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Installation
Raccorder des accessoires préconfigurés
► Respectez les instructions d'installation du manuel de l'utilisateur concernant l'accessoire corres-
► Observez la configuration des connexions et des lignes de commande existantes.
► Raccordez uniquement les accessoires adaptés à l'unité de commande électronique.
Utilisation d'accessoires supplémentaires
► Respectez les instructions d'installation du manuel de l'utilisateur concernant l'accessoire corres-
► Observez la configuration des connexions et des lignes de commande existantes.
► Utilisez un appareil de commande Pfeiffer Vacuum pour la configuration, si nécessaire.
5.6 Raccordement de l'alimentation électrique
Danger de mort dû à un sectionneur de réseau manquant
La pompe à vide et l'unité de commande électronique ne sont pas équipées d'un sectionneur de ré-
seau (interrupteur principal).
► Installez un sectionneur de réseau conformément à SEMI-S2.
► Prévoyez un coupe-circuit avec un taux d'interruption de 10 000 A minimum.
Risque de blessure en cas d'installation inappropriée
Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
► Veiller à l'intégration dans un circuit de sécurité de secours.
5.6.1 Mise à la terre de la pompe turbomoléculaire
Pfeiffer Vacuum recommande le raccordement d'un câble de mise à la terre approprié pour décharger
les interférences applicatives.
Fig. 8:
Procédure
1. Utilisez la prise de terre de la pompe turbomoléculaire (filet femelle M4).
2. Acheminez le raccordement conformément aux dispositions locales en vigueur.
30/60
pondant.
pondant.
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT
Exemple : Raccordement du câble de mise à la terre
M4
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