristiques techniques).
● Vérifiez si la pompe de secours fonctionne.
● Repérez les fuites.
● Vérifiez les joints et les raccords de bride.
● Éliminez les fuites.
● Réduisez la charge de gaz de procédé.
● Vérifiez la pompe turbomoléculaire pour détecter
tout bruit étrange
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
● Utilisez un appareil de commande pour étendre
la valeur de réglage du temps d'accélération
[P:700].
● Réduisez la charge thermique.
─ Assurez une circulation d'air suffisante.
─ Ajustez le débit d'eau de refroidissement.
─ Réduisez la pression du vide primaire.
─ Adaptez les conditions ambiantes.
● Chauffez la pompe turbomoléculaire si nécessai-
re.
● Faites-la nettoyer.
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
● Repérez les fuites en commençant par l'enceinte
à vide.
● Vérifiez les joints et les raccords de bride.
● Éliminez les fuites dans le système de vide.
Dysfonctionnements
47/60
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