Publicité
Liens rapides
Publicité
Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum HIPACE 80 MINI
Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum HIPACE 80 MINI
- Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction d'original HIPACE 80 MINI Pompe turbomoléculaire...
- Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
- Page 3 Utilisation conforme Utilisations non conformes prévisibles Qualification personnelle 2.7.1 Garantir la qualification du personnel 2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Description du produit Fonction 3.1.1 Refroidissement 3.1.2 Paliers du rotor 3.1.3 Commande...
- Page 4 Modes de fonctionnement 6.2.1 Fonctionnement sans unité de fonctionnement 6.2.2 Fonctionnement via la connexion multifonctions « X3 » 6.2.3 Fonctionnement via l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum 6.2.4 Fonctionnement via un bus de terrain Surveillance des opérations 6.3.1 Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes 6.3.2 Surveillance de la température...
- Page 5 Tab. 10: Paramètres d’usine pour la mise à l'air retardée dans les pompes turbo Tab. 11: Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculai- Tab. 12: Dépannage des pompes turbomoléculaires Tab. 13: Aperçu des PDR disponibles pour la HiPace 80 mini Tab. 14: Accessoires Tab. 15: Tableau de conversion : unités de pression Tab.
- Page 6 à bain d’huile Fig. 5: Raccord à bride ISO-K à ISO-F, boulons-agrafes à tête bombée Fig. 6: Exemple de raccord de vide primaire sur HiPace 80 mini Fig. 7: Exemple de raccordement d'accessoires via adaptateur TCS 12 Fig. 8: Exemple : Raccordement du câble de mise à...
- Page 7 Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appa- reil.
- Page 8 Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations. Plaque signalétique (exemple) La plaque signalétique de la pompe turbomoléculaire se trouve D-35614 Asslar Berliner Str. 43 HiPace 80 Mini dans la partie inférieure de la pompe à vide. Mod. PM PXX XXX Type 12 Plaque signalétique de l’unité...
- Page 9 A propos de ce manuel Fig. 1: Position des autocollants sur le produit 1 Remarque concernant le manuel de l’utilisateur Plaque signalétique sur la pompe turbo- moléculaire 2 Plaque signalétique pour l’unité de commande Informations sur la mise à la terre électronique 3 Sceau de garantie 1.3.4 Abréviations...
- Page 10 A propos de ce manuel 1.4 Justificatif de marque de fabrique ● Torx ® est une marque de fabrique d’Acument Intellectual Properties, LLC. ● Profibus ® est une marque de fabrique de Profibus Nutzerorganisation e.V. 10/60...
- Page 11 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ►...
- Page 12 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas d'endommagement des connexions Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords.
- Page 13 Sécurité AVERTISSEMENT Danger de mort dû à un sectionneur de réseau manquant La pompe à vide et l'unité de commande électronique ne sont pas équipées d'un sectionneur de ré- seau (interrupteur principal). ► Installez un sectionneur de réseau conformément à SEMI-S2. ►...
- Page 14 Sécurité Risques pendant la maintenance et la mise hors service AVERTISSEMENT Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l’entretien L’appareil n’est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée et que la pompe turbomoléculaire est à...
- Page 15 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas d'endommagement des connexions Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords.
- Page 16 Sécurité ► Toujours assurer un raccordement sûr au conducteur de terre (PE). ► Ne jamais débrancher les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Respecter les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Avant de travailler sur le raccord de vide secondaire, attendre que le rotor se soit complètement arrêté...
- Page 17 L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispen- sée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit.
- Page 18 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
- Page 19 ● Unité de commande électronique TC 110 3.2 Identification du produit ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours con- server à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. ► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit ou consulter www.certipedia.com...
- Page 20 Description du produit 3.2.1 Types de produit La désignation de produit des séries de pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum HiPace est compo- sée du nom de famille, de la taille (basée sur la vitesse de pompage de la pompe à vide) et, si néces- saire, de la description d'une caractéristique supplémentaire.
- Page 21 ► Ne pas empiler le produit. ► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité. Recommandation Pfeiffer Vacuum recommande de conserver l’emballage de transport et de protection d’ori- gine. Transport en toute sécurité du produit ► Transportez la pompe turbomoléculaire uniquement dans les limites admissibles de température.
- Page 22 Installation 5 Installation L'installation de la turbopompe et sa fixation sont d'une importance primordiale. Le rotor de la pompe turbomoléculaire tourne à grande vitesse. En pratique, il n’est pas exclu que le rotor entre en contact avec le stator (par ex. en cas de pénétration de corps étrangers dans la bride de vide élevé). En l’espa- ce de quelques fractions de secondes, l'énergie cinétique libérée agit sur le boîtier et sur l'ancrage de la pompe turbomoléculaire.
- Page 23 Installation 5.2 Serrage de la pompe turbomoléculaire à la partie inférieure AVIS Dommage à la pompe turbomoléculaire à cause d’une force agissant sur le côté vide élevé En cas de fixation à la partie inférieure de la pompe et simultanément au côté vide élevé à l'aide d’un raccord tubulaire rigide, il existe un risque que des forces réactives agissent sur la pompe turbomolé- culaire.
- Page 24 Dimensionnement requis du raccord de vide élevé fourni par client Information importante pour une installation correcte ► Utilisez exclusivement des kits de fixation agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccord de vide élevé de la pompe turbomoléculaire. 5.3.2 À propos de la protection antisismique AVIS Endommagement de la pompe à...
- Page 25 1 Raccordement de sûreté, côté client 5.3.3 Utilisation d’un pare-éclats ou d’une grille de protection Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec pare-éclats ou écran protecteur dans la bride de vide élevé protègent la pompe turbomoléculaire contre les corps étrangers provenant de la chambre de vide.
- Page 26 Installation 5.3.5 Orientations de montage Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum de la série HiPace sont adaptées à une utilisation avec les pompes à vide primaire de type compression à vide pour un montage dans toutes les positions. ► Lors de l’utilisation de pompes à vide primaire à bain d’huile, évitez le retour de la plage de vide primaire.
- Page 27 ● Cette situation n'entraîne toutefois aucun risque pour l'étanchéité du raccord à bride. Raccordement des griffes et des trous taraudés 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement. 2. Raccorder la bride conformément au schéma, à l'aide des composants du kit de montage.
- Page 28 Installation 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement. 2. Visser le nombre requis de goujons avec l'extrémité la plus courte dans les trous de la contre-bri- – Observer la résistance à la traction minimale du matériau de bride et la profondeur de vissa- 3.
- Page 29 Installation G 1/4” Fig. 6: Exemple de raccord de vide primaire sur HiPace 80 mini 1 Raccord de vide primaire de la pompe turbomoléculaire Pompe à vide primaire 2 Composants du vide Établissez le raccord de vide primaire 1. Avec des raccords tubulaires rigides, vous devez inclure des soufflets pour atténuer les vibrations externes.
- Page 30 ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. ► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours. 5.6.1 Mise à la terre de la pompe turbomoléculaire Pfeiffer Vacuum recommande le raccordement d’un câble de mise à la terre approprié pour décharger les interférences applicatives. Fig. 8: Exemple : Raccordement du câble de mise à...
- Page 31 Installation 5.6.2 Raccordement électrique DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves bles- sures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à...
- Page 32 5. Insérer le câble de raccordement dans le raccord « DCout » sur le pack d’alimentation électroni- que et fermer la fermeture à baïonnette. 6. Si vous utilisez un appareil de commande Pfeiffer Vacuum : raccordez le raccord « RS-485 » à l’appareil de commande en utilisant un câble d’extension qui convient.
- Page 33 élevé ou de puissants champs magnétiques entraîne un échauffement incontrôlé du rotor et peut détruire la pompe à vide. ► Avant de combiner des charges variables sur la pompe à vide, consulter Pfeiffer Vacuum. Des valeurs limites inférieures s'appliquent.
- Page 34 Fonctionnement sans unité de commande 1. Utilisez uniquement les câbles de raccordement agréés Pfeiffer Vacuum avec des pontages sur la connexion X3 de l'unité de commande électronique. 2. L'alimentation secteur de la pompe turbo ne doit être mise en circuit que juste avant la mise en route.
- Page 35 Utilisation 6.2.4 Fonctionnement via un bus de terrain Les pompes turbo Pfeiffer Vacuum peuvent être intégrées et fonctionner dans le système de bus de terrain du client lorsqu'une unité d’entraînement électronique avec le panneau de connexion correspon- dant est utilisée. Les éléments suivants sont disponibles : ●...
- Page 36 Utilisation d'une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum La vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum est un accessoire optionnel à installer sur la pompe turbo. La vanne de mise à l'air est normalement fermée. Elle est commandée par l'intermédiaire de l'unité...
- Page 37 Pfeiffer Vacuum recommande la mise à l'air rapide de grands volumes en 4 étapes. 1. Utiliser une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum pour la pompe turbo. Alternativement, la section transversale de la vanne doit correspondre à la taille du récipient et au taux maximal de mise à...
- Page 38 4. Respectez les intervalles de remplacement du fluide d’exploitation. 5. Le réservoir du fluide d'exploitation doit au moins être remplacé tous les 4 ans. 6. Demander à Pfeiffer Vacuum Service de remplacer le palier du rotor de la pompe turbo au moins tous les 4 ans.
- Page 39 ● Cette information peut être trouvée sur la plaque signalétique de la pompe. La fiche technique de sécurité est disponible sur le Pfeiffer Vacuum Download Center. Conditions préalables ● Pompe turbomoléculaire arrêtée ●...
- Page 40 Maintenance Fig. 10: Démontage du réservoir de fluide d'exploitation 1 Couvercle de carter I Tiges capillaires (6x) 2 Vis Torx Réservoir du fluide d'exploitation 3 Amortisseur caoutchouc-métal Cache de protection 4 Joint torique Démontage du réservoir de fluide d'exploitation 1. Portez des gants de laboratoire pour éviter tout contact avec la peau. 2.
- Page 41 Maintenance Fig. 11: Insertion des tiges capillaires et installation du réservoir de fluide d'exploitation 1 Tiges capillaires (6×) Couvercle de carter 2 Réservoir du fluide d’exploitation Amortisseur caoutchouc-métal 3 Joint torique Vis Torx Assemblage du réservoir du fluide d’exploitation 1. Insérez les nouvelles tiges capillaires à l’aide des pinces. 2.
- Page 42 Maintenance Sauvegarde des réglages effectués par le client Les paramètres d’usine sont toujours activés par défaut sur les unités de rechange. Tous les réglages effectués par le client sur l’unité de commande électronique d’origine sont per- dus lors de son remplacement. Pour conserver vos réglages personnalisés, vous pouvez : 1.
- Page 43 5. Définir le paramètre [P:777] sur la valeur requise de la vitesse de rotation nominale en Hertz. Alternative d’ajustement de la confirmation de la vitesse de rotation nominale Les unités de rechange incluent un Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator pour la définition immédiate du paramètre [P:777].
- Page 44 2. Nettoyez l’extérieur de la pompe turbomoléculaire avec un chiffon sans fusel et un peu d’alcool isopropylique. 3. Si nécessaire, demandez au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer complètement la pompe turbo- moléculaire. 4. Observez la durée de fonctionnement totale de la pompe turbomoléculaire. Si nécessaire, deman- dez à...
- Page 45 – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 9.2 Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Enlevez tout le réservoir du fluide d’exploitation. 2. Enlevez l’unité de commande électronique.
- Page 46 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. En cas de dysfonctionnement, des informations sur les causes possibles et leur résolution sont disponi- bles ici.
- Page 47 ● Vérifiez la pompe turbomoléculaire pour détecter à-coups, le palier est dé- tout bruit étrange fectueux ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. ● Point de consigne de ● Utilisez un appareil de commande pour étendre temps d’accélération ré- la valeur de réglage du temps d’accélération glé...
- Page 48 Dysfonctionnements Bruits de fonctionnement inhabi- ● Le palier du rotor est en- ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. tuels dommagé ● Rotor endommagé ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. ● Pare-éclats ou écran ● Vérifiez et corrigez le siège du pare-éclats ou de protecteur desserré...
- Page 49 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
- Page 50 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
- Page 51 à la plaque si- en fonction du panneau tronique TC 110 gnalétique de connexion Réservoir du fluide d’ex- PM 183 900 -T tiges capillaires et joint ploitation torique incl. Tab. 13: Aperçu des PDR disponibles pour la HiPace 80 mini 51/60...
- Page 52 Les câbles secteur, interface, raccordement et rallonge offrent un raccordement sûr et adapté. Autres longueurs disponibles sur demande Accessoires de ventilation Une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum offre une sécurité de fonctionnement et de processus maxi- mum. Commande automatique via l’unité de commande électronique intégrée de la pompe turbomolé- culaire.
- Page 53 Accessoires Désignation HiPace 80 mi- ni, DN 63 ISO‑K Kit de fixation pour HiPace 60/80, DN 63 ISO-K, anneau de centrage PM 016 362 -T avec revêtement, écran de protection intégré, boulons-agrafes à tête bombée inclus Kit de fixation pour HiPace 60/80, DN 63 ISO-K, avec anneau de cen- PM 016 510 -T trage recouvert et griffes Kit de fixation pour HiPace 60/80, DN 63 ISO-K, avec anneau de cen-...
- Page 54 Caractéristiques techniques et dimensions 14 Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Généralités Cette section décrit les bases des données techniques des pompe turbo Pfeiffer Vacuum. Caractéristiques techniques Les valeurs maximum se rapportent exclusivement à l'entrée en tant que charge simple. ● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5 ●...
- Page 55 Taux de fuite intégral 1 · 10 Pa m³/s Humidité relative de l'air 5 – 85 %, sans condensation Température de transport et de stockage -25 – 55 °C Poids 2,1 kg Tab. 17: HiPace 80 mini | DN63 ISO-K 55/60...
- Page 56 Caractéristiques techniques et dimensions 14.3 Dimensions 92.5 DN63 ISO-K M5 - 10 deep (4x) 37.5 G1/4” Fig. 14: HiPace 80 mini | TC 110 | DN 63 ISO-K Dimensions en mm 56/60...
- Page 57 Déclaration de conformité CE Déclaration pour produit(s) du type : Pompe turbomoléculaire HiPace 80 mini Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen- nes suivantes. Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A) Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE...
- Page 58 ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitu- tion du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
- Page 59 59/60...