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Utilisation
6.4 Mise hors circuit et mise à l'air
6.4.1 Mise hors circuit
Remarques relatives à la mise hors circuit de la pompe turbomoléculaire
1. Arrêtez la pompe turbomoléculaire via l'appareil de commande ou la commande à distance.
2. Fermez la conduite de vide primaire.
3. Désactivez la pompe à vide primaire, si nécessaire.
4. Ventilez la pompe turbomoléculaire.
5. Fermez les conduites d'alimentation (eau de refroidissement, purge de gaz neutre).
6.4.2 Mise à l'air
Risque de blessure lié au contact avec le vide pendant la mise à l'air
Lors de la mise à l'air de la pompe à vide, il y a un risque de blessures bénignes lié au contact direct
de certaines parties du corps avec le vide, p. ex. hématome.
► La vis de mise à l'air du corps de la pompe turbo ne doit pas être complètement dévissée pen-
► Rester à distance de sécurité des appareils automatiques de mise à l'air comme les vannes de
Endommagement de la pompe turbo lié à une augmentation rapide et inadmissible de la pres-
sion pendant la mise à l'air
L'augmentation rapide d'une pression élevée est inadmissible et soumet le rotor et le palier magnéti-
que de la pompe turbo à une contrainte significative. Lors de la mise à l'air de très petits volumes
dans la chambre de vide ou la pompe turbo, il existe un risque d'augmentation incontrôlable de la
pression. La pompe turbo peut être endommagée mécaniquement ou détruite.
► La vitesse maximum d'augmentation de la pression de 15 hPa/s ne doit pas être dépassée.
► La mise à l'air manuelle et non contrôlée de très petits volumes est à éviter.
► Utiliser une vanne de mise à l'air de la gamme d'accessoires de Pfeiffer Vacuum si nécessaire.
Mise à l'air manuelle
La mise à l'air manuelle décrit la procédure standard de mise à l'air du groupe de pompage.
1. Vérifier que le système de vide est à l'arrêt.
2. Dévisser d'un tour au maximum la vis noire de mise à l'air sur la pompe turbo.
3. Attendre l'équilibrage de la pression avec la pression atmosphérique dans le système de vide.
4. Revisser la vis de mise à l'air.
Utilisation d'une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum
La vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum est un accessoire optionnel à installer sur la pompe turbo.
La vanne de mise à l'air est normalement fermée. Elle est commandée par l'intermédiaire de l'unité
d'entraînement électronique de la pompe turbo et la configuration des paramètres [P:012] et [P:030].
En cas de panne de courant, la pompe turbo génère suffisamment d'énergie pendant sa phase d'arrêt
progressif pour initier une mise à l'air correcte. Lorsque le courant revient, la mise à l'air est interrom-
pue.
► Mettre la pompe turbo hors circuit.
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Recommandation
Purger la pompe turbo après son arrêt. Cette opération permet d'éviter le reflux des parti-
cules dans le système de vide depuis la zone de vide préliminaire.
ATTENTION
dant la mise à l'air.
mise à l'air.
– Le processus de mise à l'air démarre automatiquement.
AVIS
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