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Maintenance
Fig. 10:
1 Couvercle de carter I
2 Vis Torx
3 Amortisseur caoutchouc-métal
4 Joint torique
Démontage du réservoir de fluide d'exploitation
1. Portez des gants de laboratoire pour éviter tout contact avec la peau.
2. Éliminez les impuretés dans la pompe turbomoléculaire à l'aide d'un chiffon propre, non pelu-
3. Placez la pompe turbomoléculaire sur la bride de vide secondaire fermée.
4. Dévissez l'amortisseur caoutchouc-métal dans le fond de la pompe turbomoléculaire.
5. Dévissez les vis Torx sur le couvercle de carter.
6. Retirez le couvercle de carter sur la base de la pompe.
7. Pour ne pas endommager le joint torique, utilisez une pince à joint torique pour le retirer, si néces-
8. Retirez manuellement le réservoir de fluide d'exploitation de la base de la pompe.
9. Tirer les anciennes tiges capillaires hors de la base de la pompe à l'aide des pinces.
7.3.2 Assemblage du réservoir du fluide d'exploitation
Consommables requis
● Gants de laboratoire
● Réservoir du fluide d'exploitation
Outils nécessaires
● Tournevis Torx, TX 8
● Pinces
● Clé dynamométrique calibrée (couple de serrage ≤ 1,6)
40/60
2
3
1
4
Démontage du réservoir de fluide d'exploitation
cheux.
– Utilisez uniquement un liquide de nettoyage prescrit.
saire.
6
5
5
Tiges capillaires (6x)
6
Réservoir du fluide d'exploitation
7
Cache de protection
7
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